一种具有隐蔽电路走线的FFU系统安装结构的制作方法

一种具有隐蔽电路走线的ffu系统安装结构
技术领域
1.本实用新型涉及ffu系统安装技术领域，更具体的说是涉及一种具有隐蔽电路走线的ffu系统安装结构。


背景技术：

2.半导体设备包括外壳，在外壳内通常需要进行湿法化学反应，湿法化学反应产生的气体导致外壳内部的工艺区域的气体环境变得不纯净，为了让外壳内部维持纯净稳定的气体环境，通常需要在外壳上安装ffu系统，利用ffu系统使外壳内建立良好的循环气场流，ffu系统包括ffu壳体，ffu壳体内设置有电线。
3.现有技术中，ffu壳体内的电线通常较乱，没有可以放置电线的地方，可能会影响气场流的建立。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种具有隐蔽电路走线的ffu系统安装结构，用于解决ffu壳体内电线乱的问题，为电线提供放置空间。
5.为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种具有隐蔽电路走线的ffu系统安装结构，包括外壳，所述外壳上设置有隐蔽组件，所述隐蔽组件包括走线壳体，所述走线壳体上开设有走线槽，所述走线槽用以收纳ffu壳体的电线，所述外壳顶面上开设有两个第一固定孔，所述外壳上设置有固定板，所述固定板上开设有两个第二固定孔，所述第二固定孔与所述第一固定孔一一对应，且所述第二固定孔位于所述第一固定孔上方，所述走线壳体的两端均形成有折边，所述折边上开设有第三固定孔，所述第三固定孔与所述第二固定孔一一对应，且所述第三固定孔位于所述第二固定孔上方。
6.作为本实用新型的进一步改进，所述走线壳体的长度小于所述固定板的长度，所述走线壳体的宽度小于所述固定板的宽度。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述走线壳体包括两个第一侧板和两个第二侧板，所述第一侧板与两个所述第二侧板均相互垂直，所述第一侧板上开设有第一走线孔，两个第一走线孔通过所述走线槽相互贯通，其中一个所述第二侧板上开设有第二走线孔，所述第二走线孔与所述走线槽相互贯通，所述第一走线孔、所述第二走线孔和所述走线槽均用以走线。
8.作为本实用新型的进一步改进，ffu壳体与所述走线壳体之间设置有连接管，所述连接管靠近所述走线壳体的一端与所述第二走线孔相适配，所述连接管通过所述第二走线孔与所述走线槽相互贯通。通过连接管将ffu壳体和所述走线壳体相互固定并相互连通，使得ffu壳体内的电线可以通过连接管进入所述走线槽。
9.作为本实用新型的进一步改进，外壳顶面上设置有定位组件，所述定位组件用以定位ffu壳体。
10.作为本实用新型的进一步改进，所述定位组件包括两组定位部，两组所述定位部
正对设置，所述定位部包括第一定位板和两个第二定位板，所述第一定位板和所述第二定位板均与外壳顶面固定连接，两个所述第二定位板通过所述第一定位板一体形成，同一组定位部内的两个所述第二定位板相互平行，且所述第一定位板与两个所述第二定位板均相互垂直，通过两组所述定位部对ffu壳体进行定位。
11.本实用新型的有益效果：本实用新型通过在外壳上设置隐蔽组件，隐蔽组件包括走线壳体，走线壳体上的走线槽用以收纳ffu壳体的电线，通过外壳上的第一固定孔、固定板上的第二固定孔和走线壳体的折边上的第三固定孔将走线壳体固定在外壳上，通过设置两组定位部以定位ffu壳体。
附图说明
12.图1是本实用新型的主视结构示意图；
13.图2是本实用新型图1中a处的放大结构示意图；
14.图3是本实用新型的俯视结构示意图。
15.附图标记：1、隐蔽组件；11、走线壳体；2、固定板；3、折边；4、第一走线孔；5、第二走线孔；6、连接管；7、定位组件；71、定位部；711、第一定位板；712、第二定位板；8、第一侧板；9、第二侧板。
具体实施方式
16.下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
17.参照图1至图3所示，本实施例的一种具有隐蔽电路走线的ffu系统安装结构，包括外壳，外壳上设置有隐蔽组件1，通过设置隐蔽组件1使得ffu装置的电路走线可隐蔽安装，隐蔽组件1包括走线壳体11，走线壳体11上开设有走线槽，ffu壳体内的电线通常较乱，没有可以放置电线的地方，通过走线槽可以收纳ffu壳体的电线，以保持整洁，走线壳体11设置在外壳顶部，不会影响气场流的建立。外壳顶面上开设有两个第一固定孔，外壳上设置有固定板2，固定板2上开设有两个第二固定孔，第二固定孔与第一固定孔一一对应，且第二固定孔位于第一固定孔上方，走线壳体11的两端均形成有折边3，折边3上开设有第三固定孔，第三固定孔与第二固定孔一一对应，且第三固定孔位于第二固定孔上方，固定板2位于外壳上方，走线壳体11位于固定板2上方，当需要将走线壳体11固定在外壳上时，操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一固定孔、第二固定孔和第三固定孔，使得固定板2和走线壳体11均与外壳顶面固定连接。走线壳体11的长度小于固定板2的长度，走线壳体11的宽度小于固定板2的宽度。走线壳体11包括两个第一侧板8和两个第二侧板9，第一侧板8与两个第二侧板9均相互垂直，第一侧板8上开设有第一走线孔4，第一走线孔4、第二走线孔5和走线槽均用以过线，当需要隐藏ffu壳体内的电线时，将电线依次穿入连接管6和第二走线孔5，然后容纳在走线槽内，以保持整洁，两个第一走线孔4通过走线槽相互贯通，其中一个第二侧板9上开设有第二走线孔5，第二走线孔5与走线槽相互贯通。ffu壳体与走线壳体11之间设置有连接管6，连接管6靠近走线壳体11的一端与第二走线孔5相适配，使得连接管6靠近走线壳体11
的一端可以与第二走线孔5固定连接，使得ffu壳体与走线壳体11稳定连接，且电线可以通过连接管6进入走线壳体11内，连接管6通过第二走线孔5与走线槽相互贯通。
18.参照图3所示，外壳顶面上设置有定位组件7，在半导体湿法设备中，几乎每个模组都需要进行ffu系统的安装，通过设置定位组件7使得ffu装置能有效安装，且具有良好的气密性，定位组件7用以定位ffu壳体。定位组件7包括两组定位部71，两组定位部71正对设置，通过设置两组定位部71，使得外壳上不需要额外设置其余安装座，通过两组定位部71之间的空间就可以快速便捷的将ffu壳体安装在外壳上，ffu壳体位于外壳顶部，ffu系统在工作时，会从上往下向外壳内部送气，利用ffu壳体的重量与吹送风压维持外壳内部的气密性。定位部71包括第一定位板711和两个第二定位板712，第一定位板711和第二定位板712均与外壳顶面固定连接，两个第二定位板712通过第一定位板711一体形成，两组定位部71围成一个矩形以放置ffu壳体。同一组定位部71内的两个第二定位板712相互平行，且第一定位板711与两个第二定位板712均相互垂直，
19.工作原理：当需要将走线壳体11固定在外壳上时，操作人员使用螺栓依次穿过相对应的第一固定孔、第二固定孔和第三固定孔，使得固定板2和走线壳体11均与外壳顶面固定连接。第一走线孔4、第二走线孔5和走线槽均用以过线，当需要隐藏ffu壳体内的电线时，将电线依次穿入连接管6和第二走线孔5，然后容纳在走线槽内，以保持整洁，通过两组定位部71之间的空间就可以快速便捷的将ffu壳体安装在外壳上，ffu壳体位于外壳顶部，ffu系统在工作时，会从上往下向外壳内部送气，利用ffu壳体的重量与吹送风压维持外壳内部的气密性。
20.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。