一种基板固定夹具的制作方法

1.本实用新型涉及真空溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种基板固定夹具。


背景技术：

2.目前在led芯片市场中，生产量要求非常高，对如何提高产能和减少成本的追求极其严苛。特别在真空镀膜岗位上，由于是采用频繁的人为装卸基片的方式，所以更追求提高操作人员的便利性，以减少重复劳动时间；这对操作人员来说也提高了工作效率，对企业也会增加产量，提高利润。
3.人为装卸基片的方式是操作人员将空置的托盘放在工作台上，利用吸笔将需要镀膜的基片(厚度为365微米左右)从片盒中取出，放入空置的托盘(托盘凹槽)中，然后再放入定位治具(定位圆环)；再后，重复取出基片放入托盘、以及再放入定位治具的操作，直至将托盘装满基片；最后，使用固定夹具进行固定，最终再放入镀膜设备(竖直通过型溅射真空装置)中进行真空溅射镀膜。
4.由于托盘用于放置基片的凹槽较多，每次在放入基板的同时也必须要将定位圆环配套放入，会造成装卸时间过长；由于定位圆环是直接放置(刚性接触)在基片上的，如果固定夹具锁紧力太大或者基片放置不到位，固定夹具在锁紧的时候，定位圆环会将基片压碎。由于定位圆环自身的形状结构，很容易出现滚动掉落的现象，掉落后又会造成定位圆环发生变形，使得其无法再安装在托盘的凹槽中，后续需要追加矫正作业或者更换新品。


技术实现要素：

5.本实用新型主要解决的技术问题是提供一种基板固定夹具，能够通过在固定夹具本体上固定设置弹片，将对基片的刚性接触改成弹片式的柔性接触，以及减少了定位圆环的使用和解决了其所带来的装卸繁杂、变形等问题；并且通过调整固定块的厚度可以改变弹片对基片的压力，保证对基片的固定效果。
6.为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种基板固定夹具，包括：用于与托盘固定连接、以对托盘凹槽内的基片进行固定限制的固定夹具本体，可拆卸的设置在所述固定夹具本体上、并对应位于托盘凹槽内的固定块，以及可拆卸的设置在所述固定块上、用于抵住所述基片的弹片。
7.优选的，所述弹片有两个，两个弹片对称固定在所述固定块上。
8.优选的，所述弹片呈s形，所述弹片的一端与所述固定块固定连接，所述弹片的另一端定义为限制端、可抵在所述基片上；两个弹片限制端的方向相反、不相对。
9.优选的，所述固定块通过第一螺丝与所述固定夹具本体固定连接，所述弹片通过第二螺丝与所述固定块固定连接。
10.本实用新型的有益效果是：本实用新型能够通过在固定夹具本体上设置弹片，使得在操作的时候可以直接将所有的基片放入托盘的凹槽中，最后直接将带有弹片的固定夹具本体固定在托盘上，减少了原先放入所有定位圆环的时间、以及定位圆环的使用，大大缩
短了作业员的作业时间，提高了生产效率，降低了维护成本；也由于弹片的设计使用，在基片与固定夹具本体之间增加了缓冲，将对基片的刚性接触改成弹片式的柔性接触，减少了由于操作原因带来的基片碎裂的问题。托盘凹槽内的基片与固定夹具本体之间的距离可以利用固定块的厚度来调整，从而便于根据实际使用情况控制弹片对基片的压力，方便对基片进行固定。两个弹片可以保证对基片的固定效果；弹片呈s形的结构设计简单、使用效果好。
附图说明
11.图1是本实用新型一种基板固定夹具中托盘的结构示意图；
12.图2是本实用新型一种基板固定夹具的一剖视结构示意图；
13.图3是图2中a处的局部放大结构示意图。
14.附图中各部件的标记如下：1、托盘；10、凹槽；2、基片；3、固定夹具本体；31、固定螺丝；4、固定块；41、第一螺丝；5、弹片；51、第二螺丝。
具体实施方式
15.下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
16.请参阅图1至图3，本实用新型实施例包括：
17.一种基板固定夹具，包括：用于与托盘1固定连接、以对托盘凹槽10内的基片2进行固定限制的固定夹具本体3，安装在所述固定夹具本体3上、并对应位于托盘凹槽10内的固定块4，以及对称设置在所述固定块4上、用于抵住所述基片2的两个弹片5。所述固定块4通过第一螺丝41可拆卸的固定在所述固定夹具本体3上。所述弹片5呈s形，所述弹片5的一端通过第二螺丝51与所述固定块4固定连接，所述弹片5的另一端定义为限制端、可抵在所述基片2上；两个弹片5限制端的方向相反、不相对，该结构设计，对基板的限制效果最佳。
18.托盘凹槽10内的基片2与固定夹具本体3之间的距离可以利用固定块4的厚度来调整，从而便于控制弹片5对基片2的压力，方便对基片2进行固定。弹片5通过热处理来提高屈服强度，来应对反复使用的条件；将弹片5通过固定块4固定在固定夹具本体3上，形成弹片5与固定夹具本体3的一体化，以便于直接使用本基板固定夹具对托盘1上所有的基片2全部进行固定。
19.本基板固定夹具的使用方法：在操作装基片2的时候，首先将所有的基片2放入托盘1的凹槽10中，然后直接将带有弹片5的固定夹具本体3利用固定螺丝31固定在托盘1上；在操作卸下基片2的时候，取下固定螺丝31后，便可将固定夹具本体3取下，然后直接取出所有的基片2。
20.本实用新型能够通过在原有的固定夹具上设计有弹片5，操作的时候可以直接将所有的基片2放入托盘1的凹槽10中，最后直接将带有弹片5的固定夹具本体3固定在托盘1上，减少了原先放入所有定位圆环的时间、以及定位圆环的使用，大大缩短了作业员的作业时间，提高了生产效率，降低了维护成本；也由于弹片5的设计使用，在基片2与固定夹具本体3之间增加了缓冲，将对基片2的刚性接触改成弹片式的柔性接触，减少了由于操作原因
带来的基片2碎裂的问题。
21.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。


技术特征：
1.一种基板固定夹具，其特征在于，包括：用于与托盘固定连接、以对托盘凹槽内的基片进行固定限制的固定夹具本体，可拆卸的设置在所述固定夹具本体上、并对应位于托盘凹槽内的固定块，以及可拆卸的设置在所述固定块上、用于抵住所述基片的弹片。2.根据权利要求1所述的一种基板固定夹具，其特征在于：所述弹片有两个，两个弹片对称固定在所述固定块上。3.根据权利要求2所述的一种基板固定夹具，其特征在于：所述弹片呈s形，所述弹片的一端与所述固定块固定连接，所述弹片的另一端定义为限制端、可抵在所述基片上；两个弹片限制端的方向相反、不相对。4.根据权利要求1或2或3所述的一种基板固定夹具，其特征在于：所述固定块通过第一螺丝与所述固定夹具本体固定连接，所述弹片通过第二螺丝与所述固定块固定连接。

技术总结
本实用新型涉及真空溅射镀膜技术领域，公开了一种基板固定夹具，包括：用于与托盘固定连接、以对托盘凹槽内的基片进行固定限制的固定夹具本体，可拆卸的设置在所述固定夹具本体上、并对应位于托盘凹槽内的固定块，以及可拆卸的设置在所述固定块上、用于抵住所述基片的弹片。通过上述方式，本实用新型能够通过在固定夹具本体上固定设置弹片，将对基片的刚性接触改成弹片式的柔性接触，以及减少了定位圆环的使用和解决了其所带来的装卸繁杂、变形等问题；并且通过调整固定块的厚度可以改变弹片对基片的压力，保证对基片的固定效果。保证对基片的固定效果。保证对基片的固定效果。


技术研发人员：劳伟民
受保护的技术使用者：爱发科真空技术（苏州）有限公司
技术研发日：2021.05.10
技术公布日：2021/11/21