MEMS双层悬浮微结构的制作方法和MEMS红外探测器与流程

2021-10-26 12:32:49 来源：中国专利 TAG：微结构制作方法悬浮特别红外探测器

技术总结
一种MEMS双层悬浮微结构的制作方法，可以制作出具有双层的悬浮微结构，用该双层悬浮微结构(具备第一膜体和第二膜体的悬浮微结构)制作的红外探测器，由于第二膜体不需要制作悬臂梁，所以第二膜体可以制作得比第一膜体大，因而可以比单层悬浮微结构的红外探测器拥有更大的悬浮吸收区域，从而具备较高的红外响应率。此外，还公开一种MEMS红外探测器。

技术研发人员：荆二荣
受保护的技术使用者：无锡华润上华半导体有限公司
文档号码：201510244071
技术研发日：2015.05.13
技术公布日：2017.01.04

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