用于清洗切割后的晶棒的超声清洗设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于清洗切割后的晶棒的超声清洗设备，其特征在于，包括依次相邻的第一超声清洗槽、第二超声清洗槽及纯水清洗槽；第一超声清洗槽包括第一槽体、第一超声波振动板及用于驱动第一超声波振动板的第一超声波发生器，第一超声波振动板位于第一槽体内；所述第二超声清洗槽包括第二槽体、第二超声波振动板及用于驱动第二超声波振动板的第二超声波发生器，第二超声波振动板位于第二槽体内，第一槽体和第二槽体上均设置有支撑架且所述第一槽体和第二槽体上均设置有进水口和排水口；所述纯水清洗槽包括第三槽体，第三槽体上设置有进水口；清洗作业过程中，切割后的晶棒在不同槽体内均被纯水完全浸没，并依次经所述第一超声清洗槽和第二超声清洗槽的超声清洗及纯水清洗槽的溢流清洗。2.根据权利要求1所述的超声清洗设备，其特征在于，所述第一超声清洗槽和第二超声清洗槽上均设置有加热器，以对槽体内的纯水进行加热。3.根据权利要求2所述的超声清洗设备，其特征在于，所述第一超声清洗槽和第二超声清洗槽上均设置有温控装置，所述温控装置与加热器相连接。4.根据权利要求1所述的超声清洗设备，其特征在于，所述第一超声波振动板及第二超声波振动板均为多个，且均沿对应槽体的长度方向延伸并在对应槽体的相对两侧以晶棒为中心呈对称分布。5.根据权利要求1所述的超声清洗设备，其特征在于，所述第一槽体及第二槽体的下部均呈梯形漏斗结构，排水口位于对应槽体的底部。6.根据权利要求1所述的超声清洗设备，其特征在于，所述超声清洗设备还包括惰性气体供应装置，与第一槽体、第二槽体及第三槽体相连通，以向各槽体内通入惰性气体。7.根据权利要求1所述的超声清洗设备，其特征在于，所述超声清洗设备还包括回收装置，所述回收装置与所述第三槽体相连接，以对第三槽体溢流出的纯水进行回收利用。8.根据权利要求1所述的超声清洗设备，其特征在于，所述第一槽体和第二槽体上均设置有密封盖。9.根据权利要求1
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8任一项所述的超声清洗设备，其特征在于，所述超声清洗设备还包括装载栈，所述装载栈与所述第一超声清洗槽相邻设置，切割后的晶棒经所述装载栈装载至第一超声清洗槽。

技术总结
本实用新型提供一种用于清洗切割后的晶棒的超声清洗设备，包括依次相邻的第一超声清洗槽、第二超声清洗槽及纯水清洗槽；第一超声清洗槽包括第一槽体、第一超声波振动板及第一超声波发生器；第二超声清洗槽包括第二槽体、第二超声波振动板及第二超声波发生器，第一槽体和第二槽体上均设置有支撑架且第一槽体和第二槽体上均设置有进水口和排水口；纯水清洗槽包括第三槽体，第三槽体上设置有进水口；清洗作业过程中，晶棒在不同槽体内均被纯水完全浸没，并依次经第一超声清洗槽和第二超声清洗槽的超声清洗及纯水清洗槽的溢流清洗。采用本实用新型的超声清洗设备，可以无需使用界面活性剂等化学品，可以有效降低清洗成本和减少对环境的污染。环境的污染。环境的污染。


技术研发人员：吴镐硕 朴灵绪
受保护的技术使用者：苏州恩腾半导体科技有限公司
技术研发日：2020.12.18
技术公布日：2021/10/23