一种用于化学机械抛光的柔性膜、承载头及抛光设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于化学机械抛光的柔性膜，其特征在于，包括：用于接收基板的圆形的底板部；圆环状的边缘侧壁，该边缘侧壁具有沿所述底板部的周缘向上竖直延伸形成的直立部、设置于所述直立部上侧的弯折部、从所述弯折部上端向所述底板部的内侧水平延伸形成的第一水平延伸部，所述边缘侧壁底部与所述底板部形成一体；以及与所述边缘侧壁同心相邻设置的圆环状的竖直的内侧壁，所述内侧壁在其顶端具有弯向所述底板部的内侧水平延伸的第二水平延伸部，所述内侧壁在其底部与所述底板部形成一体；所述弯折部包括从直立部朝上向内折弯延伸的第一弯折部和自所述第一弯折部朝上向外折弯延伸的第二弯折部，所述第一弯折部与水平面的夹角小于所述第二弯折部与水平面的夹角。2.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述第一弯折部与水平面的夹角较第二弯折部与水平面的夹角小1～10
°
。3.如权利要求2所述的柔性膜，其特征在于，所述第一弯折部与水平面的夹角较第二弯折部与水平面的夹角小3～8
°
。4.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述弯折部向外延伸不超过所述直立部的圆周外表面。5.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述第一弯折部与水平面的夹角为1～25
°
。6.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，所述弯折部向内弯折的水平投影不超过所述第一水平延伸部的内沿。7.如权利要求1所述的柔性膜，其特征在于，还包括从所述边缘侧壁的内表面朝径向内侧延伸的间隔板，所述间隔板的内沿较所述第二水平延伸部的内沿远离所述底板部的中心位置。8.如权利要求7所述的柔性膜，其特征在于，所述间隔板的内沿与所述第二水平延伸部的内沿之间的水平距离为2～10mm。9.一种用于化学机械抛光的承载头，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的用于化学机械抛光的柔性膜。10.一种抛光设备，其特征在于，包括权利要求9所述的用于化学机械抛光的承载头。

技术总结
本实用新型公开了一种用于化学机械抛光的柔性膜、承载头及抛光设备，所述柔性膜包括用于接收基板的底板部；圆环状的边缘侧壁，该边缘侧壁具有沿所述底板部的周缘向上延伸形成的直立部、设置于所述直立部上侧的弯折部，从所述弯折部上端向内侧水平延伸形成的第一水平延伸部；以及与所述边缘侧壁同心相邻设置的内侧壁，所述内侧壁在其顶端具有弯向内侧水平延伸的第二水平延伸部；所述弯折部包括从直立部上端朝上向内折弯延伸的第一弯折部和自所述第一弯折部朝上向外折弯延伸的第二弯折部，所述第一弯折部与水平面的夹角不等于所述第二弯折部与水平面的夹角。第二弯折部与水平面的夹角。第二弯折部与水平面的夹角。


技术研发人员：赵德文 王宇 路新春
受保护的技术使用者：华海清科股份有限公司
技术研发日：2021.02.03
技术公布日：2021/10/15