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一种微电极阵列的制备方法与流程

2021-10-26 12:47:05 来源:中国专利 TAG:凝胶 电极 阵列 感光 制备方法
技术总结
本发明涉及感光凝胶技术领域,特别涉及一种微电极阵列的制备方法。包括以下步骤:步骤1:将正硅酸乙酯和无水乙醇混合搅拌20‑40min,加入1,10‑菲啰啉、去离子水和盐酸,继续搅拌2‑3h,陈化24‑48h,得到二氧化硅感光溶胶;上述添加试剂的摩尔比为正硅酸乙酯:无水乙醇:1,10‑菲啰啉:去离子水:盐酸=5:100‑200:2.5:10:1;步骤2:采用步骤1制得的二氧化硅感光溶胶在衬底制备二氧化硅感光薄膜;将掩膜版置于所述二氧化硅感光薄膜表面,在紫外光下曝光30‑60min,经无水乙醇溶洗显影后得到微电极阵列。

技术研发人员:王哲哲;温馨;郑志强
受保护的技术使用者:福建师范大学
文档号码:201610647207
技术研发日:2016.08.09
技术公布日:2016.12.14

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