一种RF探针薄膜与探针台光学自动贴合装置与方法与流程

技术特征：
1.一种rf探针薄膜与探针台光学自动贴合装置，其特征在于，包括：探针台单元，探针薄膜单元，出胶单元和测距单元；所述探针台单元包括：探针台（1），探针台底座（2），探针台相机（5），x轴平台（7），y轴平台（8）和z轴平台（9）；所述探针台（1）真空吸附在探针台底座（2）上方，探针台底座（2）下方设置有x轴平台（7），y轴平台（8）和z轴平台（9），在x轴平台（7），y轴平台（8）和z轴平台（9）的驱动下，探针台底座（2）承载探针台（1）进行三维平移；所述探针台（1）上设置有探针台标记，设置在探针台（1）上方的探针台相机（5）通过识别所述探针台标记，确定探针台（1）位置；所述探针薄膜单元包括：探针薄膜（3），探针薄膜底座（4），探针薄膜相机（6）和探针薄膜台升降台（13）；所述探针薄膜（3）真空吸附在探针薄膜底座（4）下方，探针薄膜底座（4）上方设置有探针薄膜台升降台（13），在探针薄膜台升降台（13）的驱动下，探针薄膜底座（4）承载探针薄膜（3）进行上下运动；所述探针薄膜（3）上设置有薄膜标记，设置在探针薄膜（3）下方的探针薄膜相机（6）通过识别所述薄膜标记，确定探针薄膜（3）位置；所述出胶单元包括：胶桶（10），针头（11）和伺服推杆（12）；所述胶桶（10）内放置有胶水，针头（11）安装在胶桶（10）端部，伺服推杆（12）设置在胶桶（10）内部，在伺服推杆（12）的推动下，实现胶水从针头（11）处挤出；所述测距单元包括测距传感器（14），所述测距传感器（14）用于测量探针台（1）与探针薄膜（3）之间的距离。2.根据权利要求1所述的一种rf探针薄膜与探针台光学自动贴合装置，其特征在于，所述探针台底座（2）设计有凹槽，所述凹槽开有通道，将探针台（1）放置在所述凹槽中，通过通道将凹槽抽真空，实现探针台（1）真空吸附在探针台底座（2）上方。3.根据权利要求1所述的一种rf探针薄膜与探针台光学自动贴合装置，其特征在于，所述探针薄膜底座（4）设计有凸台，所述凸台开有通道，将探针薄膜（3）放置在所述凸台下方，并用定位销将探针薄膜（3）固定，通过通道将凸台抽真空，实现探针薄膜（3）真空吸附在探针薄膜底座（4）下方，再去掉定位销。4.根据权利要求1所述的一种rf探针薄膜与探针台光学自动贴合装置，其特征在于，所述伺服推杆（12）最小运动距离为1微米。5.根据权利要求1所述的一种rf探针薄膜与探针台光学自动贴合装置，其特征在于，所述测距传感器（14）安装在x轴平台（7），y轴平台（8）或z轴平台（9）上。6.根据权利要求1所述的一种rf探针薄膜与探针台光学自动贴合装置，其特征在于，所述探针台相机（5），探针薄膜相机（6），x轴平台（7），y轴平台（8），z轴平台（9），伺服推杆（12），探针薄膜台升降台（13）和测距传感器（14）均连接pc机，在pc机控制下，所述探针台相机（5），探针薄膜相机（6），x轴平台（7），y轴平台（8），z轴平台（9），伺服推杆（12），探针薄膜台升降台（13）和测距传感器（14）协同工作。7.一种rf探针薄膜与探针台光学自动贴合方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤a、将探针台（1）真空吸附在探针台底座（2）上方；步骤b、将探针薄膜（3）真空吸附在探针薄膜底座（4）下方；步骤c、探针台相机（5）对探针台（1）成像，通过获取探针台标记位置，获得探针台（1）位置信息，并反馈给pc机；
步骤d、探针薄膜相机（6）对探针薄膜（3）成像，通过获取薄膜标记位置，获得探针薄膜（3）位置信息，并反馈给pc机；步骤e、pc机根据探针台（1）位置，控制x轴平台（7），y轴平台（8）和z轴平台（9），将探针台（1）调整到滴胶工位；步骤f、pc机控制伺服推杆（12），实现出胶单元点滴胶或线滴胶；步骤g、pc机根据探针台（1）位置和探针薄膜（3）位置，控制x轴平台（7），y轴平台（8）和z轴平台（9），将探针台（1）移动到探针薄膜（3）下方；步骤h、pc机根据测距传感器（14）得到的探针台（1）至探针薄膜（3）的距离，控制探针薄膜台升降台（13）向下运动，使探针台（1）和探针薄膜（3）的距离达到阈值；步骤i、将胶水冷却凝固；步骤j、探针台底座（2）和探针薄膜底座（4）破真空，pc机控制探针薄膜台升降台（13）向上运动，取出探针台（1）和探针薄膜（3）贴合后的工件。

技术总结
本发明一种RF探针薄膜与探针台光学自动贴合装置与方法属于MEMS加工和半导体芯片测试技术领域；该贴合装置包括探针台单元，探针薄膜单元，出胶单元和测距单元；所述探针台单元包括：探针台，探针台底座，探针台相机，X轴平台，Y轴平台和Z轴平台；所述探针薄膜单元包括：探针薄膜，探针薄膜底座，探针薄膜相机和探针薄膜台升降台；所述出胶单元包括：胶桶，针头和伺服推杆；所述测距单元包括测距传感器；该贴合方法通过真空吸附方法固定探针台和探针薄膜，利用光学自动检测手段，先后将探针台调整到滴胶工位完成滴胶和移动到探针薄膜下方进行粘贴；本发明能够实现探针薄膜与探针台自动贴合，贴合精度高，平面度高，滴胶精确，良品率高。高。高。


技术研发人员：于海超 徐兴光 赵梁玉
受保护的技术使用者：强一半导体（苏州）有限公司
技术研发日：2021.07.23
技术公布日：2021/10/15