技术特征：
技术总结
本发明涉及MEMS压电器件和对应的制造方法。一种MEMS压电器件具有：半导体材料的单片式本体，其具有第一主表面和第二主表面，这两个表面平行于由第一水平轴和第二水平轴形成的水平面并且沿着竖直轴相对；布置在单片式本体内的壳腔体；在单片式本体的第一主表面处悬置在壳腔体上方的膜；布置在膜的第一表面上方的压电材料层；布置成与压电材料层接触的电极装置；以及耦合至膜的沿着竖直轴与第一表面相对的第二表面以响应于环境机械振动引起第二表面形变的检测质量。检测质量通过布置在中心位置中并且沿着竖直轴的方向在膜与检测质量之间的连接元件耦合至膜。
技术研发人员：M·F·贝维拉克夸;F·F·维拉;R·斯卡尔达菲利;V·卡萨塞利;A·迪马特奥;D·法拉里
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2016.06.27
技术公布日：2017.07.04
再多了解一些
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