一种MEMS岛-梁-膜装置的制作方法

技术特征：

1.一种MEMS岛-梁-膜装置，其特征在于，包括支撑结构(1)、粘接层(2)和器件层(3)，所述支撑结构(1)和器件层(3)之间通过粘接层(2)粘接在一起；所述支撑结构(1)的中间位置设置背腔(4)和空腔(5)，所述背腔(4)贯穿支撑结构(1)到空腔(5)内，并与空腔(5)相互连通；所述空腔(5)从支撑结构(1)的上表面向下延伸，不贯穿支撑结构(1)；所述器件层(3)上设置有不贯穿的岛-梁-膜(11)和围绕岛-梁-膜(11)的固支结构(10)。

2.根据权利要求1所述的MEMS岛-梁-膜装置，其特征在于，所述岛-梁-膜(11)包括薄膜(6)、膜上岛(8)和连接梁(9)；在所述器件层(3)上刻蚀或腐蚀出若干个底部和四周均不贯通、且形状和深度均相同的凹槽(7)，留出中间的膜上岛(8)后形成薄膜(6)以及连接梁(9)，围绕在岛-梁-膜(11)周边的部分形成固支结构(10)。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS岛-梁-膜装置，其特征在于，还包括一质量块(12)，所述质量块(12)通过粘接层(2)粘接在器件层(3)的底部中间位置，其与膜上岛(8)一起组成岛-梁-膜(11)的岛结构。

4.根据权利要求1或2所述的MEMS岛-梁-膜装置，其特征在于，所述背腔(4)、空腔(5)以及凹槽(7)通过干法刻蚀或者各向异性湿法腐蚀的方式形成。

5.根据权利要求3所述的MEMS岛-梁-膜装置，其特征在于，所述质量块(12)的形状为正方体、长方体、圆柱体或台体以及上述形体的不规则变形。