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光掩模盒及其耐磨件的制作方法

2021-09-25 00:44:00 来源:中国专利 TAG:耐磨 是有 用以 尺寸 接触

技术特征:
1.一种光掩模盒,其特征在于,包括:一上盖体;一盒体,透过至少一导位块与该上盖体配合,该盒体包括一直立空间;复数卡槽,成对设于该直立空间上;该卡槽设置有一耐磨组;该耐磨组包括:一第一耐磨件,设置于该卡槽的一端;以及一第二耐磨件,设置于该卡槽的另一端。2.如权利要求1所述的光掩模盒,其特征在于,该上盖体与该盒体为静电消散材质制成。3.如权利要求1所述的光掩模盒,其特征在于,该盒体外更设置有一把手,成对设于该盒体外的对称位置。4.如权利要求1所述的光掩模盒,其特征在于,该卡槽中央连接该第二耐磨件之处设置有一第三斜面。5.如权利要求1所述的光掩模盒,其特征在于,该卡槽上端更设有至少一固定件,该至少一固定件相应配合设于该第一耐磨件上之至少一固定件孔将该第一耐磨件连接于该卡槽上。6.如权利要求5所述的光掩模盒,其特征在于,每个该固定件具有一锥状部,该锥状部与每个该固定件孔配合。7.如权利要求1所述的光掩模盒,其特征在于,该第一耐磨件透过至少一埋设件与该卡槽连接。8.一种耐磨组,设置于一基板容器中设有的复数卡槽上,其特征在于,该耐磨组包括:一第一耐磨件,设置于该卡槽的一端;以及一第二耐磨件,设置于该卡槽的另一端。9.如权利要求8所述的耐磨组,其特征在于,卡槽上端更设有至少一固定件,该至少一固定件相应配合设于该第一耐磨件上之至少一固定件孔将该第一耐磨件连接于该卡槽上。10.如权利要求9所述的耐磨组,其特征在于,该固定件具有一锥状部,该锥状部与该固定件孔配合。11.如权利要求8所述的耐磨组,其特征在于,该第一耐磨件透过至少一埋设件与该卡槽连接。12.如权利要求8所述的耐磨组,其特征在于,该第一耐磨件更包括一第一斜面。13.如权利要求8所述的耐磨组,其特征在于,该第二耐磨件更包括一第二斜面。14.如权利要求8或13所述的耐磨组,其特征在于,该第二耐磨件更包括至少一卡榫部。

技术总结
本发明提供了一种光掩模盒及其耐磨件,特别是一种具有耐磨件的光掩模盒。其中,该光掩模盒为一种大尺寸光掩模盒且为直立式,用以容置光掩模,主要包括一上盖体与一盒体,该盒体用以与该上盖体组合,形成一内部空间可容纳一光掩模。该盒体外设置有一导位块,该导位块可以协助导正盒体与上盖体的相对位置,该盒体内接触直立式光掩模的接触面设置有至少一卡槽,而该卡槽上设置有至少一耐磨组。其中,该耐磨组更包括一设置于卡槽上部的第一耐磨件以及一设置于该卡槽下部的第二耐磨件。一设置于该卡槽下部的第二耐磨件。一设置于该卡槽下部的第二耐磨件。


技术研发人员:邱铭乾 盛剑平
受保护的技术使用者:家登精密工业股份有限公司
技术研发日:2020.04.14
技术公布日:2021/9/24
再多了解一些

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