一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管及其制备方法与流程

技术特征：

1.一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管，其特征在于，包括衬底(1)、悬臂梁(2)、源电极(301)、漏电极(302)、栅电极(303)、机半导体层(4)、绝缘层(5)和过冲保护层(6)。

其中：悬臂梁一端固定在衬底上，另一端位于衬底上方且中间架空；过冲保护层叠置于衬底上，且过冲保护层位于悬臂梁与衬底之间架空处；源电极和漏电极分别位于悬臂梁上方左右两侧，有机半导体层位于源电极、漏电极和悬臂梁的上方；绝缘层位于有机半导体层上方；栅电极位于绝缘层的上方。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管，其特征在于，所述的悬臂梁在外力作用下会发生形变。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管，其特征在于，所述的过冲保护层能防止悬臂梁在外力作用下超限制形变。

4.一种制作悬臂梁结构的震动传感有机场效应晶体管的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)在硅衬底上，通过光刻的方式，采用化学汽相淀积的方法制备一层过冲保护层；过冲保护层的材料为氮化硅；

(2)在制备好过冲保护层的硅衬底上制备一层二氧化硅牺牲层；牺牲层覆盖硅衬底的一侧；

(3)在所述步骤(2)得到的一侧覆盖有牺牲层的衬底以及另一端未覆盖牺牲层的衬底上，采用化学汽相淀积的方法制备一层氮化硅层；

(4)释放步骤(3)中，由二氧化硅形成的牺牲层；使得位于牺牲层上方的氮化硅层悬空，形成悬臂梁；

(5)在悬空部分的氮化硅层上，采用真空蒸镀的方法制备源电极和漏电极；

(6)在制备好源电极和漏电极的氮化硅层上旋涂一层有机层半导体材料，作为有机半导体层；

(7)在制备好的有机半导体层上通过旋涂的方式制备一层绝缘层；

(8)在绝缘层上制备栅电极。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述的步骤(2)中，牺牲层位于过冲保护层的一侧且完全覆盖过冲保护层。