镀膜样品传送车的制作方法

1.本实用新型属于镀膜设备技术领域，特别涉及一种镀膜样品传送车。


背景技术：

2.绕镀的现象是由于样品溅射功率过大或者是蒸镀的材料蒸发速率过快所导致的，正对蒸发/溅射源的样品工艺面和背对蒸发/溅射源的样品非工艺面都会镀上原材料的现象。绕镀现象使得样品的非工艺面镀上膜，对于样品的性能会产生严重影响，在光伏产品、光学产品、和使用物理镀膜的电子产品的加工和生产中都是需要杜绝的。
3.现有真空镀膜设备中使用样品传送车来装载样品在真空腔室内移动从而完成样品的镀膜，现有的样品传送车最普遍的是中间镂空的小车，在做溅射或者蒸镀的时候，为了防止绕镀现象的出现，往往会在放上镀膜样品后，再在样品的非镀膜面盖一片阻挡用的盖板。该方法通过用盖板挡住样品非工艺面来防止绕镀的发生，这种盖板十分的不方便，在蒸镀过程中可能会发生掉落，如果是易碎的盖板，清理起来会非常麻烦；如果是十分坚固的盖板，掉落之后会对设备产生严重损坏。另外，由于镀膜的样品边缘和样品传送车之间会有接触，加在镀膜样品背面的盖板会与样品完全接触，同时对样品施加一个压力。如果镀膜样品本身的刚性不是很强，盖板的压力会导致镀膜样品的形变，从而影响到膜层的质量。
4.现在市面上还存在一种插槽式的样品传送车，虽然解决了上述分体式样品传送车的两个缺点，但是由于该插槽式的样品传送车的槽口和样品尺寸会紧密贴合，在取放镀膜样品时，样品的边缘和样品传送车插槽的内侧会有不可避免的摩擦，会导致样品破碎或者在样品表面产生划痕；而且插槽式样品传送车用久了之后，由于内部的插槽空间难以完全清理，会导致蒸镀样品无法长时间使用对应尺寸的样品传送车，需要送去专业清理的地方清洗或者重新定制。而且插槽式样品传送车样品的厚度尺寸固定，蒸镀不同厚度的样品需要定制不同插槽尺寸的小车，费时费力。


技术实现要素：

5.本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种镀膜样品传送车，有效防止镀膜样品绕镀，而且镀膜样品取放容易简单，取放时不损伤镀膜样品。
6.本实用新型是这样实现的，提供一种镀膜样品传送车，包括车体，在车体的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板，在车体上还设置复合盖板，复合盖板的一边通过连接装置与车体活动连接以实现单侧开合。
7.进一步地，在所述复合盖板上设置弹性抵压件，弹性抵压件设置在靠近复合盖板的边缘。
8.进一步地，所述弹性抵压件为压缩弹簧。
9.进一步地，所述连接装置为活页或铰链。
10.进一步地，在所述复合盖板上还设置磁吸块，磁吸块可与车体吸附在一起。
11.进一步地，在所述复合盖板内设置温度调节装置。
12.进一步地，所述温度调节装置为降温装置，降温装置包括冷凝管，冷凝管被埋设在复合盖板内。
13.进一步地，所述温度调节装置加热装置，加热装置为发热丝，发热丝被埋设在复合盖板内。
14.进一步地，在所述车体底部设置滚轮。
15.进一步地，所述车体为平板，复合盖板也为平板。
16.与现有技术相比，本实用新型的镀膜样品传送车取放镀膜样品十分便利，清理蒸镀材料时也没有难以清理的死角，设置弹性抵压件也解决了镀膜样品因为盖板压力过大产生形变的问题，满足不同厚度尺寸的镀膜样品的镀膜需求，很好地解决了分体式样品传送车和插槽式样品传送车所面临的问题。
附图说明
17.图1为本实用新型一较佳实施例的立体示意图；
18.图2为图1另一角度的示意图；
19.图3为图1中的复合盖板立体示意图。
具体实施方式
20.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
21.请同时参照图1、图2以及图3所示，本实用新型镀膜样品传送车的较佳实施例，包括车体1。在车体1的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板2。在车体1上还设置复合盖板3。复合盖板3的一边通过连接装置4与车体1活动连接以实现单侧开合。所述连接装置4为活页或铰链。图中显示连接装置4为两个活页。在本实施例中，所述车体1为平板，复合盖板3也为平板，被输送的镀膜样品也为平板。
22.在复合盖板3合上时，其覆盖在镀膜样品（图中未示出）上并将镀膜样品的四周边抵压在凹槽的支撑板2上。
23.在所述复合盖板3上设置弹性抵压件5。弹性抵压件5设置在靠近复合盖板3的边缘，弹性抵压件5将镀膜样品的四周边抵压在支撑板2上。图中显示所述弹性抵压件5为四个压缩弹簧。压缩弹簧设置在复合盖板3左右两侧边。
24.在所述复合盖板3上还设置磁吸块6，磁吸块6可与车体1吸附在一起，防止复合盖板3从车体1上松脱。
25.在所述复合盖板3内设置温度调节装置。
26.作为一个实施例，所述温度调节装置为降温装置，降温装置包括冷凝管7，冷凝管7被埋设在复合盖板3内。
27.作为另一个实施例，所述温度调节装置加热装置，加热装置为发热丝（图中未示出），发热丝被埋设在复合盖板内。
28.在所述车体1底部设置滚轮8。
29.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本
实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种镀膜样品传送车，包括车体，其特征在于，在车体的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板，在车体上还设置复合盖板，复合盖板的一边通过连接装置与车体活动连接以实现单侧开合。2.如权利要求1所述的镀膜样品传送车，其特征在于，在所述复合盖板上设置弹性抵压件，弹性抵压件设置在靠近复合盖板的边缘。3.如权利要求2所述的镀膜样品传送车，其特征在于，所述弹性抵压件为压缩弹簧。4.如权利要求1所述的镀膜样品传送车，其特征在于，所述连接装置为活页或铰链。5.如权利要求1所述的镀膜样品传送车，其特征在于，在所述复合盖板上还设置磁吸块，磁吸块可与车体吸附在一起。6.如权利要求1所述的镀膜样品传送车，其特征在于，在所述复合盖板内设置温度调节装置。7.如权利要求6所述的镀膜样品传送车，其特征在于，所述温度调节装置为降温装置，降温装置包括冷凝管，冷凝管被埋设在复合盖板内。8.如权利要求6所述的镀膜样品传送车，其特征在于，所述温度调节装置为加热装置，加热装置包括发热丝，发热丝被埋设在复合盖板内。9.如权利要求1所述的镀膜样品传送车，其特征在于，在所述车体底部设置滚轮。10.如权利要求1所述的镀膜样品传送车，其特征在于，所述车体为平板，复合盖板也为平板。

技术总结
本实用新型涉及一种镀膜样品传送车，包括车体，在车体的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板，在车体上还设置复合盖板，复合盖板的一边通过连接装置与车体活动连接以实现单侧开合。本实用新型有效防止镀膜样品绕镀，而且镀膜样品取放容易简单，取放时不损伤镀膜样品。伤镀膜样品。伤镀膜样品。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：杭州纤纳光电科技有限公司
技术研发日：2021.03.08
技术公布日：2021/10/15