技术特征：
技术总结
本发明涉及一种MEMS构件，具有第一衬底和第二衬底，该第一衬底具有在第一侧上的至少一个第一绝缘层和至少一个第一金属化部，该第二衬底具有在第二侧上的至少一个第二绝缘层和至少一个第二金属化部，其中，第二衬底具有微机械功能元件，该微机械功能元件与第二金属化部导电连接。本发明的核心在于，第一侧和第二侧彼此贴靠地布置，其中，第一绝缘和第二绝缘层相互连接，其中，第一金属化部和第二金属化部相互连接。本发明也涉及一种用于制造MEMS构件的方法。
技术研发人员：C·谢林
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2017.11.23
技术公布日：2018.05.29
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
