专利名称：高效抽真空设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种高效抽真空设备。
背景技术：
目前的抽真空设备，利用扩散泵在对真空腔体抽高真空时，由于扩散泵工作时产生的热量会使扩散泵内的油蒸发上升到高抽阀，即反油，进而进入到真空腔体内，影响真空腔体内的工艺，造成工艺不稳定，并影响抽速波动。
发明内容为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种高效抽真空设备，能够有效避免扩散泵反油现象发生，从而保证真空腔体内的工艺稳定性。本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种高效抽真空设备，包括真空腔体、用于抽高真空的扩散泵和用于抽低真空的滑阀泵，所述真空腔体上设有第一管道连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，在所述高抽阀和扩散泵之间设有冷却装置。作为本实用新型的进一步改进，所述冷却装置为一冷井。作为本实用新型的进一步改进，在所述第一管道位于所述高抽阀与该第一管道和第二管道的连接处之间设有第一阀门。作为本实用新型的进一步改进，在所述第二管道上设有第二阀门。本实用新型的有益效果是:通过在连接扩散泵和真空腔体之间的高抽阀下设置一冷却装置，可以有效将扩散泵产生的多余热量吸收，从而避免反油现象发生，保证真空腔体内工艺的稳定性和扩散泵抽取真空的速度。
图1为本实用新型结构示意图。结合附图，作以下说明:I——真空腔体2——扩散泵3——滑阀泵4——第一管道5——第二管道6——高抽阀7——冷却装置8——第一阀门9——第二阀门
具体实施方式
结合附图 ，对本实用新型作详细说明，但本实用新型的保护范围不限于下述实施例，即但凡以本实用新型申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型专利涵盖范围之内。如图1所示，一种高效抽真空设备，包括真空腔体1、用于抽高真空的扩散泵2和用于抽低真空的滑阀泵3，所述真空腔体上设有第一管道4连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道5连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀6，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，在所述高抽阀6和扩散泵2之间设有冷却装置7。这样，冷却装置在抽真空时，可有效降低油温，稳定工艺，同时保证抽真空的速率。优选的，所述冷却装置为一冷井。优选的，在所述第一管道位于所述高抽阀与该第一管道和第二管道的连接处之间设有第一阀门8。优选的，在所述第二管道上设有第二阀门9。
权利要求1.一种高效抽真空设备，包括真空腔体(1)、用于抽高真空的扩散泵(2)和用于抽低真空的滑阀泵(3)，所述真空腔体上设有第一管道(4)连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道(5)连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀(6)，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，其特征在于:在所述高抽阀(6 )和扩散泵(2 )之间设有冷却装置(7 )。
2.根据权利要求1所述的高效抽真空设备，其特征在于:所述冷却装置为一冷井。
3.根据权利要求1或2所述的高效抽真空设备，其特征在于:在所述第一管道位于所述高抽阀与该第一管道和第二管道的连接处之间设有第一阀门(8)。
4.根据权利要求1或2所述的高效抽真空设备，其特征在于:在所述第二管道上设有第二阀门(9)。
专利摘要本实用新型公开了一种高效抽真空设备，包括真空腔体、用于抽高真空的扩散泵和用于抽低真空的滑阀泵，所述真空腔体上设有第一管道连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，在所述高抽阀和扩散泵之间设有冷却装置。该高效抽真空设备通过在连接扩散泵和真空腔体之间的高抽阀下设置一冷却装置，可以有效将扩散泵产生的多余热量吸收，从而避免反油现象发生，保证真空腔体内工艺的稳定性和扩散泵抽取真空的速度。
文档编号F04B37/14GK203161477SQ201320110259
公开日2013年8月28日 申请日期2013年3月12日 优先权日2013年3月12日
发明者周树法 申请人:昆山立特纳米电子科技有限公司
技术领域：
本实用新型涉及一种高效抽真空设备。
背景技术：
目前的抽真空设备，利用扩散泵在对真空腔体抽高真空时，由于扩散泵工作时产生的热量会使扩散泵内的油蒸发上升到高抽阀，即反油，进而进入到真空腔体内，影响真空腔体内的工艺，造成工艺不稳定，并影响抽速波动。
发明内容为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种高效抽真空设备，能够有效避免扩散泵反油现象发生，从而保证真空腔体内的工艺稳定性。本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种高效抽真空设备，包括真空腔体、用于抽高真空的扩散泵和用于抽低真空的滑阀泵，所述真空腔体上设有第一管道连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，在所述高抽阀和扩散泵之间设有冷却装置。作为本实用新型的进一步改进，所述冷却装置为一冷井。作为本实用新型的进一步改进，在所述第一管道位于所述高抽阀与该第一管道和第二管道的连接处之间设有第一阀门。作为本实用新型的进一步改进，在所述第二管道上设有第二阀门。本实用新型的有益效果是:通过在连接扩散泵和真空腔体之间的高抽阀下设置一冷却装置，可以有效将扩散泵产生的多余热量吸收，从而避免反油现象发生，保证真空腔体内工艺的稳定性和扩散泵抽取真空的速度。
图1为本实用新型结构示意图。结合附图，作以下说明:I——真空腔体2——扩散泵3——滑阀泵4——第一管道5——第二管道6——高抽阀7——冷却装置8——第一阀门9——第二阀门
具体实施方式
结合附图 ，对本实用新型作详细说明，但本实用新型的保护范围不限于下述实施例，即但凡以本实用新型申请专利范围及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型专利涵盖范围之内。如图1所示，一种高效抽真空设备，包括真空腔体1、用于抽高真空的扩散泵2和用于抽低真空的滑阀泵3，所述真空腔体上设有第一管道4连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道5连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀6，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，在所述高抽阀6和扩散泵2之间设有冷却装置7。这样，冷却装置在抽真空时，可有效降低油温，稳定工艺，同时保证抽真空的速率。优选的，所述冷却装置为一冷井。优选的，在所述第一管道位于所述高抽阀与该第一管道和第二管道的连接处之间设有第一阀门8。优选的，在所述第二管道上设有第二阀门9。
权利要求1.一种高效抽真空设备，包括真空腔体(1)、用于抽高真空的扩散泵(2)和用于抽低真空的滑阀泵(3)，所述真空腔体上设有第一管道(4)连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道(5)连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀(6)，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，其特征在于:在所述高抽阀(6 )和扩散泵(2 )之间设有冷却装置(7 )。
2.根据权利要求1所述的高效抽真空设备，其特征在于:所述冷却装置为一冷井。
3.根据权利要求1或2所述的高效抽真空设备，其特征在于:在所述第一管道位于所述高抽阀与该第一管道和第二管道的连接处之间设有第一阀门(8)。
4.根据权利要求1或2所述的高效抽真空设备，其特征在于:在所述第二管道上设有第二阀门(9)。
专利摘要本实用新型公开了一种高效抽真空设备，包括真空腔体、用于抽高真空的扩散泵和用于抽低真空的滑阀泵，所述真空腔体上设有第一管道连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，在所述高抽阀和扩散泵之间设有冷却装置。该高效抽真空设备通过在连接扩散泵和真空腔体之间的高抽阀下设置一冷却装置，可以有效将扩散泵产生的多余热量吸收，从而避免反油现象发生，保证真空腔体内工艺的稳定性和扩散泵抽取真空的速度。
文档编号F04B37/14GK203161477SQ201320110259
公开日2013年8月28日 申请日期2013年3月12日 优先权日2013年3月12日
发明者周树法 申请人:昆山立特纳米电子科技有限公司
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。