振动传感器和背电极式振动传感器的制作方法

技术特征：
1.一种振动传感器，其特征在于：所述振动传感器由上绝缘层（1）、下绝缘层（2）、环形垫层（3）、上导电层（4）、下导电层（5）和微粒状的振动体（6）组成；所述上绝缘层（1）、环形垫层（3）和下绝缘层（2）顺次层叠在一起；上导电层（4）设置在上绝缘层（1）的内壁上；下导电层（5）设置在下绝缘层（2）的内壁上；上导电层（4）和下导电层（5）之间留有间隙；环形垫层（3）、上导电层（4）和下导电层（5）所围空间形成振动腔，所述振动体（6）填充在振动腔内；振动体（6）中单个微粒的粒径为毫米、微米或纳米量级；振动体（6）和上导电层（4）的摩擦电序列不同，振动体（6）和下导电层（5）的摩擦电序列不同。2.根据权利要求1所述的振动传感器，其特征在于：所述振动体（6）由导电微粒和绝缘微粒混合而成；所述导电微粒由单种或多种导电材料加工而得；所述绝缘微粒由单种或多种绝缘材料加工而得。3.根据权利要求1或2所述的振动传感器，其特征在于：所述上绝缘层（1）和下绝缘层（2）均采用刚性绝缘材料制作。4.根据权利要求1或2所述的振动传感器，其特征在于：所述上绝缘层（1）和下绝缘层（2）均采用柔性绝缘材料制作。5.根据权利要求1或2所述的振动传感器，其特征在于：所述环形垫层（3）的厚度为0.01~3mm。6.一种背电极式振动传感器，其特征在于：所述背电极式振动传感器由上表层（7）、下表层（8）、环形垫层（3）、上电极层（9）、下电极层（10）、上内绝缘层（11）、下内绝缘层（12）和微粒状的振动体（6）组成；所述上表层（7）、环形垫层（3）和下表层（8）顺次层叠在一起；上电极层（9）设置在上表层（7）的内壁上，上内绝缘层（11）层叠在上电极层（9）的下侧面上；下电极层（10）设置在下表层（8）的内壁上，下内绝缘层（12）层叠在下电极层（10）的上侧面上；上内绝缘层（11）和下内绝缘层（12）之间留有间隙；环形垫层（3）、上内绝缘层（11）和下内绝缘层（12）所围空间形成振动腔，所述振动体（6）填充在振动腔内；振动体（6）中单个微粒的粒径为毫米、微米或纳米量级；所述上表层（7）和下表层（8）均采用绝缘材料制作；振动体（6）和上内绝缘层（11）的摩擦电序列不同，振动体（6）和下内绝缘层（12）的摩擦电序列不同。7.根据权利要求6所述的背电极式振动传感器，其特征在于：所述振动体（6）由导电微粒和绝缘微粒混合而成；所述导电微粒由单种或多种导电材料加工而得；所述绝缘微粒由单种或多种绝缘材料加工而得。8.根据权利要求6所述的背电极式振动传感器，其特征在于：所述上表层（7）和下表层（8）均采用刚性绝缘材料制作。9.根据权利要求6或7所述的背电极式振动传感器，其特征在于：所述上表层（7）和下表层（8）均采用柔性绝缘材料制作。10.根据权利要求6或7所述的背电极式振动传感器，其特征在于：所述环形垫层（3）的厚度为0.01~3mm。

技术总结
本发明提出了一种振动传感器和背电极式振动传感器，其中，振动传感器由上绝缘层、下绝缘层、环形垫层、上导电层、下导电层和微粒状的振动体组成；背电极式振动传感器由上表层、下表层、环形垫层、上电极层、下电极层、上内绝缘层、下内绝缘层和微粒状的振动体组成；本发明的有益技术效果是：提出了一种振动传感器和背电极式振动传感器，该方案给出了一种全新的振动传感方式，传感器结构简单，易于制造，并且传感器能够自供能，再有，测试表明，传感器的振动频率响应范围可达3


技术研发人员：杨进 林志伟
受保护的技术使用者：重庆大学
技术研发日：2021.07.29
技术公布日：2021/10/23