层叠型阳极氧化膜结构物、引导板以及探针卡的制作方法

1.本发明涉及一种层叠有多个阳极氧化膜的层叠型阳极氧化膜结构物及使用其的探针卡的引导板以及包括所述引导板的探针卡。


背景技术：

2.阳极氧化膜材质在高温的气氛中热变形可为小的。因此，阳极氧化膜可有利地用于包括需要高温的工艺气氛的半导体或显示器领域的产业领域。
3.阳极氧化膜可被制作为薄的薄板形态并构成用于包括半导体或显示器领域的产业领域的各种零件。阳极氧化膜的薄型化可以是为了提高在特定领域中的性能效率。
4.但是，薄的厚度的阳极氧化膜的缺点在于因其厚度而强度弱。因此，随之而来的是可能难以以单片使用阳极氧化膜。例如，在将阳极氧化膜以单片配置在特定零件的情况下，由于强度的脆弱性，可能引起使零件整体的耐久性下降的问题。
5.[现有技术文献]
[0006]
[专利文献]
[0007]
[专利文献1]韩国注册专利第10
‑
0664900号


技术实现要素：

[0008]
[发明所要解决的问题]
[0009]
本发明是为了解决所述问题而提出的，其目的在于提供一种耐久性得到提高的层叠型阳极氧化膜结构物。
[0010]
另外，本发明的目的在于提供一种使用耐久性得到提高的层叠型阳极氧化膜结构物的探针卡的引导板。
[0011]
另外，本发明的目的在于提供一种配置引导板的探针卡，所述引导板使用耐久性得到提高的层叠型阳极氧化膜结构物。
[0012]
[解决问题的技术手段]
[0013]
根据本发明一特征的层叠型阳极氧化膜结构物，包括：多个阳极氧化膜片材；以及接合层，配置在所述阳极氧化膜片材之间以接合所述阳极氧化膜片材，且以表面具有阳极氧化膜的阻挡层的方式构成。
[0014]
另外，所述接合层为感光性材料。
[0015]
另外，所述阳极氧化膜片材配置有贯通孔。
[0016]
另外，所述阳极氧化膜片材包括：表面侧阳极氧化膜片材，构成所述层叠型阳极氧化膜结构物的表面；以及内部侧阳极氧化膜片材，配置在所述表面侧阳极氧化膜片材之间，所述表面侧阳极氧化膜片材包括包含气孔的多孔层及不包含气孔的阻挡层，所述内部侧阳极氧化膜片材仅包括包含气孔的多孔层。
[0017]
另外，所述阳极氧化膜片材包括：表面侧阳极氧化膜片材，构成所述层叠型阳极氧化膜结构物的表面；以及内部侧阳极氧化膜片材，配置在所述表面侧阳极氧化膜片材之间，
所述内部侧阳极氧化膜片材包括包含气孔的多孔层及不包含气孔的阻挡层。
[0018]
根据本发明另一特征的使用层叠型阳极氧化膜结构物的探针卡的引导板，是使用配置有供探针卡的探针插入的引导孔洞的层叠型阳极氧化膜结构物的探针卡的引导板，所述层叠型阳极氧化膜结构物包括：多个阳极氧化膜片材；以及接合层，配置在所述阳极氧化膜片材之间以接合所述阳极氧化膜片材，且以表面具有阳极氧化膜的阻挡层的方式构成。
[0019]
根据本发明另一特征的探针卡，包括：空间转换器，配置有与多个探针电连接的探针连接垫；以及探针头，在所述空间转换器下部配置有形成有供所述探针插入的引导孔洞的层叠型阳极氧化膜结构物，所述层叠型阳极氧化膜结构物包括：多个阳极氧化膜片材；以及接合层，配置在所述阳极氧化膜片材之间以接合所述阳极氧化膜片材，且以表面具有阳极氧化膜的阻挡层的方式构成。
[0020]
[发明的效果]
[0021]
根据本发明的层叠型阳极氧化膜结构物及使用其的探针卡的引导板以及包括所述引导板的探针卡通过层叠结构具有优异的机械强度，并使用通过对称的上下密度防止翘曲变形的层叠型阳极氧化膜结构物，从而可更有效地执行高温的工艺处理。
附图说明
[0022]
图1是示出根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物的图。
[0023]
图2是示出由奇数个阳极氧化膜片材形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物的图。
[0024]
图3及图4(a)、图4(b)是示出由奇数个阳极氧化膜片材形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物的变形例的图。
[0025]
图5(a)至图5(c)及图6(a)、图6(b)是示出由偶数个阳极氧化膜片材形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物及变形例的图。
[0026]
图7是示出根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物的图。
[0027]
图8是概略性示出配置有根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物的探针卡的图。
[0028]
[符号的说明]
[0029]
1：探针卡；
[0030]
2：探针头；
[0031]
3：上部安装区域/安装区域；
[0032]
4：下部安装区域/安装区域；
[0033]
5：第一贯通孔；
[0034]
6：第二贯通孔；
[0035]
7：探针；
[0036]
8：空间转换器；
[0037]
8a：探针连接垫；
[0038]
9：电路基板；
[0039]
10：中介层；
[0040]
100：板；
[0041]
300：接合层；
[0042]
400：原子沉积层；
[0043]
a：阳极氧化膜片材；
[0044]
bl：阻挡层；
[0045]
c：中心线；
[0046]
gh：引导孔洞；
[0047]
gh1：上部引导孔洞；
[0048]
gh2：下部引导孔洞；
[0049]
gp：引导板；
[0050]
h：贯通孔；
[0051]
ia：内部侧阳极氧化膜片材//构成；
[0052]
las、las’：层叠型阳极氧化膜结构物；
[0053]
las1：上部层叠型阳极氧化膜结构物；
[0054]
las2：下部层叠型阳极氧化膜结构物；
[0055]
ls：下部表面；
[0056]
p：气孔；
[0057]
p1：第一板；
[0058]
p2：第二板；
[0059]
pl：多孔层；
[0060]
s：表面；
[0061]
sa：表面侧阳极氧化膜片材；
[0062]
sa1：上部表面侧阳极氧化膜片材/构成；
[0063]
sa2：下部表面侧阳极氧化膜片材；
[0064]
us：上部表面；
[0065]
w：晶片。
具体实施方式
[0066]
以下的内容仅例示发明的原理。因此即便未在本说明书中明确地进行说明或示出，相应领域的技术人员也可实现发明的原理并发明包含于发明的概念与范围内的各种装置。另外，本说明书所列举的所有条件部用语及实施例在原则上应理解为是作为明确地用于理解发明的概念的目的，并不限制于如上所述特别列举的实施例及状态。
[0067]
所述的目的、特征及优点通过与附图相关的下文的详细说明而进一步变明了，因此在发明所属的技术领域内具有通常知识者可容易地实施发明的技术思想。
[0068]
将参照作为本发明的理想例示图的剖面图和/或立体图来说明本说明书中记述的实施例。为了有效地说明技术内容，夸张表示这些附图中所示出的膜及区域的厚度及孔洞的直径等。例示图的形态可由于制造技术和/或公差等而变形。因此，本发明的实施例并不限定于示出的特定形态，还包括根据制造工艺生成的形态的变化。
[0069]
在对各种实施例进行说明时，为了方便起见，针对执行相同功能的构成要素，即使实施例不同也赋予相同的名称及相同的参考编号。另外，为了方便起见，将省略已在其他实
施例中说明的构成及操作。
[0070]
以下，参照附图对本发明的优选实施例详细地进行说明，如下所述。
[0071]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物
[0072]
图1是示出根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的图。
[0073]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las由至少两个以上的阳极氧化膜片材a形成，i)也可由奇数个阳极氧化膜片材a形成，ii)也可由偶数个阳极氧化膜片材a形成。此时，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可由以剖面的中心线c为基准上下对称的结构形成而与阳极氧化膜片材a的个数(具体来说，奇数个及偶数个)无关。然而，构成根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的阳极氧化膜片材a的个数是为了可在实施根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las时说明各种结构。
[0074]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可包括配置在多个阳极氧化膜片材a及阳极氧化膜片材a之间以接合阳极氧化膜片材a的接合层300来构成。
[0075]
阳极氧化膜片材a可由包括包含气孔p的多孔层pl及不包含气孔p的阻挡层bl的阳极氧化膜材质形成。阳极氧化膜是指对作为母材的金属进行阳极氧化而形成的膜，气孔p是指在对金属进行阳极氧化而形成阳极氧化膜的过程中形成的孔洞。
[0076]
阳极氧化膜片材a可通过如下所示的过程制作。
[0077]
首先，在作为母材的金属是铝(al)或铝合金的情况下，对母材进行阳极氧化时，在母材的表面形成氧化铝(al2o3)材质的阳极氧化膜。阳极氧化膜包括内部不形成气孔p的阻挡层bl与内部形成有气孔p的多孔层pl来构成。
[0078]
阻挡层bl位于母材的上部，多孔层pl位于阻挡层bl的上部。具体来说，在对母材进行阳极氧化的情况下，首先生成阻挡层bl，且在阻挡层bl形成规定的厚度时形成多孔层pl。
[0079]
阻挡层bl的厚度形成在数十纳米(nm)以上至数微米(μm)以下，优选为形成在100nm以上至1μm以下之间。
[0080]
多孔层pl的厚度形成在数十nm以上至数百μm以下。
[0081]
多孔层pl所包含的气孔p的直径形成在数nm以上至数百nm以下。
[0082]
然后，可执行从在表面形成具有阻挡层bl与多孔层pl的阳极氧化膜的母材去除母材的过程。通过如上所述的过程，保留氧化铝(al2o3)材质的阳极氧化膜。
[0083]
阳极氧化膜可具有与晶片w的热膨胀系数相似的热膨胀系数。因此，在高温气氛中由温度引起的热变形可为小的。根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las通过由如上所述的阳极氧化膜材质形成的阳极氧化膜片材a形成，从而可具有在高温环境下热变形小的优点。
[0084]
阳极氧化膜片材a可以阻挡层bl位于多孔层pl的下部的结构配置，或者以阻挡层bl位于多孔层pl的上部的结构配置。
[0085]
阳极氧化膜片材a可为以多孔层pl位于阻挡层bl的上部或下部的结构配置且上部表面、下部表面不对称的结构。
[0086]
根据在层叠结构中配置的位置，阳极氧化膜片材a可以多孔层pl位于阻挡层bl的上部或多孔层pl位于阻挡层bl的下部的结构配置。
[0087]
具体地进行说明，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可
以包括上部表面us、下部表面ls的表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl的方式构成。在此情况下，阳极氧化膜片材a可以如下方式配置：根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的上部表面us、下部表面ls由阻挡层bl形成。
[0088]
构成上部表面us的阳极氧化膜片材a可由阻挡层bl位于多孔层pl的上部的结构配置。另外，构成下部表面ls的阳极氧化膜片材a可由阻挡层bl位于多孔层pl的下部的结构配置。
[0089]
多孔层pl及阻挡层bl因是否包含气孔p而可存在密度差。阻挡层bl是不包含气孔p的区域，密度可比多孔层pl相对高。
[0090]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可以如下方式构成：以至少两个以上的阳极氧化膜片材a层叠的结构配置且使阳极氧化膜的阻挡层bl位于其表面s。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可由密度相对高的阻挡层bl形成表面s以具有优异的表面s强度。
[0091]
作为一例，在配置两个阳极氧化膜片材a以构成根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las时，优选为阳极氧化膜片材a可仅由表面侧阳极氧化膜片材sa形成。表面侧阳极氧化膜片材sa可包括构成上部表面us的上部表面侧阳极氧化膜片材sa1及构成下部表面ls的下部表面侧阳极氧化膜片材sa2来构成。因此，在根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las由两个阳极氧化膜片材a形成时，可由上部表面侧阳极氧化膜片材sa1及下部表面侧阳极氧化膜片材sa2形成。
[0092]
表面侧阳极氧化膜片材sa可以根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的上部表面us、下部表面ls具有阻挡层bl的方式配置。具体来说，上部表面侧阳极氧化膜片材sa1可以多孔层pl位于阻挡层bl的下部的结构配置。下部表面侧阳极氧化膜片材sa2可以多孔层pl位于阻挡层bl的上部的结构配置。
[0093]
表面侧阳极氧化膜片材sa包括包含气孔p的多孔层pl及不包含气孔p的阻挡层bl来构成，且可以根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl的结构形成。通过如上所述的结构，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的上部、下部的密度可为对称的。因此，可防止高温环境下的翘曲变形。
[0094]
阳极氧化膜片材a可包括构成根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的表面s的表面侧阳极氧化膜片材sa及配置在表面侧阳极氧化膜片材sa之间的内部侧阳极氧化膜片材ia来构成。
[0095]
i)关于由奇数个阳极氧化膜片材a形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las
[0096]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las也可由三个以上的阳极氧化膜片材a的层叠结构形成。此时，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可包括：阳极氧化膜片材a，包括表面侧阳极氧化膜片材sa及内部侧阳极氧化膜片材ia。
[0097]
图2是示出由奇数个阳极氧化膜片材a形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的图。
[0098]
具体来说，如图2所示，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物
las可由三个阳极氧化膜片材a的层叠结构形成。在此情况下，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的表面s可由表面侧阳极氧化膜片材sa形成。可通过表面侧阳极氧化膜片材sa使根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl来构成。
[0099]
可在表面侧阳极氧化膜片材sa之间配置内部侧阳极氧化膜片材ia。内部侧阳极氧化膜片材ia可仅包括包含气孔p的多孔层pl来构成。
[0100]
如图2所示，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可形成为以剖面的中心线c为基准上下对称的结构。具体来说，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可以通过上部表面侧阳极氧化膜片材sa1使上部表面us具有阳极氧化膜的阻挡层bl的方式构成，且通过下部表面侧阳极氧化膜片材sa2使下部表面ls具有阳极氧化膜的阻挡层bl的方式构成。另外，其内部可通过内部侧阳极氧化膜片材ia而仅由多孔层pl形成。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可由以下结构形成：以图2所示的剖面的中心线c、即横向中心线为基准，表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl的上下对称的结构。根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可通过构成表面s的阻挡层bl来提高表面s密度。另外，通过上下对称的结构可防止在高温环境(例如，半导体或显示器工艺中的老化测试)中的由温度引起的翘曲变形。
[0101]
如图2所示，阳极氧化膜片材a可通过配置在阳极氧化膜片材a之间的接合层300彼此接合。因此，接合层300可为感光性材料，作为一例，可为感光性膜(干膜光致抗蚀剂(dry film photoresist，dfr))。在接合层300由感光性材料形成的情况下，如下所述可使用接合层300在阳极氧化膜片材a容易地形成贯通孔h。另外，由于接合层300执行将阳极氧化膜片材a之间接合的接合功能，因此可由保有接合特性的构成形成。因此，接合层300可由同时保有感光性特性及接合特性的构成来配置。
[0102]
另外，接合层300可为可进行光刻的基于环氧基、聚酰亚胺(pi)或丙烯酸酯(acrylate)的光致抗蚀剂。作为更具体的例子，可进行光刻的光致抗蚀剂可为在单分子中包括八个环氧基的基于环氧基的抗蚀剂、即su
‑
8。
[0103]
另一方面，接合层300可为热固性树脂。在此情况下，作为热固性树脂材料，可为聚酰亚胺树脂、聚喹啉树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、环氧树脂、聚苯醚树脂及氟树脂等。
[0104]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可根据功能而配置附加的构成。
[0105]
作为一例，如图3所示，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可在阳极氧化膜片材a配置贯通孔h。贯通孔h配置在构成根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的各层的阳极氧化膜片材a，且可配置在彼此对应的位置处。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可配置上下贯通根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的贯通孔h。
[0106]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可通过感光性材料的接合层300而容易地配置贯通孔h。
[0107]
具体来说，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可在构成根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的各个阳极氧化膜片材a的至少一面配置感光性材料的接合层300。感光性材料的至少一部分可通过光工艺被图案化。然
后，可通过利用阳极氧化膜片材a的图案化过程已经去除感光性材料的区域执行蚀刻工艺。当用蚀刻溶液对阳极氧化膜片材a的阳极氧化膜进行湿式蚀刻时，可形成具有垂直内壁的贯通孔h。贯通孔h可形成为与通过感光性材料的接合层300的图案化过程去除的区域相同的形状及大小。因此，阳极氧化膜片材a可配置微细化及窄节距化的贯通孔h。根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可形成为以下结构：通过同时保有感光性特性及接合特性的接合层300将各层的配置有贯通孔h的阳极氧化膜片材a彼此接合而层叠的结构。
[0108]
在根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las具有探针卡1的引导板gp的构成时，贯通孔h可作为供探针7插入配置的引导孔洞gh发挥作用。
[0109]
另一方面，贯通孔h可作为供流体通过的管路发挥作用。在此情况下，层叠型阳极氧化膜结构物las执行使通过贯通孔h的流体与周围环境隔热的功能。
[0110]
另外，贯通孔h也可作为供固体通过的管路发挥作用。通过贯通孔h的固体例如可为特定尺寸的颗粒。在此情况下，贯通孔h可作为过滤颗粒的过滤器发挥作用。作为另一例，通过贯通孔h的固体可为块形态的物质。作为一例，可为探针7。在此情况下，贯通孔h可作为供探针7插入配置的引导孔洞gh发挥作用。
[0111]
如图2及图3所示，在内部侧阳极氧化膜片材ia仅由多孔层pl形成的情况下，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可形成为以剖面的中心线c为基准上下结构整体对称的结构。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可形成为以下结构：以剖面的中心线c为基准，表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl的表面s对称结构及以剖面的中心线c为基准，阳极氧化膜片材a整体上下对称的结构。在根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las形成以剖面的中心线c为基准不仅表面s而且整体上下对称的结构的情况下，可确保上下对称的密度，而且在防止由高温的温度引起翘曲变形的方面可发挥更优异的效果。
[0112]
图4(a)、图4(b)是示出由奇数个(例如，三个)阳极氧化膜片材a形成根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的变形例的图。变形例与根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的不同之处在于：内部侧阳极氧化膜片材ia的结构不同地配置。由于变形例除此之外的所有构成均相同，因此将重点说明特征性构成。
[0113]
如图4(a)、图4(b)所示，内部侧阳极氧化膜片材ia可由包含气孔p的多孔层pl及不包含气孔p的阻挡层bl形成。如图4(a)所示，内部侧阳极氧化膜片材ia可以阻挡层bl位于多孔层pl的上部的结构配置在表面侧阳极化膜片材sa之间。与此不同，如图4(b)所示，内部侧阳极氧化膜片材ia可以阻挡层bl位于多孔层pl的下部的结构配置在表面侧阳极氧化膜片材sa之间。
[0114]
在图4(a)、图4(b)中示出形成变形例的结构，所述变形例是在两个表面侧阳极氧化膜片材sa之间配置一个内部侧阳极氧化膜片材ia且由奇数个阳极氧化膜片材a形成的本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las，但构成根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的奇数个阳极氧化膜片材a的个数不限于此。
[0115]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las由奇数个阳极氧化膜片材a形成的情况下，在构成表面s的各个表面侧阳极氧化膜片材sa之间可配置奇数个内部侧阳极氧化膜片材ia来形成。
[0116]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可通过表面侧阳极氧化膜片材sa而使其表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl的方式构成而与内部侧阳极氧化膜片材ia的结构无关，从而通过阻挡层bl发挥使表面s强度优异的效果。
[0117]
变形例中可在阳极氧化膜片材a配置贯通孔h。因此，如上所述配置有贯通孔h的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可作为探针卡1的引导板gp发挥作用。
[0118]
ii)关于由偶数个阳极氧化膜片材a形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las
[0119]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可在构成表面s的两个表面侧阳极氧化膜片材sa之间配置偶数个内部侧阳极氧化膜片材ia。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可形成为通过接合层300将偶数个阳极氧化膜片材a彼此接合而层叠的结构。
[0120]
由偶数个阳极氧化膜片材a形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las与由奇数个阳极氧化膜片材a形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的不同之处在于：所配置的阳极氧化膜片材a的个数不同。更具体来说，与由奇数个阳极氧化膜片材a形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的不同之处在于所配置的内部侧阳极氧化膜片材ia的个数不同。因此，在参照图5(a)至图5(c)及图6(a)、图6(b)的说明中，将仅重点说明特征性构成，且省略对相同构成的说明。
[0121]
图5(a)至图5(c)及图6(a)、图6(b)是示出由偶数个阳极氧化膜片材a形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的各种实施例的图。在图5(a)至图5(c)及图6(a)、图6(b)中示出根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las包括四个阳极氧化膜片材a，但是构成根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的偶数个阳极氧化膜片材a的个数不限于此。
[0122]
图5(a)至图5(c)是示出形成为由偶数个阳极氧化膜片材a形成，且以剖面的中心线c为基准上下表面s对称及整体上下对称的结的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的图。
[0123]
如图5(a)所示，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可在上部表面侧阳极氧化膜片材sa1、下部表面侧阳极氧化膜片材sa2之间配置偶数个内部侧阳极氧化膜片材ia。作为一例，可在上部表面侧阳极氧化膜片材sa1、下部表面侧阳极氧化膜片材sa2之间配置两个内部侧阳极氧化膜片材ia。
[0124]
如图5(a)所示，内部侧阳极氧化膜片材ia可包括阻挡层bl及多孔层pl来构成。此时，配置在与上部表面侧阳极氧化膜片材sa1邻接的下部的内部侧阳极氧化膜片材ia可配置为阻挡层bl配置在多孔层pl的下部的结构。因此，以剖面的中心线c为基准，在剖面的中心线c的上部可配置以下结构：上部表面侧阳极氧化膜片材sa1及接合到与其邻接的下部的内部侧阳极氧化膜片材ia以将所述两个构成sa1、ia接合的接合层300为基准呈上下对称。
[0125]
另外，配置在与下部表面侧阳极氧化膜片材sa2邻接的上部的内部侧阳极氧化膜片材ia可配置为阻挡层bl配置在多孔层pl的上部的结构。因此，以剖面的中心线c为基准，在剖面的中心线c的下部可配置以下结构：下部表面侧阳极氧化膜片材sa2及接合到与其邻
接的上部的内部侧阳极氧化膜片材ia以将所述两个构成sa2、ia间接合的接合层300为基准呈上下对称。
[0126]
在根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las由偶数个阳极氧化膜片材a形成的情况下，可配置为以下结构：以剖面的中心线c为基准，配置在上部的上部表面侧阳极氧化膜片材sa1及内部侧阳极氧化膜片材ia以接合层300为基准呈上下对称。另外，可配置为以下结构：以剖面的中心线c为基准，配置在下部的下部表面侧阳极氧化膜片材sa2及内部侧阳极氧化膜片材ia以接合层300为基准呈上下对称。
[0127]
通过如上所述的结构，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可由以剖面的中心线c为基准，产品整体的最外侧表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl的结构形成，且由以剖面的中心线c为基准，整体的上、下结构彼此对称的结构形成。
[0128]
换句话说，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可形成为不仅具有阳极氧化膜的阻挡层bl的表面s而且以剖面的中心线c为基准，整体的上、下结构对称的结构。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可用于特定领域(具体来说，半导体或显示器领域)，且在暴露于高温的环境的情况下在防止由温度引起的翘曲变形方面发挥优异的效果。
[0129]
如图5(b)所示，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可以不同结构配置内部侧阳极氧化膜片材ia。如图5(b)所示，内部侧阳极氧化膜片材ia可包括多孔层pl及阻挡层bl来构成。此时，配置在与上部表面侧阳极氧化膜片材sa1邻接的下部的内部侧阳极氧化膜片材ia可配置为阻挡层bl配置在多孔层pl的上部的结构。另外，配置在与下部表面侧阳极氧化膜片材sa2邻接的上部的内部侧阳极氧化膜片材ia可配置为阻挡层bl配置在多孔层pl的下部的结构。因此，以剖面的中心线c为基准，配置在与剖面的中心线c邻接的上部、下部的内部侧阳极氧化膜片材ia可为上、下对称的。另外，以剖面的中心线c为基准，上部表面侧阳极氧化膜片材sa1、下部表面侧阳极氧化膜片材sa2可为上、下对称的。
[0130]
如上所述，在根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las由偶数个阳极氧化膜片材a形成的情况下，可以剖面的中心线c为基准，使在上、下部邻接的内部侧阳极氧化膜片材ia上下对称地配置，且使表面侧阳极氧化膜片材sa上下对称地配置。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可形成为以下结构：以剖面的中心线c为基准呈上、下表面s对称及整体的上、下对称。
[0131]
由于如上所述的对称结构，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可确保上下对称的密度。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可防止由温度引起的翘曲变形并提高耐久性。
[0132]
如图5(c)所示，内部侧阳极氧化膜片材ia也可仅包括多孔层pl构成。具体来说，配置在表面侧阳极氧化膜片材sa之间的偶数个内部侧阳极氧化膜片材ia全部可仅包括多孔层pl来构成。
[0133]
因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可以剖面的中心线c为基准在邻接的上部、下部配置仅由多孔层pl形成的内部侧阳极氧化膜片材ia。根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las通过包括仅由多孔层pl形成的内部侧阳极氧化膜片材ia，从而可具有以剖面的中心线c为基准上、下表面s对称的结构及整体的上、下对称的结构。通过如上所述的结构，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化
膜结构物las可构成上下对称的密度。
[0134]
图6(a)及图6(b)是示出由偶数个阳极氧化膜片材a形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的变形例的图。变形例可由以剖面的中心线c为基准仅上、下表面s对称的结构形成。具体来说，变形例可根据上、下表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl的结构而形成为表面s对称的结构。
[0135]
如图6(a)所示，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可配置有偶数个(具体来说，两个)包括多孔层pl及阻挡层bl的内部侧阳极氧化膜片材ia。此时，配置在与上部表面侧阳极氧化膜片材sa1邻接的下部的内部侧阳极氧化膜片材ia可配置为阻挡层bl位于多孔层pl的上部的结构。另外，配置在与下部表面侧阳极氧化膜片材sa2邻接的上部的内部侧阳极氧化膜片材ia也可配置为阻挡层bl位于多孔层pl的上部的结构。
[0136]
因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可形成为以剖面的中心线c为基准，上、下表面s由阳极氧化膜的阻挡层bl形成的对称结构。
[0137]
另一方面，如图6(b)所示，在又一变形例中，作为一例，配置两个内部侧阳极氧化膜片材ia，且可配置包括多孔层pl及阻挡层bl的内部侧阳极氧化膜片材ia及仅包括多孔层pl的内部侧阳极氧化膜片材ia。在内部侧阳极氧化膜片材ia以不同的结构配置的情况下，配置内部侧阳极氧化膜片材ia的位置只要是位于表面侧阳极氧化膜片材sa之间，则不限定在任一位置。
[0138]
在图6(b)中，作为一例，在与上部表面侧阳极氧化膜片材sa1邻接的下部可配置包括多孔层pl及阻挡层bl构成的内部侧阳极氧化膜片材ia。另外，在与下部表面侧阳极氧化膜片材sa2邻接的上部可配置仅包括多孔层pl的内部侧阳极氧化膜片材ia。
[0139]
如图6(a)及图6(b)所示，变形例由偶数个阳极氧化膜片材a形成，且以各种结构配置内部侧阳极氧化膜片材ia。此时，变形例以剖面的中心线c为基准，使上部、下部的表面侧阳极氧化膜片材sa可对称地配置。因此，变形例可具有具有优异的表面s强度的效果。
[0140]
如参照图1至图6(a)、图6(b)所述，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可通过由接合层300接合的层叠结构来确保优异的机械强度。另外，在根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las中，在层叠结构中由以剖面的中心线c为基准其表面s具有阳极氧化膜的阻挡层bl的结构形成，从而可均匀地形成表面s密度。
[0141]
根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物
[0142]
图7是概略性示出根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’的图。根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’可由奇数个或偶数个阳极氧化膜片材a形成。因此，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’可配置为包括根据所述的本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的结构及变形例的结构的各种结构。因此，在图7中，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’被概略性示出为不限制阳极氧化膜片材a的个数的结构。
[0143]
根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’与根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的不同之处在于：在构成表面s的阻挡层bl的表面配置原子沉积层400。因此，在以下对根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’的说明中，将重点说明特征性构成，且省略对相同构成的说明。
[0144]
根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可在表面s的阻挡层
bl的表面沉积陶瓷成分的物质(氧化铝(alumina)，氮化物(nitride)等)。
[0145]
具体来说，如图7所示，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’在构成表面s的阻挡层bl的表面可通过原子层沉积(atomic layer deposition，ald)法形成原子沉积层400。原子沉积层400可由氧化铝(al2o3)、氧化钇(y2o3)、氮化铝(aln)中的至少一种形成。
[0146]
根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’通过在利用阻挡层bl提高表面s密度的结构中在阻挡层bl的表面配置原子沉积层400，从而可发挥使表面s强度大幅提高的效果。
[0147]
另一方面，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’也可配置仅由多孔层pl形成的表面侧阳极氧化膜片材sa。在此情况下，表面可为通过气孔p敞开的形态。根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化物膜结构物las’可在多孔层pl的表面配置原子沉积层400。因此，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化物膜结构物las’可形成为表面被原子沉积层400密封的结构。
[0148]
在形成原子沉积层400的过程中，填充根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’的表面的多孔层pl的气孔p以使其内部不存在空间。因此，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’的表面被密封且在内部不存在空间，因此可防止外部颗粒流入到产品内部的问题。
[0149]
另外，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’可通过配置在多孔层pl的表面的原子沉积层400来提高表面强度。
[0150]
然而，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’优选为在不包括上述气孔p的阻挡层bl的表面配置原子沉积层400。当在阻挡层bl的表面配置原子沉积层400的情况下，即使薄地配置原子沉积层400的厚度，也可大幅提高表面刚性和/或强度。因此，形成原子沉积层400可能不需要很长时间。换句话说，可进行有效的制造工艺。因此，如图7所示，根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’优选为在阻挡层bl的表面配置原子沉积层400以具有优异的表面强度，且可发挥大大提高耐久性的效果。
[0151]
根据本发明优选第一实施例、优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las、las’可单独使用并将其自身用作结构物，且可用作与邻接构成结合的结构物的一部分构成。另外，形成在根据本发明优选第一实施例、优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las、las’的贯通孔h可用作供包括固体或液体的对象物通过的通路，且可发挥使通过贯通孔h的对象物与周围环境绝缘及隔热的效果。
[0152]
上述根据本发明优选第一实施例、优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las、las’中的至少一者可配置在根据本发明优选实施例的探针卡1中。
[0153]
图8是概略性示出根据本发明优选实施例的探针卡1的图。
[0154]
在图8中，作为一例，示出在根据本发明优选实施例的探针卡1中配置有根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las。
[0155]
更具体来说，在图8中，作为一例对以下情形进行示出：配置由三个阳极氧化膜片材a形成，且由包括阻挡层bl及多孔层pl的表面侧阳极氧化膜片材sa及仅包括多孔层pl的内部侧阳极氧化膜片材ia形成的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las。然而，根据本发明优选实施例的探针卡1也可配置包括前述的根据本发明优选第一实
施例的层叠型阳极氧化膜结构物las、变形例及根据本发明优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las’的各种结构中的至少一种的层叠型阳极氧化膜结构物las。换句话说，根据本发明优选实施例的探针卡1所配置的根据本发明优选第一实施例、优选第二实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的结构不限于图8。
[0156]
图8是概略性示出包括配置有根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的探针头2的探针卡1的图。
[0157]
根据将探针7设置在配线基板的结构及探针7的结构，探针卡1可分为垂直型探针卡(vertical type probe card)、悬臂型探针卡(cantileveer type probe card)及微机电系统探针卡(mems probe card)。
[0158]
作为一例，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可配置在垂直型探针卡1。
[0159]
如图8所示，根据本发明优选实施例的探针卡1可包括以下构成：空间转换器8，包括与多个探针7电连接的探针连接垫8a；中介层10，在空间转换器8与电路基板9之间将空间转换器8与电路基板9电连接；以及探针头2，配置在空间转换器8的下部。
[0160]
可在空间转换器8的上侧配置电路基板9，且在下侧配置包括根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的探针头2。空间转换器8可由阳极氧化膜材质形成。空间转换器8可由与根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las相同的阳极氧化膜材质形成。因此，空间转换器8可具有在高温环境下阳极氧化膜材质的热变形小的优点。然而，构成空间转换器8的材质不限于此，且可由陶瓷或合成树脂材质形成。
[0161]
空间转换器8可配置有与多个探针7电连接的探针连接垫8a。在探针连接垫8a处可与配置在空间转换器8下部的探针头2所配置的探针7接触。在此情况下，探针7可由作为探针头2所配置的引导板gp提供的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las支撑。因此，在空间转换器8及根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las由相同的阳极氧化膜材质形成的情况下，可防止在高温环境下由于热膨胀而使探针7及探针连接垫8a之间的接触位置错位的问题。
[0162]
具体来说，根据本发明优选实施例的探针卡1可执行用于保障芯片的可靠性的老化测试。老化测试可在85℃或100℃的高温环境下进行。因此，空间转换器8及根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可暴露于高温。此时，空间转换器8及根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可由具有与晶片w的热膨胀系数接近的热膨胀系数的阳极氧化膜材质形成。因此，即使暴露于高温环境下，热变形也可最小化。另外，即使在暴露于高温环境的情况下，也可防止由于热变形而导致探针7及探针连接垫8a之间的接触位置发生变化的问题。
[0163]
构成根据本发明优选实施例的探针卡1的探针头2可包括引导板gp，所述引导板gp使用形成有供探针7插入的引导孔洞gh的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las。换句话说，探针头2可包括根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las来构成。
[0164]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可作为引导板gp提供以支撑探针7，从而执行准确地定位探针7的伸入的功能。
[0165]
如图8所示，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可在作为
引导孔洞gh提供的贯通孔h配置探针7并支撑。
[0166]
根据本发明优选实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可包括形成有上部引导孔洞gh1的上部层叠型阳极氧化膜结构物las1及形成有下部引导孔洞gh2的下部层叠型阳极氧化膜结构物las2来构成，并配置在根据本发明优选实施例的探针卡1中。
[0167]
如图8所示，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可由包括第一板p1、第二板p2构成的板100来支撑。
[0168]
第一板p1、第二板p2以彼此对应的结构配置，且以彼此颠倒的形态结合。具体来说，第二板p2可以与第一板p1上下颠倒的形态结合到第一板p1的下部。此种板100可配置有根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las。
[0169]
第一板p1可包括用于配置上部层叠型阳极氧化膜结构物las1的上部安装区域3。第二板p2可包括用于配置下部层叠型阳极氧化膜结构物las2的下部安装区域4。第一板p1、第二板p2可以上下颠倒的形态结合。因此，上部安装区域3及下部安装区域4可以相同形状配置在颠倒的位置处。
[0170]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可以比板100的面积小的面积配置。因此，除配置有根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的表面之外，板100的其余表面可被暴露出。
[0171]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可以适合于将要配置的构成的大小及结构来制作。因此，在配置在根据本发明优选实施例的探针卡1的情况下，可发挥容易处理探针卡1的效果。
[0172]
由于根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las配置有探针7，因此可为形成实质的探测区域的构成。此时，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las配置为比板100的面积小的面积，从而可将直接损坏或损伤探测区域的风险最小化。
[0173]
在第一板p1中，在上部安装区域3的下部配置第一贯通孔5，在第二板p2中，在下部安装区域4的上部可配置第二贯通孔6。
[0174]
可配置第一贯通孔5、第二贯通孔6以定位通过根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的引导孔洞gh插入的多个探针7。因此，第一贯通孔5、第二贯通孔6可考虑到多个探针7的弹性变形而以能够收容所述多个探针7的内径形成。
[0175]
板100可在各个安装区域3、4配置根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las。
[0176]
在配置在第一板p1的上部安装区域3中配置上部层叠型阳极氧化膜结构物las1，在配置在第二板p2的下部安装区域4中可配置下部层叠型阳极氧化膜结构物las2。
[0177]
上部层叠型阳极氧化膜结构物las1可配置有上部引导孔洞gh1，且下部层叠型阳极氧化膜结构物las2配置有下部引导孔洞gh2。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las的引导孔洞gh可包括上部引导孔洞、下部引导孔洞gh2来构成。
[0178]
探针7可单独制作进行配置。探针7可通过上部引导孔洞gh1将尖锐形态的一端首先插入并突出地插入到下部引导孔洞gh2。
[0179]
根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可起到通过引导孔洞gh引导探针7的尖端的作用。根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可
形成为以剖面的中心线c为基准使具有阳极氧化膜的阻挡层bl的表面s呈上下对称的结构。因此，可确保均匀的表面s密度。因此，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可防止与探针7的插入同时可能发生的引导孔洞gh的开口内壁的磨损。
[0180]
具体来说，在根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las中，可通过构成表面s的阻挡层bl使由引导孔洞gh提供的贯通孔h的开口由阻挡层bl形成。阻挡层bl可具有相对高的密度。因此，引导孔洞gh的开口可具有高的耐久性。因此，可防止与探针7的插入同时可能发生的引导孔洞gh的开口内壁的磨损。
[0181]
在引导板gp的情况下，在通过引导孔洞gh插入探针7时，由于引导孔洞gh与探针7的尖端摩擦，因此在其内壁上可能产生磨损。在此种过程中可能产生颗粒，且颗粒可能流入到引导板gp的内部，从而引起整个探针卡1的探针头2的性能下降的问题。
[0182]
然而，本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可由密度相对高的阻挡层bl形成引导孔洞gh的开口。因此，可提高引导孔洞gh的开口的耐久性，且防止由于探针7的插入引起的开口的磨损及颗粒的产生的问题。另外，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las在引导孔洞gh与探针7之间的滑动摩擦方面可确保优异的耐磨性。
[0183]
另外，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可通过以剖面的中心线c为基准使阳极氧化膜的阻挡层bl所在的表面s呈上下对称的结构来提高表面s强度。因此，可防止由于高温环境的温度引起的翘曲变形。
[0184]
因此，根据本发明优选实施例的探针卡1通过配置防止在高温环境下的翘曲变形且耐久性高的根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las，从而可更有效地执行如老化测试工艺等高温的工艺处理。
[0185]
如上所述，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可为以剖面的中心线c为基准而由阻挡层bl形成的表面s呈上下对称的结构。如上所述的结构可防止在高温环境下的翘曲变形。
[0186]
另外，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可通过层叠多个阳极氧化膜片材a的结构来确保高的刚性和/或强度。
[0187]
换句话说，根据本发明优选第一实施例的层叠型阳极氧化膜结构物las可不仅通过层叠结构确保优异的机械强度，而且还通过以剖面的中心线c为基准由阻挡层bl形成的表面s来形成表面s的密度高的强度。另外，通过防止翘曲变形，可发挥提高产品本身的耐久性的效果。
[0188]
如上所述，尽管已经参照本发明优选第一实施例进行了说明，但是本领域的普通技术人员将在不脱离上述权利要求所记载的本发明的精神及领域的范围内对本发明实施各种修改或变形。