蒸镀坩埚及蒸镀装置的制作方法

1.本技术涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。


背景技术：

2.在oled面板制备过程中，蒸镀工艺是其中十分重要的关键工序。在蒸镀过程中，先采用掩膜板遮挡基材，蒸镀材料在蒸镀坩埚加热挥发并从掩膜板开口蒸镀到对应的基材位置上。
3.目前常用的蒸镀工艺有点状蒸镀，而且对于点状蒸镀，其蒸镀设备中一般包括一个小型圆桶状的蒸镀坩埚，金属蒸镀材料在蒸镀坩埚中加热成气态并从圆桶状蒸镀坩埚的开口向上逸出，从而对基材进行蒸镀。
4.现有技术中蒸镀坩埚在使用时，为了防止避免蒸镀材料在坩埚口沉积进而形成堵孔的现象，一般都会在蒸镀坩埚的开口周壁处额外设置一个加热装置，而且该加热装置的工作加热温度一般还要比用于加热蒸镀坩埚中蒸镀材料的加热装置的工作加热温度还要高，这样也就使得蒸镀坩埚的两个不同功率的加热装置需要在各自的电路中需要分别设置不同的保险保护件，而且两个不同功率的加热装置工作状态也需要独立控制，致使蒸镀装置中的加热系统会变得较为复杂。
5.因此，市面上亟需一种能够既能够实现不同功率对蒸镀坩埚的开口进行加热，又能够简化蒸镀装置中加热系统的蒸镀坩埚。


技术实现要素：

6.有鉴于此，本技术提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，用以解决现有技术中蒸镀装置实现不同功率加热蒸镀坩埚不同部位致使加热系统较为复杂的问题。
7.本技术提供的蒸镀坩埚包括坩埚本体和加热装置；
8.所述坩埚本体的顶部设置有开口；
9.所述加热装置设置于所述坩埚本体的外周壁，具有第一加热部和第二加热部；
10.其中，所述第一加热部与所述第二加热部依次交错串联设置多个；
11.所述第一加热部与所述坩埚本体的整体外周壁对应设置；
12.所述第二加热部与所述坩埚本体的靠近所述开口的局部外周壁对应设置。
13.当加热装置通电产生热量时，由于第一加热部和第二加热部是依次交错串联设置，因此通过多个第一加热部及多个第二加热部的电流大小是相等的，而且通过第一加热部可以对坩埚本体的整体外周壁进行加热，通过第二加热部可以对坩埚本体的靠近开口的局部外周壁进行额外的加热，因此可以确保坩埚本体的开口周壁处的温度会高于坩埚本体其他部位的温度，这样即可避免蒸镀材料在坩埚本体的开口处沉积出现堵孔的现象。
14.该蒸镀坩埚通过一个供电系统即可实现对多个第一加热部及多个第二加热部同时供电加热，而且供电系统中只需相应的设置一个保险保护件即可，因此，该蒸镀坩埚能够解决现有技术中蒸镀装置实现不同功率加热蒸镀坩埚不同部位致使加热系统较为复杂的
问题。
15.在一种可能的设计中，所述第一加热部包括第一加热单元；
16.所述第一加热单元具有发热件，且所述发热件在所述第一加热单元中设置成u形或s形。
17.当第一加热单元中的发热件设置成u形时，发热件的间距可以均匀布置，从发热件产生的热量可以更均匀地传递到蒸镀坩埚的内部；当第一加热单元中的发热件设置成s形，发热件在第一加热单元中的有效长度可以设置的更大，从而可以使发热件的发热功率更大。
18.在一种可能的设计中，所述第一加热部中设置有多个所述第一加热单元，且多个所述第一加热单元依次串接。
19.通过改变第一加热单元的设置数量可以起到分配加热装置的功率的作用，当加热装置的功率恒定时，第一加热单元设置的越多，第一加热部的功率占比就会比第二加热部更大，也即第二加热部对坩埚本体靠近开口处的局部外周壁的额外加热作用便会相对减弱。
20.在一种可能的设计中，所述第二加热部包括第二加热单元；
21.所述第二加热单元具有发热件，且所述发热件在所述第二加热单元中设置成u形或s形。
22.当第二加热单元中的发热件设置成u形时，发热件的间距可以均匀布置，从发热件产生的热量可以更均匀地传递到蒸镀坩埚靠近开口的外周壁；当第二加热单元中的发热件设置成s形，发热件在第二热单元中的有效长度可以设置的更大，从而可以使发热件的发热功率更大。
23.在一种可能的设计中，所述第二加热部中设置有多个所述第二加热单元，且多个所述第二加热单元依次串连。
24.通过改变第二加热单元的设置数量可以起到分配加热装置的功率的作用，当加热装置的功率恒定时，第二加热单元设置的越多，第二加热部的功率占比就会比第一加热部更大，也即第二加热部对坩埚本体靠近开口处的局部外周壁的额外加热作用便会相对增强。
25.在一种可能的设计中，所述第一加热部、所述第二加热部分别沿竖直方向延伸设置。
26.这样当加热装置通电产热时，第一加热部、第二加热部均可以沿坩埚本体轴向对坩埚本体均匀加热，使坩埚本体靠近开口处的局部外周壁整体维持在一个较高的恒定温度、坩埚本体其他部位的外周壁能够维持在一个略低的恒定温度，确保了坩埚本体中各处的蒸镀材料都能够被均匀地加热。
27.在一种可能的设计中，所述第一加热部、所述第二加热部分别沿所述坩埚本体的周向均匀间隔。
28.这样当加热装置通电产热时，第一加热部、第二加热部产生的热量还能够均匀的从坩埚本体的周向传导至坩埚本体中的蒸镀材料，进一步使坩埚本体中的蒸镀材料可以被更均匀地加热。
29.另外，本技术还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括电源和上述的蒸镀坩埚；其
中，所述电源与所述加热装置电连接。
30.该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。
31.在一种可能的设计中，所述蒸镀装置还包括控制系统；
32.所述控制系统与所述加热装置电连接，用于调控所述加热装置与所述电源的通断状态。
33.这样可以通过控制系统自动控制加热装置与电源的通断状态，提高该蒸镀装置的自动化程度。
34.在一种可能的设计中，所述蒸镀装置还包括外壳；
35.所述外壳具有用于容装所述蒸镀坩埚的安装空间，且所述蒸镀坩埚安装于所述外壳时，所述蒸镀坩埚与所述外壳的内周壁间隔设置。
36.这样当位于坩埚本体外部的加热装置加热时，外壳能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置的加热效率。
37.本技术实施例的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术实施例而了解。本技术实施例的目的和其他优点在说明书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
38.图1为本技术实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图；
39.图2为本技术实施例提供的蒸镀坩埚中加热装置的结构示意图；
40.图3为本技术实施例提供的蒸镀坩埚中加热装置的第一种品展示意图；
41.图4为本技术实施例提供的蒸镀坩埚中加热装置的第二种品展示意图；
42.图5为本技术实施例提供的蒸镀坩埚中加热装置的第三种品展示意图；
43.图6为本技术实施例提供的蒸镀坩埚中加热装置的第三种品展示意图；
44.图7为本技术实施例提供的蒸镀装置的竖向剖视图。
45.附图标记：
46.1-坩埚本体；
47.2-加热装置；
48.21-第一加热部；
49.211-第一加热单元；
50.22-第二加热部；
51.221-第二加热单元；
52.3-外壳。
53.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
具体实施方式
54.为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
55.应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基
于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
56.在本技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
57.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
58.需要注意的是，本技术实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本技术实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
59.下面根据本技术实施例提供的蒸镀坩埚及的蒸镀装置结构，对其具体实施例进行说明。
60.如图1所示，本技术实施例提供了一种蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚包括坩埚本体1和加热装置2；坩埚本体1的顶部设置有开口；加热装置2设置于坩埚本体1的外周壁，具有第一加热部21和第二加热部22；其中，第一加热部21与第二加热部22依次交错串联设置多个；第一加热部21与坩埚本体1的整体外周壁对应设置；第二加热部22与坩埚本体1的靠近开口的局部外周壁对应设置。
61.该蒸镀坩埚在使用时，当加热装置2通电产生热量时，由于第一加热部21和第二加热部22是依次交错串联设置，因此通过多个第一加热部21及多个第二加热部22的电流大小是相等的，而且通过第一加热部21可以对坩埚本体1的整体外周壁进行加热，通过第二加热部22可以对坩埚本体1的靠近开口的局部外周壁进行额外的加热，因此可以确保坩埚本体1的开口周壁的温度会高于坩埚本体1其他部位的温度，这样即可避免蒸镀材料在坩埚本体1的开口处沉积出现堵孔的现象。
62.该蒸镀坩埚通过一个供电系统即可实现对多个第一加热部21及多个第二加热部22同时供电加热，而且供电系统中只需相应的设置一个保险保护件即可，因此，该蒸镀坩埚能够解决现有技术中蒸镀装置实现不同功率加热蒸镀坩埚不同部位致使加热系统较为复杂的问题。
63.在一种可能的设计中，第一加热部21包括第一加热单元211；第一加热单元211具有发热件，且发热件在第一加热单元211中设置成u形或s形。
64.具体的，如图3或图4所示，发热件具体可以设置成电发热丝、电发热条或者电发热片等，图3中是将发热件在第一加热单元211中设置成u形，这样发热件的间距可以布置的均匀，从发热件产生的热量可以更均匀地传递到蒸镀坩埚的内部；图4中是将发热件在第一加热单元211中设置成s形，这样发热件在第一加热单元211中的有效长度可以更大，从而可以使发热件的发热功率更大。
65.在一种可能的设计中，第一加热部21中设置有多个第一加热单元211，且多个第一加热单元211依次串接。
66.具体的，如图5所示，此时是在一个第一加热部21中设置两个依次串接的第一加热
单元211，这样当加热装置2通电时，第一加热部21中的两个第一加热单元211可以产生更多的热量，使坩埚本体1靠近开口处的局部外周壁与坩埚本体1其他部位的外周壁的温度差能够维持在一个略小的数值。
67.当然，上述第一加热单元211也可以在第一加热部21中设置三个、四个或者更多，通过改变第一加热单元211的设置数量可以起到分配加热装置2的功率的作用。当加热装置2的功率恒定时，第一加热单元211设置的越多，第一加热部21的功率占比就会比第二加热部22更大，也即第二加热部22对坩埚本体1靠近开口处的局部外周壁的额外加热作用便会相对减弱。
68.在一种可能的设计中，第二加热部22包括第二加热单元221；第二加热单元221具有发热件，且发热件在第二加热单元221中设置成u形或s形。
69.具体的，如图3或图4所示，发热件具体也可以设置成电发热丝、电发热条或者电发热片等，图3中是将发热件在第二加热单元221中设置成u形，这样发热件的间距可以布置的均匀，从发热件产生的热量可以更均匀地传递到蒸镀坩埚靠近开口的局部外周壁；图4中是将发热件在第二加热单元221中设置成s形，这样发热件在第二加热单元221中的有效长度可以更大，从而可以使发热件的发热功率更大。
70.在一种可能的设计中，第二加热部22中设置有多个第二加热单元221，且多个第二加热单元221依次串连。
71.具体的，如图6所示，此时是在一个第二加热部22中设置两个依次串接的第二加热单元221，这样当加热装置2通电时，第二加热部22中的两个第二加热单元221可以产生更多的热量，使坩埚本体1靠近开口处的局部外周壁与坩埚本体1其他部位的外周壁的温度差能够维持在一个略大的数值。
72.当然，上述第二加热单元221也可以在第二加热部22中设置三个、四个或者更多，通过改变第二加热单元221的设置数量可以起到分配加热装置2的功率的作用。当加热装置2的功率恒定时，第二加热单元221设置的越多，第二加热部22的功率占比就会比第一加热部21更大，也即第二加热部22对坩埚本体1靠近开口处的局部外周壁的额外加热作用便会相对增强。
73.在一种可能的设计中，第一加热部21、第二加热部22分别沿竖直方向延伸设置。
74.具体的，如图1和图2所示，将第一加热部21、第二加热部22分别沿竖直方向延伸设置，这样当加热装置2通电产热时，第一加热部21、第二加热部22均可以沿坩埚本体1轴向对坩埚本体1均匀加热，使坩埚本体1靠近开口处的局部外周壁整体维持在一个较高的恒定温度、坩埚本体1其他部位的外周壁能够维持在一个略低的恒定温度，确保了坩埚本体1中各处的蒸镀材料都能够被均匀地加热。
75.在一种可能的设计中，第一加热部21、第二加热部22分别沿坩埚本体1的周向均匀间隔。
76.具体的，如图1和图2所示，将第一加热部21、第二加热部22分别沿坩埚本体1的周向均匀间隔，这样当加热装置2通电产热时，第一加热部21、第二加热部22产生的热量还能够均匀的从坩埚本体1的周向传导至坩埚本体1中的蒸镀材料，进一步使坩埚本体1中的蒸镀材料可以被更均匀地加热。
77.另外，本技术还提供了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括电源和上述的蒸镀坩埚；其
中，电源与加热装置2电连接。
78.具体的，如图7所示，该蒸镀装置包括上述的蒸镀坩埚，能够实现其所有的有益效果，在此不再赘述。
79.在一种可能的设计中，蒸镀装置还包括控制系统；控制系统与加热装置2电连接，用于调控加热装置2与电源的通断状态。
80.该蒸镀装置在使用时，可以通过控制系统自动控制加热装置2与电源的通断状态，提高该蒸镀装置的自动化程度。
81.当然，上述的控制系统可以具体选设多种，例如但不限于plc控制系统。
82.在一种可能的设计中，蒸镀装置还包括外壳3；外壳3具有用于容装蒸镀坩埚的安装空间，且蒸镀坩埚安装于外壳3时，蒸镀坩埚与外壳3的内周壁间隔设置。
83.具体的，如图7所示，将外壳3间隔套设于蒸镀坩埚的外部，这样蒸镀坩埚与外壳3之间便可以形成一个环状间隙，这样当位于坩埚本体1外周壁的加热装置2加热时，外壳3能够起到防散热的作用，进一步提高加热装置2的加热效率。
84.而且，还可以在外壳3的内周壁设置光滑的反热涂层，以将加热装置2向外发出的热辐射更好的反射回坩埚本体1。
85.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术保护的范围之内。