蒸镀掩膜的制造装置以及制造方法与流程

技术特征：
1.蒸镀掩膜的制造装置，包括：设置结构体的工作台，所述结构体设有蒸镀掩膜和与所述蒸镀掩膜相接的金属层；和从所述蒸镀掩膜将所述金属层剥离并进行卷绕的旋转辊。2.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述旋转辊沿着与所述工作台的一边大致平行的第1方向、相对于所述工作台相对地移动而对所述金属层进行卷绕。3.根据权利要求2所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述旋转辊以使所述金属层的被剥离面成为内侧地进行卷绕的方式旋转。4.根据权利要求1所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述蒸镀掩膜的制造装置还包括对被从所述蒸镀掩膜剥离了的所述金属层进行按压的按压辊。5.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述蒸镀掩膜的制造装置构成为使得所述旋转辊与所述按压辊的彼此的轴距可变。6.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述按压辊以形成中心角为180
°
以上的圆弧地弯曲的方式对被剥离了的所述金属层进行按压。7.根据权利要求6所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述蒸镀掩膜的制造装置还包括对所述工作台与被剥离了的所述金属层的弯曲面的距离进行测定的传感器。8.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述按压辊配合所述旋转辊而相对于所述工作台相对地移动。9.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述按压辊的中心轴位于比所述旋转辊的中心轴靠下方的位置。10.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述蒸镀掩膜的制造装置还包括用于防止所述金属层的卷绕的浮起的第1固定辊。11.根据权利要求10所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述第1固定辊的中心轴位于比所述旋转辊的中心轴靠上方的位置。12.根据权利要求4所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述蒸镀掩膜的制造装置还包括用于防止所述金属层的剥离的跳出的第2固定辊。13.根据权利要求12所述的蒸镀掩膜的制造装置，其中，所述第2固定辊的中心轴位于比所述按压辊的中心轴靠下方的位置。14.蒸镀掩膜的制造方法，包括：在设有蒸镀掩膜和与所述蒸镀掩膜相接的金属层的结构体中，一边用旋转辊卷绕所述金属层，一边使所述旋转辊沿着与所述结构体的一边大致平行的第1方向移动，从所述蒸镀掩膜将所述金属层剥离。15.根据权利要求14所述的蒸镀掩膜的制造方法，其中，所述旋转辊以使所述金属层的被剥离面成为内侧地进行卷绕的方式旋转。16.根据权利要求14所述的蒸镀掩膜的制造方法，其中，以形成中心角为180
°
以上的圆弧地弯曲的方式，使对被剥离了的所述金属层进行按压
的按压辊沿着所述第1方向移动。17.根据权利要求14所述的蒸镀掩膜的制造方法，其中，还包括对所述金属层进行按压的按压辊。18.根据权利要求16或17所述的蒸镀掩膜的制造方法，其中，根据所述金属层，使所述旋转辊与所述按压辊的彼此的轴距变化。

技术总结
本发明提供品质稳定的蒸镀掩膜的制造装置及蒸镀掩膜的制造方法。并且提升作业者的作业效率。蒸镀掩膜的制造装置，包括：设置结构体的工作台，所述结构体设有蒸镀掩膜和与蒸镀掩膜相接的金属层；和从蒸镀掩膜将金属层剥离并进行卷绕的旋转辊。另外，蒸镀掩膜的制造方法包括：在设有蒸镀掩膜和与蒸镀掩膜相接的金属层的结构体中，一边用旋转辊卷绕金属层，一边使旋转辊沿着与结构体的一边大致平行的第1方向移动，从蒸镀掩膜将金属层剥离。从蒸镀掩膜将金属层剥离。从蒸镀掩膜将金属层剥离。


技术研发人员：山田哲行
受保护的技术使用者：株式会社日本显示器
技术研发日：2021.03.30
技术公布日：2021/10/11