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一种双工位检漏系统的制作方法

2021-10-24 06:46:00 来源:中国专利 TAG:双工 检漏 质谱 系统 检漏仪

技术特征:
1.一种双工位检漏系统,其特征在于:包括阀岛、吹扫气源、预抽泵和氦质谱检漏仪,所述吹扫气源与所述阀岛连接,所述预抽泵与所述阀岛连接,所述氦质谱检漏仪与所述阀岛连接。2.根据权利要求1所述的一种双工位检漏系统,其特征在于:所述阀岛上设置有第一安装工位和第二安装工位,所述第一安装工位上依次设置有第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位和第三电磁阀安装位,所述第二安装工位上依次设置有第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位,所述第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位、第三电磁阀安装位、第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位上均设置有进气口和排气口。3.根据权利要求2所述的一种双工位检漏系统,其特征在于:所述阀岛上还设置有第一通路、第二通路、第三通路、第四通路和第五通路,所述第一通路依次连通第一电磁阀安装位的进气口、第三电磁阀安装位的进气口和第二电磁阀安装位的排气口;所述第二通路依次连通第四电磁阀安装位的进气口、第六电磁阀安装位的进气口和第五电磁阀安装位的排气口;所述第三通路依次连通第一电磁阀安装位的排气口和第四电磁阀安装位的排气口,并与所述氦质谱检漏仪连接;所述第四通路依次连通第二电磁阀安装位的进气口和第五电磁阀安装位的进气口,并与所述吹扫气源连接;所述第五通路依次连通第三电磁阀安装位的排气口和第六电磁阀安装位的排气口,并与所述预抽泵连接。4.根据权利要求3所述的一种双工位检漏系统,其特征在于:所述第一电磁阀安装位上设置有第一检漏电磁阀,所述第四电磁阀安装位上设置有第二检漏电磁阀。5.根据权利要求3所述的一种双工位检漏系统,其特征在于:所述第二电磁阀安装位上设置有第一空吹电磁阀,所述第三电磁阀安装位设置有第一预抽电磁阀;所述第五电磁阀安装位上设置有第二空吹电磁阀,所述第六电磁阀安装位上设置有第二预抽电磁阀。6.根据权利要求1所述的一种双工位检漏系统,其特征在于:所述双工位检漏系统还设置有减压阀和空气过滤器,所述吹扫气源、减压阀和空气过滤器依次连接,所述空气过滤器与阀岛连接。7.根据权利要求3所述的一种双工位检漏系统,其特征在于:所述阀岛上还设置有两个真空计,所述真空计分别连接于第一通路和第二通路上。

技术总结
本实用新型提供一种双工位检漏系统,包括阀岛、吹扫气源、预抽泵和氦质谱检漏仪,所述吹扫气源与所述阀岛通过密封管道连接,所述预抽泵与所述阀岛通过密封管道连接,所述氦质谱检漏仪与所述阀岛通过密封管道连接。本实用新型将电磁阀安装位和连接管道集成在阀岛上,阀岛集成度高,管道布局紧凑,内部管道连接安全可靠,极大程度上简化了双工位检漏系统的气路系统,并且可根据系统实际情况灵活设置电磁阀。并且可根据系统实际情况灵活设置电磁阀。并且可根据系统实际情况灵活设置电磁阀。


技术研发人员:朱操胜
受保护的技术使用者:安徽诺益科技有限公司
技术研发日:2020.12.31
技术公布日:2021/10/23
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