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一种集成传感器的封装结构的制作方法

2021-10-26 12:42:13 来源:中国专利 TAG:麦克风 封装 传感器 集成 特别
技术总结
本申请公开了一种集成传感器的封装结构,包括MEMS芯片、ASIC芯片、线路板、顶板、中空框架和环境传感器;中空框架的两端分别与线路板和顶板固定,形成封装体;MEMS芯片、ASIC芯片和环境传感器位于封装体内且固定于顶板上,环境传感器和ASIC芯片均与顶板电连接,顶板对应MEMS芯片的位置开设有声孔,顶板与线路板电连接。与现有的将MEMS芯片和ASIC芯片固定于线路板,在壳体上对应MEMS芯片位置设置声孔相比,本实用新型中的MEMS芯片固定于顶板上,声孔开设在顶板上,从而增大了背腔的空间,提高了信噪比;此外,顶板上对应环境传感器的位置开设有通孔,提高了环境传感器的感知速度。

技术研发人员:端木鲁玉;
受保护的技术使用者:歌尔股份有限公司;
文档号码:201620372564
技术研发日:2016.04.27
技术公布日:2016.10.05

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