一种多机连抛装置的制作方法

1.本实用新型属于抛光技术领域，具体涉及一种多机连抛装置。


背景技术：

2.抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法，是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工，抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的，有时也用以消除光泽(消光)，通常以抛光轮作为抛光工具，抛光轮一般用多层帆布、毛毡或皮革叠制而成，两侧用金属圆板夹紧，其轮缘涂敷由微粉磨料和油脂等均匀混合而成的抛光剂，抛光时，高速旋转的抛光轮(圆周速度在20米/秒以上)压向工件，使磨料对工件表面产生滚压和微量切削，从而获得光亮的加工表面，表面粗糙度一般可达ra0.63～0.01微米，当采用非油脂性的消光抛光剂时，可对光亮表面消光以改善外观，大批量生产轴承钢球时，常采用滚筒抛光的方法。
3.现有的抛光技术存在以下问题：目前市场上适用于硅片、砷化镓、蓝宝石片等硬脆材料单面抛光的设备有很多。但目前主要以单机形式工作，硅片在进行单面抛光时，一般分为粗抛、细抛和精抛工序几个工序，不同工序采用的抛光耗材有所区别，如抛光垫、抛光液等，因此不同的抛光工序通常在不同的装置上完成，粗抛和细抛时间相对精抛时间要长，单机操作时，从粗抛到细抛再到精抛，需要人工进行转运，粗抛机加工完的工件需搬到转运小车，转运小车推至细抛机，再将工件放置的细抛机上，如果细抛机上一盘还未加工完，还需等待，这段时间比较长，从细抛到精抛也是如此，由于转运和等待之间较长，硅片上残留的抛光液会对片子表面进一步腐蚀，会加大下一步加工时间的延长，加工效率变低，甚至会造成产品品质的下降，单面抛光工件一般粘在或吸附在陶瓷盘上，陶瓷盘很重，人工搬运劳动强度很大。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种多机连抛装置，以解决上述背景技术中提出的单面抛光机单机工作模式，提高设备的自动化水平，提高加工效率和产品品质，降低劳动强度和用工数量的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多机连抛装置，包括移动料车、机械手和陶瓷盘，所述移动料车的中部设置有上料机构，所述上料机构的一侧设置有陶瓷盘，所述移动料车上表面一侧固定连接入口接盘盒一端，所述入口接盘盒的另一端固定连接粗抛机，所述粗抛机的设置在驱动箱的上表面，所述粗抛机与驱动箱之间设置有机械手，所述驱动箱的下表面固定安装有滚轮，所述粗抛机的一侧通过中部接盘盒固定连接细抛机，所述细抛机的一侧通过中部接盘盒固定连接精抛机，所述精抛机的一侧通过出口接盘盒固定连接取片。
6.优选的，所述入口接盘盒与移动料车的连接处设置在陶瓷盘的上侧。
7.优选的，所述粗抛机下侧设置有两个所述机械手，两个所述机械手垂直设置，且分别设置在入口接盘盒和中部接盘盒的下侧，所述细抛机和精抛机的下侧均设置一个所述机械手，且分别位于中部接盘盒和出口接盘盒的下侧。
8.优选的，所述细抛机和精抛机均设置在驱动箱的上表面。
9.优选的，所述粗抛机、细抛机和精抛机均设置有四个所述陶瓷盘，且均匀分布。
10.优选的，所述取片口与出口接盘盒之间设置有陶瓷盘。
11.优选的，所述粗抛机、细抛机和精抛机的中部均设置有中心导轮，且与陶瓷盘的边缘均设置有检测开关。
12.与现有技术相比，本实用新型提供了一种多机连抛装置，具备以下有益效果：本实用新型设置有粗抛机、细抛机和精抛机，并通过接盘和和机械手进行传递连接为同一装置，工作时不需要人工进行转运，减少人工的搬运的劳动强度，可以有效的减少加工时间，提高加工效率，转运和等待的时间较短，从而硅片表面残留的抛光液对片子表面腐蚀减少，可以有效的减少下一步加工时长的延长，减少产品品质的下降，并且加工效率变高，采用机械手自动进行抓取陶瓷盘，更加方便快捷，机械手具有手臂整体升降功能、整体摆动功能、手臂伸缩和翻转功能，满足机械手不同高度、不同位置，不同放置方式的抓取需要，接盘盒可以有效的防止陶瓷盘搬运过程中意外掉落和摔坏，实现了自动化，降低了劳动强度，生产效率也得到提高，在生产节拍上更紧凑，未清洗的硅片减少了等待时间，避免硅片被残留抛光液长时间腐蚀，大大提升产品品质，系统自动化，减少了用工数量，降低人员对洁净车间的干扰因素，能较好的保持车间的洁净度水平，有利于提高产品品质。
附图说明
13.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
14.图1为本实用新型提出的一种多机连抛装置结构示意图；
15.图2为本实用新型提出的粗抛机结构示意图；
16.图中：1、移动料车；2、上料机构；3、入口接盘盒；4、机械手；5、粗抛机；6、中部接盘盒；7、细抛机；8、精抛机；9、出口接盘盒；10、取片口；11、陶瓷盘；12、驱动箱；13、滚轮；14、中心导轮；15、检测开关。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.请参阅图1
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2，本实用新型提供一种多机连抛装置技术方案：一种多机连抛装置，包括移动料车1、机械手4和陶瓷盘11，装置需要实现自动加工以及机械手4在装置上抓取陶瓷盘11，陶瓷盘11需要有一个固定的位置，装置抛头自动落下才不会压偏，机械手4也不会抓偏，装置需要具有陶瓷盘11自动定位系统；陶瓷盘11放置在装置大盘上，大盘上部设有可升降及旋转的中心导轮14，大盘四周设有可摆动的外导轮，外导轮与中心导轮14配合，可实
现陶瓷盘11的自动定位，外导轮上设有检测开关15，用于判定该处是否有陶瓷盘11，并将信号上传，移动料车1的中部设置有上料机构2，上料机构2的一侧设置有陶瓷盘11，移动料车1上表面一侧固定连接入口接盘盒3一端，入口接盘盒3的另一端固定连接粗抛机5，粗抛机5设置在驱动箱12的上表面，粗抛机5与驱动箱12之间设置有机械手4，机械手4用于陶瓷盘11的抓取，机械手4采用真空吸附的办法抓取陶瓷盘11，陶瓷盘11较重，市场没有商品化的真空吸盘可用，此处采取特殊的吸盘，能可靠的吸附陶瓷盘11，机械手4具有手臂整体升降功能、整体摆动功能、手臂伸缩和翻转功能，满足机械手4不同高度、不同位置，不同放置方式的抓取需要，驱动箱12的下表面固定安装有滚轮13，粗抛机5的一侧通过中部接盘盒6固定连接细抛机7，细抛机7的一侧通过中部接盘盒6固定连接精抛机8，精抛机8的一侧通过出口接盘盒9固定连接取片口10，要实现机械手4能顺利的往装置放陶瓷盘11或从装置取陶瓷盘11，二者之间必须进行实时通讯，装置要有信号给机械手4，是否满足放盘或取盘条件，满足了机械手4方可进行放盘或取盘动作；机械手4也要有信号给装置，是否已将陶瓷盘11抓牢或放好，装置才能判断是否进行下一步动作以配合机械手4的进一步动作，直至全部陶瓷盘11取完或放完。系统进料端的机械手4既要和上料机之间通讯也要和第一台装置通讯，装置之间的机械手4要和左右两侧的装置进行通讯，出料端机械手4要与最后一台装置和取片口10进行通讯。
19.由于粗抛时间最长，细抛时间较长，精抛时间相对最短，为了整个产线的生产节奏更高效，系统通常配四台或五台装置，将粗抛分为两次或将细抛也分为两次，分别在不同的装置上进行，并且工作功率粗抛机5小于细抛机7小于精抛机8，即粗抛机5、细抛机7和精抛机8表明陶瓷盘11的转速不同，入口接盘盒3与移动料车1的连接处设置在陶瓷盘11的上侧，粗抛机5下侧设置有两个机械手4，两个机械手4垂直设置，且分别设置在入口接盘盒3和中部接盘盒6的下侧，细抛机7和精抛机8的下侧均设置一个机械手4，且分别位于中部接盘盒6和出口接盘盒9的下侧，细抛机7和精抛机8均设置在驱动箱12的上表面，粗抛机5、细抛机7和精抛机8表面均设置有四个陶瓷盘11，且均匀分布，取片口10与出口接盘盒9之间设置有陶瓷盘11，粗抛机5、细抛机7和精抛机8的中部均设置有中心导轮14，且与陶瓷盘11的边缘均设置有检测开关15，系统自动化，减少了用工数量，降低人员对洁净车间的干扰因素，能较好的保持车间的洁净度水平，有利于提高产品品质。
20.本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，移动料车1上装载有粘好硅片的陶瓷盘11，移动料车1靠近上料机构2，并定好位，上料机构2将移动料车1上的陶瓷盘11移至取料位，机械手4将陶瓷盘11搬运至粗抛机5上，粗抛机5加工完后，机械手4再将粗抛机5上的陶瓷盘11抓取放置到细抛机7上，细抛机7加工完成后，机械手4将陶瓷盘11抓取放置到到精抛机8上，最后机械手4将精抛机8加工完后的陶瓷盘11抓取放置到取片口10上，在上料机构2与粗抛机5之前设有入口接盘盒3，在粗抛机5与细抛机7，细抛机7与精抛机8之间均设有中部接盘盒6，精抛机8与取片口10之间设有出口接盘盒9，各接盘盒用于陶瓷盘11搬运过程中意外掉落防止被摔坏。
21.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。