一种冶金靶材制备用烧结装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材制备技术领域，具体为一种冶金靶材制备用烧结装置。


背景技术：

2.靶材是真空镀膜行业溅射用的常用机构，其多以高纯铜材料经过系列加工后的产品，具有特定的尺寸和形状高纯铜材料，由于高纯铜特别是超高纯铜具有许多优良的特性，已广泛应用于电子、通信、超导、航天等尖端领域，由于靶材的高精密性，在传统的靶材制备装置中对于靶材的生产效率方面依然有改进的空间
3.目前市面上常见的冶金靶材制备装置大多生产效率类似，且基本上每次只能对单一工位内的靶材进行铸造，这样便会导致靶材的生产效率始终处于较为低下的状态，为此，我们提出一种冶金靶材制备用烧结装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种冶金靶材制备用烧结装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种冶金靶材制备用烧结装置，包括固定辅助机构、加热机构和烧结机构，所述固定辅助机构的上端内侧设置有加热机构，所述加热机构的内部设置有烧结机构；
6.所述烧结机构包括：
7.石墨预制筒，其设置于所述加热机构内侧；
8.烧结腔，其开设于所述石墨预制筒的边缘一圈；
9.第一压柱，其嵌合于所述烧结腔的内壁上端；
10.第一圆板，其固定于所述第一压柱的上端；
11.第二压柱，其嵌合于所述烧结腔的内壁下端；
12.第二圆板，其固定于所述第二压柱的下端；
13.液压杆，其设置于所述第一圆板与第二圆板的位于石墨预制筒相反一侧。
14.优选的，所述第一压柱和第二压柱通过第一圆板、第二圆板及液压杆与烧结腔之间构成可伸缩结构，且烧结腔沿石墨预制筒的边缘一圈均匀分布。
15.优选的，所述固定辅助机构包括：
16.固定架，其设置于所述加热机构的外部；
17.进料管，其设置于所述固定架内侧上端；
18.电磁阀，其设置于所述进料管的斜上端；
19.进料斗，其设置于所述电磁阀的一侧；
20.氧气管，其设置于所述电磁阀的另一侧；
21.流量泵，其设置于所述氧气管的上端。
22.优选的，所述进料斗通过电磁阀和进料管与烧结机构之间相互连通，且流量泵通
过氧气管与进料管之间相互连通。
23.优选的，所述加热机构包括：
24.防护外壳，其设置于所述固定辅助机构的内侧；
25.真空层，其设置于所述防护外壳的内侧；
26.保温层，其设置于所述真空层的内侧；
27.加热炉，其设置于所述保温层的内侧；
28.第一加热管，其设置于所述加热炉的内部；
29.内加热舱，其设置于所述加热炉的圆心处；
30.第二加热管，其设置于所述内加热舱的内侧。
31.优选的，所述防护外壳的厚度尺寸大于保温层的厚度尺寸，且保温层内侧的保温层和加热炉呈圆筒状分布。
32.优选的，所述第一加热管沿加热炉的内部均匀分布，且加热炉圆心内部的内加热舱呈圆柱状分布。
33.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
34.该靶材制备用烧结装置通过烧结机构的设置，第一压柱和第二压柱的作用在于配合烧结腔，并对均匀分布的多个腔体内的靶材原料进行同步挤压铸型，从而有效提高了靶材的制备效率，通过固定辅助机构的设置，靶材在密闭腔体中因缺乏氧气的接触与催化从而导致靶材的制备效率在一定程度上有所降低，因此流量泵的作用在于可通过氧气管对进料管中注入氧气，直至氧气进入烧结腔体中，从而提高烧结效率，通过加热机构的设置可对靶材进行均匀加热；
35.通过烧结机构的设置，常规的靶材烧结装置在作业时只能对单一工位的靶材进行制备烧结，因此第一压柱和第二压柱的作用在于配合烧结腔，并对均匀分布的多个腔体内的靶材原料进行同步挤压铸型，从而有效提高了靶材的制备效率，第一圆板和第二圆板主要起到对第一压柱和第二压柱进行固定，并在液压杆的推动下对靶材原料进行强压；
36.通过固定辅助机构的设置，靶材在密闭腔体中因缺乏氧气的接触与催化从而导致靶材的制备效率在一定程度上有所降低，因此流量泵的作用在于可通过氧气管对进料管中注入氧气，直至氧气进入烧结腔体中，从而提高烧结效率，而进料斗的作用在于方便金属原料进入进料管，电磁阀的作用在于配合氧气管，并在氧气管注入氧气时对进料管的敞口一端进行闭合，以避免氧气渗漏；
37.通过加热机构的设置，加热炉的作用在于可通过第一加热管对烧结机构的外壁进行高温加热，从而使得靶材原料快速溶解，而为了避免靶材受热不均，则内加热舱的作用在于配合第二加热管，并通过第二加热管对靶材的内侧进行加热，保温层和真空层则能够有效避免加热炉内的温度散失，从而起到节能环保、提高作业效率的作用。
附图说明
38.图1为本实用新型整体正视结构示意图；
39.图2为本实用新型加热机构结构示意图；
40.图3为本实用新型防护外壳立体结构示意图。
41.图中：1、固定辅助机构；101、固定架；102、进料管；103、电磁阀；104、进料斗；105、
氧气管；106、流量泵；2、加热机构；201、防护外壳；202、真空层；203、保温层；204、加热炉；205、第一加热管；206、内加热舱；207、第二加热管；3、烧结机构；301、石墨预制筒；302、烧结腔；303、第一压柱；304、第一圆板；305、第二压柱；306、第二圆板；307、液压杆。
具体实施方式
42.如图1所示，一种冶金靶材制备用烧结装置，包括：固定辅助机构1，固定辅助机构1的上端内侧设置有加热机构2，加热机构2的内部设置有烧结机构3，固定辅助机构1包括：固定架101，其设置于加热机构2的外部；进料管102，其设置于固定架101内侧上端；电磁阀103，其设置于进料管102的斜上端；进料斗104，其设置于电磁阀103的一侧；氧气管105，其设置于电磁阀103的另一侧；流量泵106，其设置于氧气管105的上端，进料斗104通过电磁阀103和进料管102与烧结机构3之间相互连通，且流量泵106通过氧气管105与进料管102之间相互连通，靶材在密闭腔体中因缺乏氧气的接触与催化从而导致靶材的制备效率在一定程度上有所降低，因此流量泵106的作用在于可通过氧气管105对进料管102中注入氧气，直至氧气进入烧结腔体中，从而提高烧结效率，而进料斗104的作用在于方便金属原料进入进料管102，电磁阀103的作用在于配合氧气管105，并在氧气管105注入氧气时对进料管102的敞口一端进行闭合，以避免氧气渗漏，烧结机构3包括：石墨预制筒301，其设置于加热机构2内侧；烧结腔302，其开设于石墨预制筒301的边缘一圈；第一压柱303，其嵌合于烧结腔302的内壁上端；第一圆板304，其固定于第一压柱303的上端；第二压柱305，其嵌合于烧结腔302的内壁下端；第二圆板306，其固定于第二压柱305的下端；液压杆307，其设置于第一圆板304与第二圆板306的位于石墨预制筒301相反一侧，第一压柱303和第二压柱305通过第一圆板304、第二圆板306及液压杆307与烧结腔302之间构成可伸缩结构，且烧结腔302沿石墨预制筒301的边缘一圈均匀分布，常规的靶材烧结装置在作业时只能对单一工位的靶材进行制备烧结，因此第一压柱303和第二压柱305的作用在于配合烧结腔302，并对均匀分布的多个腔体内的靶材原料进行同步挤压铸型，从而有效提高了靶材的制备效率，第一圆板304和第二圆板306主要起到对第一压柱303和第二压柱305进行固定，并在液压杆307的推动下对靶材原料进行强压，而石墨预制筒301主要起到对烧结腔302进行限位开设的作用
43.如图2-3所示，一种冶金靶材制备用烧结装置，加热机构2包括：防护外壳201，其设置于固定辅助机构1的内侧；真空层202，其设置于防护外壳201的内侧；保温层203，其设置于真空层202的内侧；加热炉204，其设置于保温层203的内侧；第一加热管205，其设置于加热炉204的内部；内加热舱206，其设置于加热炉204的圆心处；第二加热管207，其设置于内加热舱206的内侧，防护外壳201的厚度尺寸大于保温层203的厚度尺寸，且保温层203内侧的保温层203和加热炉204呈圆筒状分布，第一加热管205沿加热炉204的内部均匀分布，且加热炉204圆心内部的内加热舱206呈圆柱状分布，加热炉204的作用在于可通过第一加热管205对烧结机构3的外壁进行高温加热，从而使得靶材原料快速溶解，而为了避免靶材受热不均，则内加热舱206的作用在于配合第二加热管207，并通过第二加热管207对靶材的内侧进行加热，保温层203和真空层202则能够有效避免加热炉204内的温度散失，从而起到节能环保、提高作业效率的作用，防护外壳201主要起到对真空层202进行封闭的作用。
44.综上，该一种冶金靶材制备用烧结装置，首先将金属原料从进料斗104投入，并通过进料管102流入烧结腔302，此时加热炉204内的第一加热管205和内加热舱206中的第二
加热管207均进入启动状态，当烧结腔302内的原料加热到预定时间后其上下端的第一压柱303和第二压柱305会对靶材原料进行强行挤压，在这里，第一压柱303和第二压柱305的作用在于配合烧结腔302，并对均匀分布的多个腔体内的靶材原料进行同步挤压铸型，从而有效提高了靶材的制备效率，第一圆板304和第二圆板306主要起到对第一压柱303和第二压柱305进行固定，并在液压杆307的推动下对靶材原料进行强压，同时，加热炉204可通过第一加热管205对烧结机构3的外壁进行高温加热，从而使得靶材原料快速溶解，而为了避免靶材受热不均，则内加热舱206的作用在于配合第二加热管207，并通过第二加热管207对靶材的内侧进行加热，保温层203和真空层202则能够有效避免加热炉204内的温度散失，最后，流量泵106的作用在于可通过氧气管105对进料管102中注入氧气，直至氧气进入烧结腔体中，从而提高烧结效率。