技术特征：
1.一种利用废气热能增温操作气体的反应炉，其适用于气相沉积反应的技术，其特征在于，该反应炉包括：一反应腔，其内设有一晶圆承载装置；一废气汇集环，环设于该反应腔的侧壁，以收集该反应腔中完成气相沉积反应后的高温废气；一操作气体供给单元，提供操作气体；以及一气体输送管，连通该操作气体供给单元以及该晶圆承载装置，该气体输送管接收该操作气体供给单元提供的该操作气体，并将其输送至该晶圆承载装置，该气体输送管沿着该废气汇集环设置，令该操作气体能够吸收该废气汇集环中该高温废气的热能。2.如权利要求1所述的利用废气热能增温操作气体的反应炉，其特征在于：该气体输送管沿着该废气汇集环的内侧壁设置。3.如权利要求1所述的利用废气热能增温操作气体的反应炉，其特征在于：该气体输送管镶设于该废气汇集环侧壁内。4.如权利要求1所述的利用废气热能增温操作气体的反应炉，其特征在于：该气体输送管沿着该废气汇集环的外侧壁设置。5.如权利要求1所述的利用废气热能增温操作气体的反应炉，其特征在于：该晶圆承载装置用于承载至少一晶圆，该晶圆承载装置包括：至少一碟盘，具有一上方开放的晶圆槽，以供该晶圆以反应面朝下的方式置入，该晶圆槽下方设有一反应口以供该反应面裸露；一下大盘，具有至少一个上方开放的碟盘槽，以供该碟盘置入，该碟盘槽下方设有一底口以供该反应面裸露；及一上大盘，遮盖于该下大盘的上方并将该碟盘槽上方封闭。6.如权利要求5所述的利用废气热能增温操作气体的反应炉，其特征在于：该碟盘槽设有一环槽沟，该碟盘设有一嵌入于该环槽沟的对接部，该环槽沟内设有一环状气浮通道；该环状气浮通道以切线方向衔接一入气引道，该入气引道连通该气体输送管，以引入该操作气体施力于该对接部，使该碟盘悬浮及旋转；该环槽沟衔接于一第一泄出口，以供该操作气体排出。7.如权利要求6所述的利用废气热能增温操作气体的反应炉，其特征在于：该上大盘设有一第二泄出口，该第二泄出口与该第一泄出口衔接。8.如权利要求1所述的利用废气热能增温操作气体的反应炉，其特征在于：该废气收集环包括一壳体，该壳体上设有一入气口以及一排气口，该入气口连通该反应腔，该排气口连通一废气回收单元。9.如权利要求1所述的利用废气热能增温操作气体的反应炉，其特征在于：还包括一反应气体喷射装置，设置穿设于该反应腔内，以提供反应气体在该反应腔中进行气相沉积反应。
技术总结
本实用新型为一种利用废气热能增温操作气体的反应炉，适用于气相沉积反应的技术，反应炉包括一反应腔内设有一晶圆承载装置，及一废气汇集环提供环设于反应腔的侧壁。一气体输送管沿着废气汇集环设置，气体输送管连通操作气体供给单元及晶圆承载装置，以输送操作气体供给单元提供的操作气体至晶圆承载装置，以驱动晶圆承载装置转动晶圆。由于气体输送管沿着废气汇集环设置，使操作气体能吸收废气汇集环中高温废气的热能，以产生与反应炉反应温差较小的操作气体，从而降低操作气体对于反应炉温度的影响，维持制作晶圆的品质。维持制作晶圆的品质。维持制作晶圆的品质。
技术研发人员：吴铭钦 刘峰
受保护的技术使用者：苏州雨竹机电有限公司
技术研发日：2020.12.21
技术公布日：2021/10/8
再多了解一些
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