一种半导体加工用高精度检测设备的制作方法

1.本实用新型涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种半导体加工用高精度检测设备。


背景技术：

2.椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器，在使用椭偏仪检测半导体的方面也有应用。
3.现有技术中，椭偏仪本身就是一种高精度的检测工具，而且在使用椭偏仪检测半导体时不会产生接触，不会对半导体样品产生影响，但是椭偏仪是一种光学仪器，需要通过检偏器和起偏器的上的透镜观察光线，而设备上的透镜在不使用时会一直暴露在空气中，会在透镜的表面上沾染上灰尘或者是杂质，从而对椭偏仪的检测结果造成影响，如果在每次使用后都将椭偏仪放在保存的地方，同样容易在搬运的过程中，由于晃动从而导致椭偏仪受损，因此需要一种半导体加工用高精度检测设备来满足人们的需求。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用高精度检测设备，以解决上述背景技术中提出的椭偏仪是一种光学仪器，需要通过检偏器和起偏器的上的透镜观察光线，而设备上的透镜在不使用时会一直暴露在空气中，会在透镜的表面上沾染上灰尘或者是杂质，从而对椭偏仪的检测结果造成影响，而在搬运的过程中，也容易由于晃动导致椭偏仪受损的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用高精度检测设备，包括椭偏仪本体，所述椭偏仪本体上设有检偏器和起偏器，检偏器和起偏器上均设有透镜，所述检偏器和起偏器上均活动安装有两个从动板，四个从动板上均固定安装有挡板，位于同一侧的两个挡板相适配，四个从动板上均固定安装有从动杆，检偏器和起偏器上均转动安装有转动杆，转动杆位于两个相对应的从动杆之间，转动杆上固定安装有转盘，转盘上固定安装有把手。
6.优选的，位于同一侧的两个从动板上均开设有滑槽，两个滑槽内滑动安装有同一个滑条，滑条固定安装在检偏器上。
7.优选的，所述检偏器上开设有四个固定槽，其中两个固定槽内活动安装有半圆块。
8.优选的，所述转动杆固定安装有两个圆帽，转动杆和圆帽上均开设有活动槽，位于同一侧的两个活动槽内固定安装有同一个弹簧，两个弹簧的一端分别固定安装在活动槽的内壁上，两个弹簧的另一端分别固定安装在两个半圆块上。
9.优选的，所述转动杆和转盘上均开设有转动孔，两个转动孔内转动安装有同一个转动轴，转动轴固定安装在检偏器上。
10.优选的，所述转盘上固定安装有把手，把手上固定安装有防滑橡胶套。
11.优选的，两个从动杆之间固定安装有两个调节弹簧，两个调节弹簧均位于从动杆上靠近从动板的一端。
12.本实用新型的有益效果是：
13.本实用新型中，通过挡板的设置，在不使用椭偏仪本体的时候，可以通过挡板将透镜遮蔽，使得透镜不会与外界空气产生接触，避免了透镜沾染上灰尘或者是杂质，从而影响到椭偏仪检测结果的准确性，或者是在搬运椭偏仪的过程中损坏椭偏仪，从而保证了椭偏仪的正常使用。
14.本实用新型中，通过转动杆的设置，在使用椭偏仪本体时，可通过转盘驱动转动杆转动，从而将两个挡板分离或者合并来保护透镜，通过半圆块和固定槽，在转动杆移动位置后，半圆块和固定槽可以将转动杆的位置固定。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种半导体加工用高精度检测设备的立体结构示意图；
16.图2为本实用新型提出的一种半导体加工用高精度检测设备的转动杆的剖视结构示意图；
17.图3为本实用新型提出的一种半导体加工用高精度检测设备的图2中a部分的结构示意图；
18.图4为本实用新型提出的一种半导体加工用高精度检测设备的检偏器的结构示意图；
19.图5为本实用新型提出的一种半导体加工用高精度检测设备的检偏器的侧视结构示意图；
20.图6为本实用新型提出的一种半导体加工用高精度检测设备的转动轴的剖视结构示意图。
21.图中：1、椭偏仪本体；2、检偏器；3、起偏器；4、从动板；5、挡板；6、透镜；7、从动杆；8、转动杆；9、转盘；10、把手；11、滑槽；12、滑条；13、圆帽；14、活动槽；15、弹簧；16、固定槽；17、半圆块；18、转动孔；19、转动轴；20、调节弹簧。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
23.参照图1
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4，一种半导体加工用高精度检测设备，包括椭偏仪本体1，椭偏仪本体1上设有检偏器2和起偏器3，检偏器2和起偏器3上均设有透镜6，检偏器2和起偏器3上均活动安装有两个从动板4，四个从动板4上均固定安装有挡板5，位于同一侧的两个挡板5相适配，四个从动板4上均固定安装有从动杆7，检偏器2和起偏器3上均转动安装有转动杆8，转动杆8位于两个相对应的从动杆7之间，转动杆8上固定安装有转盘9，便于在不使用椭偏仪本体1的时候，可以通过挡板5将透镜6遮蔽，使得透镜6不会与外界空气产生接触，避免了透镜6沾染上灰尘或者是杂质，从而影响到椭偏仪检测结果的准确性，或者是在搬运椭偏仪的过程中损坏椭偏仪，从而保证了椭偏仪的正常使用。
24.本实用新型中，位于同一侧的两个从动板4上均开设有滑槽11，两个滑槽11内滑动安装有同一个滑条12，滑条12固定安装在检偏器2上，便于从动板4通过滑槽11在滑条12上移动，从而使得从动板4带动挡板5移动。
25.本实用新型中，检偏器2上开设有四个固定槽16，其中两个固定槽16内活动安装有半圆块17，便于转动杆8会带动半圆块17移动，半圆块17在移动时受到固定槽16的限制，使得半圆块17收缩至转动孔18内。
26.本实用新型中，转动杆8固定安装有两个圆帽13，转动杆8和圆帽13上均开设有活动槽14，位于同一侧的两个活动槽14内固定安装有同一个弹簧15，两个弹簧15的一端分别固定安装在活动槽14的内壁上，两个弹簧15的另一端分别固定安装在两个半圆块17上，便于半圆块17在进入活动槽14时会压缩弹簧15，在转动杆8移动至合适位置时，半圆块17会与相对应的活动槽14相卡接，从而将转动杆8固定。
27.本实用新型中，转动杆8和转盘9上均开设有转动孔18，两个转动孔18内转动安装有同一个转动轴19，转动轴19固定安装在检偏器2上，便于转盘9和转动杆8通过转动孔18在转动轴19上转动，在转动杆8转动时，转动杆8会推动两个从动杆7相互远离。
28.本实用新型中，转盘9上固定安装有把手10，把手10上固定安装有防滑橡胶套，便于把手10带动转盘9转动，使得转盘9带动转动杆8转动，转盘9和转动杆8通过转动孔18在转动轴19上转动。
29.本实用新型中，两个从动杆7之间固定安装有两个调节弹簧20，两个调节弹簧20均位于从动杆7上靠近从动板4的一端，便于两个从动杆7在移动时会拉伸两个调节弹簧20，使得从动杆7带动从动板4在移动。
30.本实用新型工作原理：
31.在使用椭偏仪本体1测量半导体时，首先需要将半导体样品放置在椭偏仪本体1上，然后转动检偏器2和起偏器3上的把手10，使得把手10带动转盘9转动，使得转盘9带动转动杆8转动，转盘9和转动杆8通过转动孔18在转动轴19上转动，在转动杆8转动时，转动杆8会推动两个从动杆7相互远离，两个从动杆7在移动时会拉伸两个调节弹簧20，使得从动杆7带动从动板4在移动，使得从动板4通过滑槽11在滑条12上移动，从而使得从动板4带动挡板5移动，从而将挡板5所覆盖的透镜6露出，而在同时转动杆8会带动半圆块17移动，半圆块17在移动时受到固定槽16的限制，使得半圆块17收缩至转动孔18内，半圆块17在进入活动槽14时会压缩弹簧15，在转动杆8移动至合适位置时，半圆块17会与相对应的活动槽14相卡接，从而将转动杆8固定，相应的两个从动杆7的位置也被固定，从而将挡板5的位置固定，在椭偏仪本体1的测量完成后，可再次通过转动把手10将透镜6覆盖。
32.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。