技术特征：
技术总结
本发明提供一种MEMS晶片的贴膜对准装置，包括基座、膜托固定区、摇摆臂、吸盘、升降机构、第一限位结构和第二限位结构；膜托固定区，设置于基座的一侧；摇摆臂包括固定杆和支撑臂，固定杆固定于基座的另一侧，支撑臂的轴向垂直于固定杆的轴向，且支撑臂的一端以固定杆为旋转轴旋转连接于固定杆上；吸盘固定于升降机构上，升降机构的升降方向垂直于支撑臂的轴向，升降机构旋转连接于支撑臂的另一端，旋转轴垂直于基座所在平面。实现膜与晶片对准的精确性，避免人工操作对晶片造成的损伤。
技术研发人员：刘艳松;赵超
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2017.05.23
技术公布日：2017.09.26
再多了解一些
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