1.本实用新型涉及一种旋转靶材装配工装。
背景技术：
2.靶材是一种以金属制成的材料。在材料领域，靶材通常应用于半导体芯片、显示器、太阳能电池、电子器件等的制造。在制造过程中，对旋转靶材进行装配是一种常见的操作工序。
3.目前，通常都是对旋转靶材采用水平组装。但是采用水平组装的话，会存在装配精度低、稳定性差、操作困难、劳动强度大等缺陷。而现有的采用垂直组装的装配工装也存在着难以对应多种规格的旋转靶材、容易损伤靶材的缺陷。
4.由此可见，能否基于现有技术中的不足，提供一种改进的旋转靶材装配工装，有效解决不能对应多种规格的旋转靶材、损伤靶材的问题，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度，成为本领域技术人员亟待解决的技术难题。
技术实现要素：
5.实用新型所要解决的课题
6.本实用新型的目的是在于克服现有技术的缺陷，提供一种旋转靶材装配工装。根据本实用新型所提供的使用安全、结构合理的旋转靶材装配工装，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度。
7.用于解决课题的方法
8.本实用新型第一方面涉及一种旋转靶材装配工装，
9.包括底座和装配杆，
10.底座包括台面和定位杆，
11.台面与定位杆垂直连接，
12.在台面的底部设有多个脚部支架，
13.装配杆通过定位杆进行装配，
14.装配杆包括法兰和导杆，
15.法兰与台面相接且被设于导杆的底部，
16.在导杆上设有分布均匀的多个滚珠轴承。
17.优选地，在定位杆的底部设有四个脚部支架。
18.优选地，在装配不同长度及大小的旋转靶材时采用不同长度的导杆。
19.优选地，台面和定位杆由不锈钢制成。
20.优选地，导杆为铝管。
21.实用新型的效果
22.根据本实用新型第一方面所涉及的旋转靶材装配工装，有效解决了不能对应多种规格的旋转靶材、损伤靶材的问题，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度。
附图说明
23.图1为本发明的第一实施方式的旋转靶材装配工装的示意图。
24.图2为图1中的旋转靶材装配工装的底座的示意图。
25.图3为图1中的旋转靶材装配工装的装配杆的示意图。
具体实施方式
26.以下，对于本实用新型所涉及的旋转靶材装配工装详细地进行说明。
27.图1为本发明的第一实施方式的旋转靶材装配工装的示意图。如图1所示，旋转靶材装配工装包括底座1和装配杆2。
28.图2为图1中的旋转靶材装配工装的底座1的示意图。如图2所示，底座1包括台面11和定位杆12，台面11的截面例如呈方形，定位杆12例如呈圆柱状，但并不限于此，也可以是其他合适的形状。定位杆12焊后磨平，台面11与定位杆12垂直连接。另外，在台面11的底部可以如图1所示的那样设有多个脚部支架，例如可以设有4个脚部支架，但并不限于此，也可以设置其他数量。对底座1进行去毛刺处理，保持表面清洁。
29.图3为图1中的旋转靶材装配工装的装配杆2的示意图。如图3所示，装配杆2通过定位杆12进行装配，装配杆2包括法兰21和导杆22，法兰21例如呈圆环状。法兰21与台面11相接且被设于导杆22的底部，在导杆22上设有分布均匀的多个滚珠轴承23。
30.如此一来，垂直组装的旋转靶材装配工装能非常好地保证靶材装配的垂直装配精度，具有很好的稳定性。而且底座1与装配杆2可灵活拆装，便于更换不同长度的导杆22，组装不同长度及大小的旋转靶材。而通过在导杆22上设有分布均匀的多个滚珠轴承23，能有效保护背管内表面，避免损伤背管，延长背管使用寿命。
31.优选地，台面11和定位杆12由不锈钢制成，但是并不限于此，也可以是用其他适当的材料制成。
32.优选地，导杆22为铝管，但是并不限于此，也可以是用其他适当的材料制成。
33.以下，将对本实用新型合适的实施例做说明，不过本实用新型的实施形式不限于此。
34.＜实施例1＞
35.实施例1中的旋转靶材装配工装包括底座1和装配杆2。底座1包括不锈钢制成的台面11和定位杆12。台面的截面呈边长为490
‑
510mm的方形，厚度为15
‑
25mm。定位杆12呈直径为55
‑
65mm，长为500
‑
540mm的圆柱状。定位杆12焊后磨平，台面11与定位杆12垂直连接。在台面11的底部设有4个脚部支架，分别设于四角，脚部支架与台面11的边的距离为25
‑
35mm。装配杆2通过定位杆12进行装配，装配杆2包括法兰21和导杆22，导杆22为铝管。法兰21呈圆环状，圆环的外直径为190
‑
200mm，内直径为65
‑
75mm。法兰21与台面11相接且被设于导杆22的底部，导杆22长度为1700
‑
1800mm，在铝管22上设有分布均匀的多个滚珠轴承23。通过应用在本实施例中制造的旋转靶材装配工装，垂直组装的旋转靶材装配工装能非常好地保证靶材装配的垂直装配精度，具有很好的稳定性。底座1与装配杆2可灵活拆装，便于更换不同长度的导杆22，组装不同长度及大小的旋转靶材。而通过在导杆22上设有分布均匀的多个滚珠轴承23，能有效保护背管内表面，避免损伤背管，延长背管使用寿命。
36.产业应用性
37.根据本实用新型所涉及的使用方便、结构合理的旋转靶材装配工装，有效解决了不能对应多种规格的旋转靶材、损伤靶材的问题，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度。
38.虽然通过参照本发明的某些优选实施方式，已经对本发明进行了图示和描述，但本领域的普通技术人员应该明白，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。
技术特征：
1.一种旋转靶材装配工装，其特征在于，包括底座和装配杆，底座包括台面和定位杆，台面与定位杆垂直连接，在台面的底部设有多个脚部支架，装配杆通过定位杆进行装配，装配杆包括法兰和导杆，法兰与台面相接且被设于导杆的底部，在导杆上设有分布均匀的多个滚珠轴承。2.根据权利要求1所述的旋转靶材装配工装，其特征在于，在定位杆的底部设有四个脚部支架。3.根据权利要求1所述的旋转靶材装配工装，其特征在于，在装配不同长度及大小的旋转靶材时采用不同长度的导杆。4.根据权利要求1所述的旋转靶材装配工装，其特征在于，台面和定位杆由不锈钢制成。5.根据权利要求1所述的旋转靶材装配工装，其特征在于，导杆为铝管。
技术总结
本实用新型提供一种旋转靶材装配工装，包括底座和装配杆，底座包括台面和定位杆，台面与定位杆垂直连接，在台面的底部设有多个脚部支架，装配杆通过定位杆进行装配，装配杆包括法兰和导杆，法兰与台面相接且被设于导杆的底部，在导杆上设有分布均匀的多个滚珠轴承。根据本实用新型，有效解决了不能对应多种规格的旋转靶材、损伤靶材的问题，显著提高装配精度和装配稳定性，降低劳动强度。降低劳动强度。降低劳动强度。
技术研发人员：陈超 刘富
受保护的技术使用者：攀时（上海）高性能材料有限公司
技术研发日：2021.02.26
技术公布日：2021/10/8
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