基于固态等离子体的可调谐光缓存器的制作方法

技术特征：
1.基于固态等离子体的可调谐光缓存器，其特征在于，包括呈l型的介质基板，所述介质基板的内侧两个基板面上均设有一个锯齿型明模谐振单元和两个齿轮型准暗模谐振单元；所述锯齿型明模谐振单元包括一个横切线和两组锯齿组，所述横切线沿介质基板的基板面水平中线设置，所述横切线的两端为三角形结构，两组所述锯齿组分别靠近所述横切线两端且异侧设置，所述锯齿组包括三个长度由大到小沿所述横切线方向依次排布的锯齿；所述齿轮型准暗模谐振单元包括两个八边形齿轮组，两个所述齿轮组分别靠近所述横切线两端且与所述横切线两端的所述锯齿组异侧设置。2.根据权利要求1所述的基于固态等离子体的可调谐光缓存器，其特征在于，所述齿轮组包括开口八边形齿轮和闭口八边形齿轮，所述开口八边形齿轮和闭口八边形齿轮由外向内依次同心设置。3.根据权利要求2所述的基于固态等离子体的可调谐光缓存器，其特征在于，所述开口八边形齿轮的开口位于远离所述横切线的一侧。4.根据权利要求3所述的基于固态等离子体的可调谐光缓存器，其特征在于，所述开口八边形齿轮的开口处两端和所述开口八边形齿轮的中间对称处的材料为固态等离子体，所述开口八边形齿轮的其余本体部分和所述闭口八边形齿轮的材料为铜；所述横切线的中间部分的材料为固态等离子体，所述横切线中间部分以外的其余部分材料为铜。5.根据权利要求4所述的基于固态等离子体的可调谐光缓存器，其特征在于，所述横切线长为158.4μm，宽为11.4μm，所述横切线两端的三角形高为5.7μm，从所述横切线向中间的同侧三个所述锯齿长度依次为17μm、12μm、7μm，所述锯齿宽为4μm，所述锯齿末端的三角形高为2μm，同一侧的所述锯齿间隔为16μm，所述中间部分的固态等离子体的长度为0.5μm，靠近中间的锯齿与中间部分的固态等离子体的间隔为20.75μm。6.根据权利要求5所述的基于固态等离子体的可调谐光缓存器，其特征在于，所述齿轮型准暗模谐振单元的中心与所述介质基板的中心的二维间隔为60μm和65μm；所述开口八边形齿轮为内半径为27.6μm，宽为11μm，开口大小为17μm的开口八边形环；所述开口八边形齿轮的开口两端增加固态等离子体部分后的开口为13.4μm，中间对称处的固态等离子体部分宽为0.2μm；所述闭口八边形齿轮为内半径为4μm，宽为2μm的闭合八边形环。7.根据权利要求1所述的基于固态等离子体的可调谐光缓存器，其特征在于，所述锯齿型明模谐振单元和所述齿轮型准暗模谐振单元的厚度均为0.3μm。8.根据权利要求1所述的基于固态等离子体的可调谐光缓存器，其特征在于，所述介质基板的介电常数为4.41，损耗角正切为0。9.一种可调谐光缓存器，其特征在于，包括若干个周期矩阵排列的如权利要求1
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8所述基于固态等离子体的可调谐光缓存器。10.根据权利要求9所述的可调谐光缓存器，其特征在于，若干所述基于固态等离子体的可调谐光缓存器的周期矩阵排列为3*3矩阵。

技术总结
本实用新型公开了基于固态等离子体的可调谐光缓存器，属于无线电通信技术领域，包括呈L型的介质基板，所述介质基板的内侧两个基板面上均设有一个锯齿型明模谐振单元和两个齿轮型准暗模谐振单元；所述锯齿型明模谐振单元包括一个横切线和两组锯齿组，所述横切线沿介质基板的基板面水平中线设置，所述横切线的两端为三角形结构，两组所述锯齿组分别靠近所述横切线两端且异侧设置，所述锯齿组包括三个长度由大到小沿所述横切线方向依次排布的锯齿；所述齿轮型准暗模谐振单元包括两个八边形齿轮组，两个所述齿轮组分别靠近所述横切线两端且与所述横切线两端的所述锯齿组异侧设置。本实用新型提供的可调谐光缓存器能够实现光缓存功能。缓存功能。缓存功能。


技术研发人员：李汾应 陈权芳 徐艺 章海锋
受保护的技术使用者：南京邮电大学
技术研发日：2020.12.16
技术公布日：2021/9/24