一种线圈电磁挤压式磁过滤装置的制作方法

技术特征：
1.一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。2.根据权利要求1所述的一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：所述偏转挤压组件包括第一偏转线圈构件、第二偏转线圈构件，所述第一偏转线圈构件包括第一偏转线圈与第一铁芯，所述第一偏转线圈套设在所述第一铁芯的外部，所述第二偏转线圈构件包括第二偏转线圈与第二铁芯，所述第二偏转线圈套设在所述第二铁芯的外部。3.根据权利要求2所述的一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：所述第一铁芯与所述第二铁芯在水平面的投影重合，分别设置在所述偏转室与所述真空室的连接处的两侧，所述第一偏转线圈与所述第二偏转线圈的尺寸规格相同。4.根据权利要求3所述的一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：所述线圈电磁挤压式磁过滤装置还包括聚焦线圈，所述聚焦线圈套设在所述电弧阴极外部，与所述安装法兰连接。5.根据权利要求4所述的一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：通电时所述第一偏转线圈构件、第二偏转线圈构件形成的磁场均与所述聚焦线圈所形成的磁场方向互相垂直。6.根据权利要求5所述的一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：通电时所述第一偏转线圈构件、第二偏转线圈构件形成的磁场方向相反。7.根据权利要求6所述的一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：所述安装法兰与偏转室所成角度为90
°
。8.根据权利要求1所述的一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：所述线圈电磁挤压式磁过滤装置还包括工件转架，所述工件转架设置在所述真空室内部。9.根据权利要求1所述的一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，其特征在于：所述线圈电磁挤压式磁过滤装置还包括真空室门，所述真空室门设置在所述真空室上。

技术总结
本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，属于真空镀膜技术领域，包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式，能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转，完成大颗粒的过滤，使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善，有利于大面积和均匀沉积；并且在完成膜层沉积时，工件转架具有很大的自由设计空间，不被磁控过滤弯管的位置所限制，值得被推广使用。值得被推广使用。值得被推广使用。


技术研发人员：赵栋才 王启明 郑军 刘兴光 张子扬
受保护的技术使用者：安徽工业大学
技术研发日：2021.07.01
技术公布日：2021/10/8