一种管式PECVD设备的腔室结构的制作方法

技术特征：
1.一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于，包括石英炉管（9），前端法兰组件，尾端法兰组件和补气装置；所述石英炉管（9）的两端分别与所述前端法兰组件和后端法兰组件固接；所述石英炉管（9）内设置有石墨舟（22）；所述前端法兰组件包括前端固定法兰（10）；所述前端固定法兰（10）套接在所述石英炉管（9）一端外壁；所述前端固定法兰（10）的一侧依次固接有前端水冷法兰（11），前端密封法兰（24），前端进气法兰（12）和炉门（13）；所述前端进气法兰（12）为环状设置；所述前端进气法兰（12）内开设有环形腔；所述前端进气法兰（12）内壁周向等距开设有若干布气孔（23）；所述布气孔（23）与所述环形腔连通；所述前端进气法兰（12）外壁底部连通有进气管（15）；远离所述进气管（15）的所述布气孔（23）孔径逐渐增大；所述石英炉管（9）另一端连通有补气装置。2.根据权利要求1所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述尾端法兰组件包括尾端固定法兰（5）；所述尾端固定法兰（5）套接在所述石英炉管另一端外壁；所述尾端固定法兰（5）的一侧依次固接有尾端密封法兰（4），尾端水冷法兰（3）和尾端端面法兰（2）。3.根据权利要求2所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述补气装置包括补气管（7）；所述补气管（7）位于所述石英炉管（9）外管口为补气管进气口（1）；所述补气管（7）位于所述石英炉管（9）内腔管口为补气管出气口（8）；所述补气管（7）的一端连通有补气管进气管道a（16）和补气管进气管道b（17）；所述尾端端面法兰（2）侧面开设有补气通孔（25）；所述补气管（7）另一端通过所述补气通孔连通所述石英炉管（9）内腔，且固接有补气管固定件（26）；所述补气管固定件（26）顶部与所述石英炉管（9）内壁顶部固接。4.根据权利要求3所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述补气管出气口（8）端面依次固接有均匀布气板（18）和补气管布气板（19）。5.根据权利要求1所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述进气管（15）由进气管道a（20）和进气管道b（21）组成。6.根据权利要求2所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述石墨舟（22）的一端电性连接有电极杆（6）；所述电极杆（6）的一端贯穿所述尾端端面法兰（2）侧面中部电性连接有外接电源。7.根据权利要求2所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述尾端端面法兰（2）侧面底部连通有抽气管（14）；所述抽气管（14）的一端贯穿所述尾端端面法兰（2）侧面连通所述石英炉管（9）内腔。8.根据权利要求7所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述抽气管（14）外壁距所述石英炉管（9）底面50
‑
100mm。9.根据权利要求3所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述补气通孔（25）内壁顶部距所述尾端端面法兰（2）顶端50
‑
100mm。10.根据权利要求3所述的一种管式pecvd设备的腔室结构，其特征在于：所述补气管（7）出气方向平行于所述石墨舟（22）顶面。

技术总结
本实用新型公开一种管式PECVD设备的腔室结构，包括石英炉管，前端法兰组件，尾端法兰组件和补气装置；石英炉管的两端分别与前端法兰组件和后端法兰组件固接；石英炉管内设置有石墨舟；前端固定法兰套接在石英炉管一端外壁；前端进气法兰为环状设置；前端进气法兰内开设有环形腔；前端进气法兰内壁周向等距开设有若干布气孔；布气孔与环形腔连通；前端进气法兰外壁底部连通有进气管；远离进气管的布气孔孔径逐渐增大；石英炉管另一端连通有补气装置；能够实现工艺气体可以快速且均匀的分布在石英炉管内，气流在管内分布的均匀性以及沉积膜的均匀性大幅度的提高。的均匀性大幅度的提高。的均匀性大幅度的提高。


技术研发人员：周继承 黄静 廖佳 梁慧玲 徐伟 吕博文
受保护的技术使用者：中南大学
技术研发日：2021.01.11
技术公布日：2021/10/8