相变冷却合页式样品传送车的制作方法

1.本实用新型镀膜设备技术领域，特别涉及一种相变冷却合页式样品传送车。


背景技术：

2.绕镀的现象是由于样品溅射功率过大或者是蒸镀的材料蒸发速率过快所导致的，正对蒸发/溅射源的样品工艺面和背对蒸发/溅射源的样品非工艺面都会镀上原材料的现象。绕镀现象使得样品的非工艺面镀上膜，对于样品的性能会产生严重影响，在光伏产品、光学产品、和使用物理镀膜（physical vapor deposition，pvd）的电子产品的加工和生产中都是需要杜绝的。
3.现有真空镀膜设备中使用样品传送车来装载样品在真空腔室内移动从而完成样品的镀膜，现有的样品传送车最普遍的是中间镂空的小车，在做溅射或者蒸镀的时候，为了防止绕镀现象的出现，往往会在放上镀膜样品后，再在样品的非镀膜面盖一片阻挡用的盖板。该方法通过用盖板挡住样品非工艺面来防止绕镀的发生，这种盖板十分的不方便，在蒸镀过程中可能会发生掉落，如果是易碎的盖板，清理起来会非常麻烦；如果是十分坚固的盖板，掉落之后会对设备产生严重损坏。另外，由于镀膜的样品边缘和样品传送车之间会有接触，加在镀膜样品背面的盖板会与样品完全接触，同时对样品施加一个压力。如果镀膜样品本身的刚性不是很强，盖板的压力会导致镀膜样品的形变，从而影响到膜层的质量。
4.现在市面上还存在一种插槽式的样品传送车，虽然解决了上述分体式样品传送车的两个缺点，但是由于该插槽式的样品传送车的槽口和样品尺寸会紧密贴合，在取放镀膜样品时，样品的边缘和样品传送车插槽的内侧会有不可避免的摩擦，会导致样品破碎或者在样品表面产生划痕；而且插槽式样品传送车用久了之后，由于内部的插槽空间难以完全清理，会导致蒸镀样品无法长时间使用对应尺寸的样品传送车，需要送去专业清理的地方清洗或者重新定制。而且插槽式样品传送车样品的厚度尺寸固定，蒸镀不同厚度的样品需要定制不同插槽尺寸的小车，费时费力。
5.另一方面，热蒸镀和溅射镀膜过程中往往伴随着显著的热效应，这些热量来自于电热丝加热蒸镀材料或是高能粒子的轰击样品表面，是镀膜过程中所无法避免的。对于有低温镀膜要求的应用，需要对蒸发腔体或样品传递小车做温度控制。冷却整个腔室效果差成本高，另一种冷却传递车的方法虽然效果好，但常用的水冷方式需要有管道连接，因为传递车是运动部件，冷却系统的实施、使用与维护与实际使用都将遇到许多麻烦。


技术实现要素：

6.本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种相变冷却合页式样品传送车，该传送车采用了合页式设计，能有效防止镀膜样品绕镀，而且镀膜样品取放容易简单，取放时不损伤镀膜样品。同时该传送车采用相变冷却技术对处于pvd工艺中的样品进行冷却，这样做的好处是可以直接对放置在小车上的样品进行有效冷却，并且小车仍然是一个独立的部分，不需要冷却管路、冷却水等的辅助和连接，从而且解决运动部件冷却实施、使用和维护
困难的问题。
7.本实用新型是这样实现的，提供一种相变冷却合页式样品传送车，包括车体，在车体的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板，在车体上还设置压板，压板的一边通过合页与车体活动连接以实现单侧开合，在压板内设置容腔，在容腔内盛满相变冷却材料。
8.进一步地，在所述压板上设置弹性接触件，弹性接触件设置在靠近压板的边缘。
9.进一步地，所述弹性接触件为压缩弹簧。
10.进一步地，在所述压板上还设置磁吸块，磁吸块可与车体吸附在一起。
11.进一步地，在所述车体底部设置滚轮。
12.进一步地，所述车体为平板，压板也为平板。
13.与现有技术相比，本实用新型的相变冷却合页式样品传送车取放镀膜样品十分便利，清理蒸镀材料时也没有难以清理的死角，设置弹性抵压件也解决了镀膜样品因为盖板压力过大产生形变的问题，满足不同厚度尺寸的镀膜样品的镀膜需求，很好地解决了分体式样品传送车和插槽式样品传送车所面临的问题，同时对镀膜样品进行直接高效冷却，能够满足各种镀膜场景下镀膜样品对温度的要求，而且通过相变冷却技术的运用解决了运动部件冷却实施、使用和维护困难的问题。
附图说明
14.图1为本实用新型一较佳实施例的立体示意图；
15.图2为图1另一角度的示意图；
16.图3为图1中的压板立体示意图。
具体实施方式
17.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
18.请同时参照图1、图2以及图3所示，本实用新型相变冷却合页式样品传送车的较佳实施例，包括车体1，在车体1的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板2。在车体1上还设置压板3。
19.压板3的一边通过合页4与车体1活动连接以实现单侧开合。在压板3内设置容腔5，在容腔5内盛满相变冷却材料。
20.本实用新型是利用相变冷却材料进行储冷然后对输送的镀膜样品进行冷却。相变储冷，一种利用相变材料从一种物态到另外一种物态转换过程中热力学状态变化来吸收环境热量的技术，在产品加工、储藏、运输等应用中发挥出巨大作用。相变储冷中所使用的相变材料在反复的相变过程中化学性能稳定，可多次循环利用，对环境友好，无毒，安全。另外相变储冷材料价格比较便宜，并且较容易制备，并且能在很小的温度变化范围带来大量能量的转换过程。实际使用时只需要定期对相变储冷材料模块进行更换即可，不需要冷水机、水循环管路和水压控制等繁复的冷却水配套设施。
21.在所述压板3上设置弹性接触件6，弹性接触件6设置在靠近压板3的边缘。所述弹
性接触件6为压缩弹簧。
22.在所述压板3上还设置磁吸块7，磁吸块7可与车体1吸附在一起。
23.在所述车体1底部设置滚轮8。所述车体1为平板，压板3也为平板，被输送的镀膜样品也为平板。
24.本实用新型的相变冷却材料为含有添加剂和纳米氧化物颗粒的纳米流体。在水介质中加入纳米氧化物颗粒和添加添加剂，通过超声波振荡使得纳米氧化物颗粒在水中均匀分散，形成稳定的纳米氧化物
‑
水的纳米流体。将制成的纳米流体灌装封入与合页式样品传送车的容腔5中，再将灌有纳米流体的压板3放入温度为
‑
20摄氏度以下的冷库中吸收冷量备用。
25.其中，纳米氧化物颗粒可以是氧化铝颗粒、二氧化钛颗粒、二氧化硅颗粒中任意一种，其纳米颗粒粒径为20nm~100nm。添加剂为氯化钡、氯化钠、氯化钾、硫化铜、硫酸铜、硝酸钾、钼酸钠中任意一种。氧化物颗粒与添加剂的质量分数分别为1%~50%和0.02%~10%。
26.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种相变冷却合页式样品传送车，包括车体，其特征在于，在车体的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板，在车体上还设置压板，压板的一边通过合页与车体活动连接以实现单侧开合，在压板内设置容腔，在容腔内盛满相变冷却材料。2.如权利要求1所述的相变冷却合页式样品传送车，其特征在于，在所述压板上设置弹性接触件，弹性接触件设置在靠近压板的边缘。3.如权利要求2所述的相变冷却合页式样品传送车，其特征在于，所述弹性接触件为压缩弹簧。4.如权利要求1所述的相变冷却合页式样品传送车，其特征在于，在所述压板上还设置磁吸块，磁吸块可与车体吸附在一起。5.如权利要求1所述的相变冷却合页式样品传送车，其特征在于，在所述车体底部设置滚轮。6.如权利要求1所述的相变冷却合页式样品传送车，其特征在于，所述车体为平板，压板也为平板。

技术总结
本实用新型涉及一种相变冷却合页式样品传送车，包括车体，在车体的中部设置凹槽，在凹槽的四周边缘分别设置支撑板，在车体上还设置压板，压板的一边通过合页与车体活动连接以实现单侧开合，在压板内设置容腔，在容腔内盛满相变冷却材料。本实用新型满足不同厚度尺寸的镀膜样品的镀膜需求，很好地解决了分体式样品传送车和插槽式样品传送车所面临的问题，而且解决运动部件冷却实施、使用和维护困难的问题。题。题。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：杭州纤纳光电科技有限公司
技术研发日：2021.03.08
技术公布日：2021/10/15