一种双工位检漏系统的制作方法

1.本实用新型涉及氦质谱检漏仪应用领域，具体涉及一种双工位检漏系统。


背景技术：

2.氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器，由于其可检漏率小，检测速度快，检测过程简单方便，在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。利用氦质谱检漏仪构成的双工位检漏系统，可以实现一个工位装夹待测件，另一个工位对待测件进行检漏，减少了氦质谱检漏仪的待机等待时间，提升了氦质谱检漏仪的利用率，大大提高系统的工作效率。但现有的双工位检漏系统的气路系统复杂，管路交叉连接多，从而降低了系统的抽空和检测能力，气路系统的密封可靠性低。
3.鉴于上述缺陷，本实用新型创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本实用新型。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的问题在于：如何简化双工位检漏系统的气路系统，减少管道之间的交叉，从而提升系统的抽空能力。为此，提供一种双工位检漏系统。
5.一种双工位检漏系统，包括阀岛、吹扫气源、预抽泵和氦质谱检漏仪，所述吹扫气源与所述阀岛连接，所述预抽泵与阀岛连接，所述氦质谱检漏仪与阀岛连接。
6.所述阀岛上设置有第一安装工位和第二安装工位，所述第一安装工位依次设置有第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位和第三电磁阀安装位，所述第二安装工位上依次设置有第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位，所述第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位、第三电磁阀安装位、第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位上均设置有进气口和排气口。
7.所述阀岛上还设置有第一通路、第二通路、第三通路、第四通路和第五通路，所述第一通路分别连通第一电磁阀安装位的进气口和第三电磁阀安装位的进气口，并与第二电磁阀安装位的排气口连通；所述第二通路分别连通第四电磁阀安装位的进气口和第六电磁阀安装位的进气口，并与第五电磁阀安装位的排气口连通；所述第三通路分别连通第一电磁阀安装位的排气口和第四电磁阀安装位的排气口，并与所述氦质谱检漏仪连接；所述第四通路分别连通第二电磁阀安装位的进气口和第五电磁阀安装位的进气口，并与所述吹扫气源连接；所述第五通路分别连通第三电磁阀安装位的排气口和第六电磁阀安装位的排气口，并与所述预抽泵连接。
8.所述第一电磁阀安装位上设置有第一检漏电磁阀，所述第二电磁阀安装位上设置有第一空吹电磁阀，所述第三电磁阀安装位上设置有第一预抽电磁阀；所述第四电磁阀安装位上设置有第二检漏电磁阀，所述第五电磁阀安装位上设置有第二空吹电磁阀，所述第六电磁阀安装位上设置有第二预抽电磁阀。
9.优选的，所述双工位检漏系统还设置有减压阀和空气过滤器，所述吹扫气源、减压
阀和空气过滤器依次连接，所述空气过滤器通过密封管道与阀岛连接。使得吹扫气源在执行吹扫流程和破空流程时，可以通过减压阀控制气流的强度；空气过滤器可以滤去空气中杂质，使得进入管道内部的气体为纯净的空气，避免了杂质对仪器的污染和损害。
10.优选的，所述第一电磁阀安装位上设置有第一检漏电磁阀，所述第四电磁阀安装位上设置有第二检漏电磁阀。所述第二电磁阀安装位上设置有第一空吹电磁阀，所述第三电磁阀安装位设置有第一预抽电磁阀；所述第五电磁阀安装位上设置有第二空吹电磁阀，所述第六电磁阀安装位上设置有第二预抽电磁阀。
11.优选的，第一安装工位最少只安装第一检漏电磁阀，第二安装工位最少只安装第二检漏电磁阀，此时氦质谱检漏仪具备检漏功能；第一安装工位还可以安装有第一空吹电磁阀和第一预抽电磁阀，第二安装工位还可以安装有第二空吹电磁阀和第二预抽电磁阀，此时氦质谱检漏仪具备检漏、抽真空、破空和吹扫功能。在实际使用时，可依据实际需要决定是否将部分电磁阀安装位的进气口和排气口进行密封，以实现双工位检测或单工位检测。
12.优选的，所述阀岛上上还设置有真空计，所述真空计数量设置为两个，分别与第一通路和第二通路连接。
13.与现有技术比较，本实用新型的有益效果在于：将电磁阀安装位和连接管道集成在阀岛上，阀岛集成度高，管道布局紧凑，内部管道连接安全可靠，极大程度上简化了双工位检漏系统的气路系统，并且可根据双工位检漏系统的实际情况灵活设置电磁阀。
附图说明
14.图1为本实用新型的气路图；
15.图2为本实用新型的阀岛示意图。
16.附图标记：
[0017]1‑
阀岛；11
‑
第一安装工位；111
‑
第一电磁阀安装位；112
‑
第二电磁阀安装位；113
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第三电磁阀安装位；12
‑
第二安装工位；121
‑
第四电磁阀安装位；122
‑
第五电磁阀安装位；123
‑
第六电磁阀安装位；114
‑
第一检漏电磁阀；115
‑
第一空吹电磁阀；116
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第一预抽电磁阀；124
‑
第二检漏电磁阀；125
‑
第二空吹电磁阀；126
‑
第二预抽电磁阀；13
‑
第一通路；14
‑
第二通路；15
‑
第三通路；16
‑
第四通路；17
‑
第五通路；2
‑
氦质谱检漏仪；3
‑
预抽泵；4
‑
吹扫气源；5
‑
减压阀；6
‑
空气过滤器；7
‑
真空计。
具体实施方式
[0018]
下面对本实用新型的实施例结合附图作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。
[0019]
参见图1，图示为本实用新型的气路图，包括第一安装工位11、第二安装工位12、第一预抽电磁阀116、第二预抽电磁阀126、第一检漏电磁阀114、第二检漏电磁阀124、第一空吹电磁阀115、第二空吹电磁阀125、氦质谱检漏仪2、预抽泵3、真空计7、吹扫气源4、减压阀5、空气过滤器6。
[0020]
参见图2，图示为本实用新型所使用的双工位检漏系统，包括阀岛1、第一安装工位
11、第二安装工位12、第一电磁阀安装位111、第二电磁阀安装位112、第三电磁阀安装位113、第四电磁阀安装位121、第五电磁阀安装位122、第六电磁阀安装位123、第一通路13、第二通路14、第三通路15、第四通路16、第五通路17。
[0021]
实施例1：
[0022]
一种双工位检漏系统，包括阀岛1、吹扫气源4、减压阀5、空气过滤器6、预抽泵3、氦质谱检漏仪2和真空计7，所述吹扫气源4与所述减压阀5、所述空气过滤器6依次连接，所述空气过滤器6与所述阀岛1连接，所述预抽泵3与阀岛1连接，所述氦质谱检漏仪2与阀岛1连接。所述阀岛1上设置有第一安装工位11和第二安装工位12，所述真空计7数量为两个，分别安装于所述第一安装工位11和第二安装工位12上。所述第一安装工位11依次设置有第一电磁阀安装位111、第二电磁阀安装位112和第三电磁阀安装位113，所述第二安装工位12上依次设置有第四电磁阀安装位121、第五电磁阀安装位122和第六电磁阀安装位123，所述第一电磁阀安装位111、第二电磁阀安装位112、第三电磁阀安装位113、第四电磁阀安装位121、第五电磁阀安装位122和第六电磁阀安装位123上均设置有进气口和排气口。
[0023]
所述阀岛1上设置有第一通路13、第二通路14、第三通路15、第四通路16和第五通路17，所述第一通路13连通第一电磁阀安装位111的进气口和第三电磁阀安装位113的进气口，并与第二电磁阀安装位112的排气口连通。所述第二通路14连通第四电磁阀安装位121的进气口和第六电磁阀安装位123的进气口，并与第五电磁阀安装位122的排气口连通。所述第三通路15连通第一电磁阀安装位111的排气口和第四电磁阀安装位121的排气口，并与所述氦质谱检漏仪2连接。所述第四通路16连通第二电磁阀安装位112的进气口和第五电磁阀安装位122的进气口，并与所述空气过滤器6连接。所述第五通路17连通第三电磁阀安装位113的排气口和第六电磁阀安装位123的排气口，并与所述预抽泵3连接。所述第一电磁阀安装位111设置有第一检漏电磁阀114，所述第二电磁阀安装位112设置有第一空吹电磁阀115，所述第三电磁阀安装位113设置有第一预抽电磁阀116；所述第四电磁阀安装位121设置有第二检漏电磁阀124，所述第五电磁阀安装位122设置有第二空吹电磁阀125，所述第六电磁阀安装位123设置有第二预抽电磁阀126。
[0024]
当第一安装工位11工作时，预抽泵3启动，安装于第三电磁阀安装位113的第一预抽电磁阀116打开，第三电磁阀安装位113的进气口与排气口连通。第一安装工位11内部的气体依次通过第一通路13、第三电磁阀安装位113的进气口、第三电磁阀安装位113的排气口和第五通路17，再进入预抽泵3被抽空排出，当真空计7显示第一安装工位11的内部为真空状态时，第一安装工位11的预抽工作完成。
[0025]
预抽完成后，安装于第三电磁阀安装位113的第一预抽电磁阀116关闭，第三电磁阀安装位113的进气口与排气口断开，同时安装于第一电磁阀安装位111的第一检漏电磁阀114打开，第一电磁阀安装位111的进气口与排气口连通，第一安装工位11内的气体通过第一通路13经过第一电磁阀安装位111的进气口、第一电磁阀安装位111的排气口和第三通路15，再进入氦质谱检漏仪2进行检测，此时第一安装工位11的检测工作完成。
[0026]
检测完成后，安装于第一电磁阀安装位111的第一检漏电磁阀114关闭，第一电磁阀安装位111的进气口与排气口断开，同时安装于第二电磁阀安装位112的第一空吹电磁阀115打开，第二电磁阀安装位112的进气口与排气口连通，吹扫气源4的气体经过减压阀5限流、空气过滤器6净化后，通过第四通路16经过第二电磁阀安装位112的进气口、第二电磁阀
安装位112的排气口和第一通路13，再进入第一安装工位11进行破空，此时执行的是第一安装工位11的破空流程。当安装于第二电磁阀安装位112的第一空吹电磁阀115一直保持开启状态时，吹扫气源4就能一直保持对第一安装工位11的吹扫状态，此时执行第一安装工位11的吹扫流程。
[0027]
当第二安装工位12工作时，预抽泵3启动，安装于第六电磁阀安装位123的第二预抽电磁阀126打开，第六电磁阀安装位123的进气口与排气口连通。第二安装工位12内部的气体依次通过第二通路14、第六电磁阀安装位123的进气口、第六电磁阀安装位123的排气口和第五通路17，再进入预抽泵3被抽空排出，当真空计7显示第二安装工位12的内部为真空状态时，第二安装工位12的预抽工作完成。预抽完成后，安装于第六电磁阀安装位123的第二预抽电磁阀126关闭，第六电磁阀安装位123的进气口与排气口断开，同时安装于第四电磁阀安装位121的第二检漏电磁阀124打开，第四电磁阀安装位121的进气口与排气口连通，第二安装工位12内的气体通过第二通路14经过第四电磁阀安装位121的进气口、第四电磁阀安装位121的排气口和第三通路15，再进入氦质谱检漏仪2进行检测，此时第二安装工位12的检测准备工作完成。
[0028]
检测完成后，安装于第四电磁阀安装位121的第二检漏电磁阀124关闭，第四电磁阀安装位121的进气口与排气口断开，同时安装于第五电磁阀安装位122的第二空吹电磁阀125打开，第五电磁阀安装位122的进气口与排气口连通，吹扫气源4的气体经过减压阀5限流、空气过滤器6净化后，通过第四通路16经过第五电磁阀安装位122的进气口、第五电磁阀安装位122的排气口和第二通路14，再进入第二安装工位12进行破空。此时执行第二安装工位12的破空流程。当安装于第五电磁阀安装位122的第二空吹电磁阀125一直保持开启状态时，吹扫气源4就能一直保持对第二安装工位12的吹扫状态，此时执行第二安装工位12的吹扫流程。
[0029]
第一安装工位11和第二安装工位12可分别执行待测件的装夹和待测件的检测工作，工作人员可以在其中一个安装工位执行真空检测时，在另一个安装工位上装夹待测件，缩减了氦质谱检漏仪2装夹时的待机时间，提升了氦质谱检漏仪2的工作效率。
[0030]
实施例2：
[0031]
一种双工位检漏系统，包括阀岛1、吹扫气源4、减压阀5、空气过滤器6、预抽泵3、氦质谱检漏仪2和真空计7，所述吹扫气源4与所述减压阀5、所述空气过滤器6依次连接，所述空气过滤器6与所述阀岛1连接，所述预抽泵3与阀岛1连接，所述氦质谱检漏仪2与阀岛1连接。所述阀岛1上设置有第一安装工位11和第二安装工位12，所述真空计7数量为两个，分别安装于所述第一安装工位11和第二安装工位12上。所述第一安装工位11依次设置有第一电磁阀安装位111、第二电磁阀安装位112和第三电磁阀安装位113，所述第二安装工位12上依次设置有第四电磁阀安装位121、第五电磁阀安装位122和第六电磁阀安装位123，所述第一电磁阀安装位111、第二电磁阀安装位112、第三电磁阀安装位113、第四电磁阀安装位121、第五电磁阀安装位122和第六电磁阀安装位123上均设置有进气口和排气口。
[0032]
所述阀岛1上还设置有第一通路13、第二通路14、第三通路15、第四通路16和第五通路17，所述第一通路13连通第一电磁阀安装位111的进气口和第三电磁阀安装位113的进气口，并与第二电磁阀安装位112的排气口连通；所述第二通路14连通第四电磁阀安装位121的进气口和第六电磁阀安装位123的进气口，并与第五电磁阀安装位122的排气口连通；
所述第三通路15连通第一电磁阀安装位111的排气口和第四电磁阀安装位121的排气口，并与所述氦质谱检漏仪2连接；所述第四通路16连通第二电磁阀安装位112的进气口和第五电磁阀安装位122的进气口，并与所述空气过滤器6连接；所述第五通路17连通第三电磁阀安装位113的排气口和第六电磁阀安装位123的排气口，并与所述预抽泵3连接。所述第一电磁阀安装位111设置有第一检漏电磁阀114，所述第二电磁阀安装位112设置有第一空吹电磁阀115，所述第三电磁阀安装位113设置有第一预抽电磁阀116；所述第四电磁阀安装位121设置有第二检漏电磁阀124，所述第五电磁阀安装位122设置有第二空吹电磁阀125，所述第六电磁阀安装位123设置有第二预抽电磁阀126。
[0033]
单工位检测时，将第二安装工位12上的第四电磁阀安装位121的进气口和排气口、第五电磁阀安装位122的进气口和排气口、第六电磁阀安装位123的进气口和排气口均进行封堵，并取消第二预抽电磁阀126、第二空吹电磁阀125、第二检漏电磁阀124和第二安装工位12上的真空计7的安装。
[0034]
当第一安装工位11工作时，预抽泵3启动，安装于第三电磁阀安装位113的第一预抽电磁阀116打开，第三电磁阀安装位113的进气口与排气口连通。第一安装工位11内部的气体依次通过第一通路13、第三电磁阀安装位113的进气口、第三电磁阀安装位113的排气口和第五通路17，再进入预抽泵3被抽空排出，当真空计7显示第一安装工位11的内部为真空状态时，第一安装工位11的预抽工作完成。
[0035]
预抽完成后，安装于第三电磁阀安装位113的第一预抽电磁阀116关闭，第三电磁阀安装位113的进气口与排气口断开，同时安装于第一电磁阀安装位111的第一检漏电磁阀114打开，第一电磁阀安装位111的进气口与排气口连通，第一安装工位11内的气体通过第一通路13经过第一电磁阀安装位111的进气口、第一电磁阀安装位111的排气口和第三通路15，再进入氦质谱检漏仪2进行检测，此时第一安装工位11的检测工作完成。
[0036]
检测完成后，安装于第一电磁阀安装位111的第一检漏电磁阀114关闭，第一电磁阀安装位111的进气口与排气口断开，同时安装于第二电磁阀安装位112的第一空吹电磁阀115打开，第二电磁阀安装位112的进气口与排气口连通，吹扫气源4的气体经过减压阀5限流、空气过滤器6净化后，通过第四通路16经过第二电磁阀安装位112的进气口、第二电磁阀安装位112的排气口和第一通路13，再进入第一安装工位11进行破空，此时执行的是第一安装工位11的破空流程。当安装于第二电磁阀安装位112的第一空吹电磁阀115一直保持开启状态时，吹扫气源4就能一直保持对第一安装工位11的吹扫状态，此时执行第一安装工位11的吹扫流程。
[0037]
所述仅为本实用新型的较佳实施例，对本实用新型而言仅仅是说明性的，而非限制性的。本专业技术人员理解，在本实用新型权利要求所限定的精神和范围内可对其进行改变，修改，甚至等效，都将落入本实用新型的保护范围内。