一种基于硅片成品的检测装置的制作方法

1.本实用新型涉及硅片检测技术领域，具体为一种基于硅片成品的检测装置。


背景技术：

2.当前对硅片完整度的检测通常采用的方法是工作人员手持硅片，并不断地改变手持硅片的角度，以此来观察硅片上是否有划痕和缺口，这种方法容易出现疏漏，有可能会漏检硅片上的一些区域，且手持硅片不断变换角度地观察，存在硅片掉落的风险。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种基于硅片成品的检测装置，具备可较为完全地检测硅片，且可避免硅片掉落的优点，解决了当前工作人员手持硅片不断地变换角度观察检测，容易出现漏检一些区域，硅片容易掉落的问题。
5.(二)技术方案
6.为实现上述可较为完全地检测硅片，且可避免硅片掉落的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于硅片成品的检测装置，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有立支架，所述立支架的右侧固定连接有第一电机，所述立支架的内部开设有传动槽，所述传动槽中转动连接有驱动螺杆，所述驱动螺杆的右端与第一电机的输出端固定连接，所述驱动螺杆的侧表面传动连接有动块，所述动块与传动槽滑动连接，所述动块的底部固定连接有检测机，所述工作台的底部固定连接有第二电机，所述工作台的顶部转动连接有驱动轴，所述驱动轴的底端与第二电机的输出端固定连接，所述驱动轴的顶端固定连接有转盘。
7.所述转盘的侧内壁开设有侧内槽，所述侧内槽的数量为三个，所述转盘的内底壁开设有底滑槽，所述底滑槽延伸至侧内槽中，所述底滑槽的数量为三个，三个所述底滑槽中均滑动连接有底滑板，所述底滑板的顶部固定连接有连板，所述连板的顶部固定连接有卡板，三个所述底滑槽的内部均固定连接有限位杆，所述底滑板与限位杆滑动连接，所述底滑槽中设置有弹簧，所述弹簧的两端分别与底滑板和底滑槽固定连接，所述弹簧处于拉长状态，三个所述连板互相远离的一端均设置有调节螺纹杆，调节螺纹杆与连板贴合，所述调节螺纹杆远离连板的一端固定连接有转轮。
8.优选的，所述传动槽的前侧内壁和后侧内壁均开设有侧滑槽，所述动块的正面和背面均设有凸起，所述动块的凸起延伸至侧滑槽中。
9.优选的，三个所述侧内槽以转盘的圆心为圆心圆周分布，且相邻两个所述侧内槽间的夹角相同。
10.优选的，三个所述底滑槽以转盘的圆心为圆心圆周分布，且相邻两个所述底滑槽间的夹角相同。
11.优选的，单个所述底滑槽中限位杆的数量为两个，所述限位杆的侧表面设置标尺刻度。
12.优选的，所述调节螺纹杆远离连板的一端侧内槽，并延伸出侧内槽，所述调节螺纹杆与侧内槽螺纹连接。
13.与现有技术相比，本实用新型提供了一种基于硅片成品的检测装置，具备以下有益效果：
14.1、该基于硅片成品的检测装置，通过设置第一电机、驱动螺杆、动块、第二电机、驱动轴、转盘和卡板，将待检测的硅片放置在转盘中，并与卡板贴合，启动第二电机，第二电机通过驱动轴带动转盘转动，再启动第一电机带动驱动螺杆转动，动块开始带动检测机移动，通过检测机的光学设备对硅片进行观测，可避免区域漏检，解决了当前工作人员手持硅片不断地变换角度观察检测，容易出现漏检一些区域，硅片容易掉落的问题。
15.2、该基于硅片成品的检测装置，通过设置底滑板、连板、调节螺纹杆、弹簧和转轮，转动转轮，改变调节螺纹杆位于转盘中的长度，弹簧回弹并带动底滑板移动，以此来调节卡板的位置，满足尺寸在弹簧的拉长形变范围内不同硅片的检测。
附图说明
16.图1为本实用新型主视结构示意图；
17.图2为本实用新型正视结构示意图；
18.图3为本实用新型图1中a的局部结构放大图。
19.其中：1、工作台；2、立支架；3、第一电机；4、传动槽；5、驱动螺杆；6、动块；7、检测机；8、第二电机；9、驱动轴；10、转盘；11、侧内槽；12、调节螺纹杆；13、底滑槽；14、限位杆；15、底滑板；16、连板；17、卡板；18、弹簧；19、转轮。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1
‑
3，本实用新型提供了一种基于硅片成品的检测装置，包括工作台1，工作台1的顶部固定连接有立支架2，立支架2的右侧固定连接有第一电机3，立支架2的内部开设有传动槽4，传动槽4的顶部与立支架2的顶部连通，传动槽4的底部与立支架2的底部连通，传动槽4中转动连接有驱动螺杆5，驱动螺杆5的右端与第一电机3的输出端固定连接，驱动螺杆5的侧表面传动连接有动块6，传动槽4的前侧内壁和后侧内壁均开设有侧滑槽，动块6的正面和背面均设有凸起，动块6的凸起延伸至侧滑槽中，动块6与传动槽4滑动连接，动块6的底部固定连接有检测机7，检测机7上设有照明装置，工作台1的底部固定连接有第二电机8，工作台1的顶部转动连接有驱动轴9，驱动轴9的底端与第二电机8的输出端固定连接，驱动轴9的顶端固定连接有转盘10，检测机7的探头正对转盘10的圆心。
22.转盘10的侧内壁开设有侧内槽11，侧内槽11的数量为三个，三个侧内槽11以转盘10的圆心为圆心圆周分布，且相邻两个侧内槽11间的夹角相同，转盘10的内底壁开设有底滑槽13，底滑槽13延伸至侧内槽11中，底滑槽13的数量为三个，三个底滑槽13以转盘10的圆心为圆心圆周分布，且相邻两个底滑槽13间的夹角相同，三个底滑槽13中均滑动连接有底
滑板15，底滑板15的顶部固定连接有连板16，连板16的顶部固定连接有卡板17，卡板17用于对硅片进行限位，三个底滑槽13的内部均固定连接有限位杆14，单个底滑槽13中限位杆14的数量为两个，限位杆14的侧表面设置标尺刻度，便于人们调节并确定底滑板15的位置，底滑板15与限位杆14滑动连接，底滑槽13中设置有弹簧18，弹簧18的两端分别与底滑板15和底滑槽13固定连接，弹簧18处于拉长状态，三个连板16互相远离的一端均设置有调节螺纹杆12，调节螺纹杆12与连板16贴合，调节螺纹杆12远离连板16的一端侧内槽11，并延伸出侧内槽11，调节螺纹杆12与侧内槽11螺纹连接，调节螺纹杆12远离连板16的一端固定连接有转轮19，转动转轮19，改变调节螺纹杆12位于转盘10中的长度，弹簧18回弹并带动底滑板15移动，以此来调节卡板17的位置，满足尺寸在弹簧18的拉长形变范围内不同硅片的检测。
23.在使用时，将待检测的硅片放置在转盘10中，并与卡板17贴合，启动第二电机8，第二电机8通过驱动轴9带动转盘10转动，再启动第一电机3带动驱动螺杆5转动，动块6开始带动检测机7移动，通过检测机7的光学设备对硅片进行观测。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。