纵叉头和叉头钉)的厚度可以只由在本发明的方法的步骤b中沉积的层的厚度ei形成。同样，空心的单件式擒纵轮525(即，齿轮和枢轴)的厚度也可以只由在本发明的方法的步骤b中沉积的层的厚度ei形成。
[0118]当然，本发明并不限于图示的示例，而是可以具有本领域技术人员将想到的各种变型和改变。尤其是，可以在同一基底1、41、71、101、201、301、401、甚至可以是SOI上同时制造几个可以具有或可以不具有相同设计的微机械部件21、51、81、221、321、421、523、525。
[0119]因此，不仅可在基底1、41、71、101、201、301、401上形成几个相同或不同的腔3、43、73、103、203、303、403，而且也可形成在基底1、41、71、101、201、301、401的几个面上，8卩，本方法的各种实施例的步骤都可应用于基底1、41、71、101、201、301、401的几个面。
【主权项】
1.用于制造由合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)制成的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的方法，该方法包括以下步骤: a)形成基底(201、301、401)，该基底在至少三个层级(NhN^NhNx)上包括用于待制造的单件式微机械部件的凹腔(203、303、403); 13)用合成的碳同素异形体基材料层覆盖基底(201、301、401)的凹腔(203、303、403)，该材料层的厚度(eO小于凹腔的至少三个层级(NhN^NhNx)中每一个的深度； c)移除所述基底(201、301、401)，以释放在凹腔中形成的单件式微机械部件(221、321、421、523、525); 其特征在于，步骤a)包括以下阶段: 1)形成第一晶片(202、302、402)，该第一晶片包括蚀刻贯通的至少一第一图案(205、305、405); ^)形成第二晶片(204、304、404)，该第二晶片包括蚀刻贯通的至少一第二图案(207、307、311、407); 土^)形成没有贯通图案的第三晶片(206、306、406); iv)将第一晶片、第二晶片和第三晶片结合，以形成在至少三个层级上包括凹腔的基底(201、301、401)。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在阶段ii)中，该第二晶片(304)形成为包括蚀刻贯通的第二图案(307)和与第二图案(307)连通的第三蚀刻未贯通图案(311)。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在阶段iii)中，该第三晶片(406)形成为包括蚀刻未贯通的图案(411)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，步骤b)包括以下阶段: bl)在基底的一部分上形成牺牲层(11); b2)在基底(201、301、401)上沉积用于形成成核点的颗粒(13); b3)移除牺牲层(5、11)，以选择性地使基底(201、301、401)的一部分没有任何颗粒(13)； 匕4)化学气相沉积合成的碳同素异形体基材料层(215、315、415)，使该层只在颗粒(13)保留的地方沉积。5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，步骤b)包括以下阶段: b5)在基底(201、301、401)的一部分上形成牺牲层(11); 匕6)在基底上化学气相沉积合成的碳同素异形体基材料层(215、315、415); b7)移除牺牲层(11)，以选择性地使基底(201、301、401)的一部分没有任何层(215、315、415)。6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述凹腔(203、303、403)的至少三个层级(见、他、犯、队)中的至少一个包括形成齿圈的壁。7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)呈晶态形式。8.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)呈非晶态形式。9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤b)之后，该方法包括以下步骤: d)从基底(201、301、401)上去除比在步骤b)中沉积的层的厚度大的厚度，以便使在步骤b)中沉积的层仅保留在凹腔中。10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤c)之前，该方法包括以下步骤: e)用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)的凹腔(203、303、403)，以在步骤幻之后获得由合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)形成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)。11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，在步骤e)中，第二材料形成为从凹腔突伸出，以形成单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的附加的功能层级$1、?213、?0。12.根据权利要求10或11所述的方法，其特征在于，第二材料包括金属或金属合金。13.由根据权利要求1至12中任一项所述的方法获得的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)，其特征在于，该单件式微机械部件(221、321、421、523、525)是空心的，包括由层厚度(ei)介于0.2μηι和20μηι之间的合成的碳同素异形体基材料层(215、315、415)以单件式的方式形成的多个功能层级(FhF^FhFx)，该单件式微机械部件(221、321、421、523、525)具有大于合成的碳同素异形体基材料层(215、315、415)的厚度(ei)的高度(e3)。14.根据权利要求13所述的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)，其特征在于，该单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的外表面包括至少一个齿圈。15.根据权利要求13或14所述的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)，其特征在于，单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的空心部至少部分填充有第二材料，以便获得由合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)制成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)。16.根据权利要求15所述的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)，其特征在于，第二材料形成为从外表面的高度突伸出，以形成单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的附加的功能层级(F1、F2、F3、Fx)。17.根据权利要求15或16所述的单件式微机械部件(21、51、81、221、321、421、523、525)，其特征在于，第二材料包括金属或金属合金。18.—种钟表，其特征在于，该钟表包括根据权利要求12至17中任一项所述的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)。19.根据权利要求18所述的钟表，其特征在于，该单件式微机械部件(221、321、421、.523、525)形成表玻璃、表壳、推动件、表冠、表链、表带、表盘、显示元件、摆轮游丝、摆轮、擒纵叉、桥夹板、主夹板、轮副或擒纵轮中的全部或部分。
【专利摘要】本发明涉及一种用于制造由合成的碳同素异形体基材料(215，315，415)制成的单件式微机械部件(221，321，421，523，525)的方法，其特征在于，包括下述步骤：(a)形成基底(201，301，401)，该基底在至少三个层级(N1，N2，N3，NX)上包括待制造的所述微机械部件的凹腔(203，303，403)；(b)用所述合成的碳同素异形体基材料层覆盖基底(201，301，401)的所述凹腔(203，303，403)，该材料层的厚度(e1)小于所述腔的所述至少三个层级(N1，N2，N3，NX)中每一个的深度；和(c)移走所述基底(201，301，401)，以释放在所述凹腔中形成的单件式微机械部件(221，321，421，523，525)。
【IPC分类】B81C99/00
【公开号】CN105705458
【申请号】CN201480061374
【发明人】P·杜博瓦, S·梅尔扎格赫, C·沙邦
【申请人】尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2014年10月6日
【公告号】WO2015067419A1
[0118]当然，本发明并不限于图示的示例，而是可以具有本领域技术人员将想到的各种变型和改变。尤其是，可以在同一基底1、41、71、101、201、301、401、甚至可以是SOI上同时制造几个可以具有或可以不具有相同设计的微机械部件21、51、81、221、321、421、523、525。
[0119]因此，不仅可在基底1、41、71、101、201、301、401上形成几个相同或不同的腔3、43、73、103、203、303、403，而且也可形成在基底1、41、71、101、201、301、401的几个面上，8卩，本方法的各种实施例的步骤都可应用于基底1、41、71、101、201、301、401的几个面。
【主权项】
1.用于制造由合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)制成的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的方法，该方法包括以下步骤: a)形成基底(201、301、401)，该基底在至少三个层级(NhN^NhNx)上包括用于待制造的单件式微机械部件的凹腔(203、303、403); 13)用合成的碳同素异形体基材料层覆盖基底(201、301、401)的凹腔(203、303、403)，该材料层的厚度(eO小于凹腔的至少三个层级(NhN^NhNx)中每一个的深度； c)移除所述基底(201、301、401)，以释放在凹腔中形成的单件式微机械部件(221、321、421、523、525); 其特征在于，步骤a)包括以下阶段: 1)形成第一晶片(202、302、402)，该第一晶片包括蚀刻贯通的至少一第一图案(205、305、405); ^)形成第二晶片(204、304、404)，该第二晶片包括蚀刻贯通的至少一第二图案(207、307、311、407); 土^)形成没有贯通图案的第三晶片(206、306、406); iv)将第一晶片、第二晶片和第三晶片结合，以形成在至少三个层级上包括凹腔的基底(201、301、401)。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在阶段ii)中，该第二晶片(304)形成为包括蚀刻贯通的第二图案(307)和与第二图案(307)连通的第三蚀刻未贯通图案(311)。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在阶段iii)中，该第三晶片(406)形成为包括蚀刻未贯通的图案(411)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，步骤b)包括以下阶段: bl)在基底的一部分上形成牺牲层(11); b2)在基底(201、301、401)上沉积用于形成成核点的颗粒(13); b3)移除牺牲层(5、11)，以选择性地使基底(201、301、401)的一部分没有任何颗粒(13)； 匕4)化学气相沉积合成的碳同素异形体基材料层(215、315、415)，使该层只在颗粒(13)保留的地方沉积。5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，步骤b)包括以下阶段: b5)在基底(201、301、401)的一部分上形成牺牲层(11); 匕6)在基底上化学气相沉积合成的碳同素异形体基材料层(215、315、415); b7)移除牺牲层(11)，以选择性地使基底(201、301、401)的一部分没有任何层(215、315、415)。6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述凹腔(203、303、403)的至少三个层级(见、他、犯、队)中的至少一个包括形成齿圈的壁。7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)呈晶态形式。8.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)呈非晶态形式。9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤b)之后，该方法包括以下步骤: d)从基底(201、301、401)上去除比在步骤b)中沉积的层的厚度大的厚度，以便使在步骤b)中沉积的层仅保留在凹腔中。10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤c)之前，该方法包括以下步骤: e)用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)的凹腔(203、303、403)，以在步骤幻之后获得由合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)形成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)。11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，在步骤e)中，第二材料形成为从凹腔突伸出，以形成单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的附加的功能层级$1、?213、?0。12.根据权利要求10或11所述的方法，其特征在于，第二材料包括金属或金属合金。13.由根据权利要求1至12中任一项所述的方法获得的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)，其特征在于，该单件式微机械部件(221、321、421、523、525)是空心的，包括由层厚度(ei)介于0.2μηι和20μηι之间的合成的碳同素异形体基材料层(215、315、415)以单件式的方式形成的多个功能层级(FhF^FhFx)，该单件式微机械部件(221、321、421、523、525)具有大于合成的碳同素异形体基材料层(215、315、415)的厚度(ei)的高度(e3)。14.根据权利要求13所述的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)，其特征在于，该单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的外表面包括至少一个齿圈。15.根据权利要求13或14所述的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)，其特征在于，单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的空心部至少部分填充有第二材料，以便获得由合成的碳同素异形体基材料(215、315、415)制成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)。16.根据权利要求15所述的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)，其特征在于，第二材料形成为从外表面的高度突伸出，以形成单件式微机械部件(221、321、421、523、525)的附加的功能层级(F1、F2、F3、Fx)。17.根据权利要求15或16所述的单件式微机械部件(21、51、81、221、321、421、523、525)，其特征在于，第二材料包括金属或金属合金。18.—种钟表，其特征在于，该钟表包括根据权利要求12至17中任一项所述的单件式微机械部件(221、321、421、523、525)。19.根据权利要求18所述的钟表，其特征在于，该单件式微机械部件(221、321、421、.523、525)形成表玻璃、表壳、推动件、表冠、表链、表带、表盘、显示元件、摆轮游丝、摆轮、擒纵叉、桥夹板、主夹板、轮副或擒纵轮中的全部或部分。
【专利摘要】本发明涉及一种用于制造由合成的碳同素异形体基材料(215，315，415)制成的单件式微机械部件(221，321，421，523，525)的方法，其特征在于，包括下述步骤：(a)形成基底(201，301，401)，该基底在至少三个层级(N1，N2，N3，NX)上包括待制造的所述微机械部件的凹腔(203，303，403)；(b)用所述合成的碳同素异形体基材料层覆盖基底(201，301，401)的所述凹腔(203，303，403)，该材料层的厚度(e1)小于所述腔的所述至少三个层级(N1，N2，N3，NX)中每一个的深度；和(c)移走所述基底(201，301，401)，以释放在所述凹腔中形成的单件式微机械部件(221，321，421，523，525)。
【IPC分类】B81C99/00
【公开号】CN105705458
【申请号】CN201480061374
【发明人】P·杜博瓦, S·梅尔扎格赫, C·沙邦
【申请人】尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2014年10月6日
【公告号】WO2015067419A1
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