沉积用于任何后续的完工操作所需要的材料量，选择性地沉积材料。这导致由去除材料的操作(破坏基底1、在沉积层15、17上的银等)所产生的废品率减少。由于缩短了沉积步骤b，减少了材料15、17的使用量以及在所提供的接触区域上没有任何机械研磨操作，因此这也降低了生产成本。
[0077]图10至12示出第二实施例。根据第二实施例的步骤a和b与第一实施例相同，并且在于在基底41中在至少两个层级NhN^Nx上形成凹腔43，该凹腔43至少部分覆盖有形成未来微机械部件的合成的碳同素异形体基材料层45、47，享有与第一实施例相同的替代变型和优点。
[0078]然而，如图10所示，在步骤c之前执行步骤e，该步骤e在于用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料45、47的腔3，以在步骤c之后获得由合成的碳同素异形体基材料形成的通过第二材料46、48得到加强和/或装饰有第二材料46、48的微机械部件。
[0079]根据图10的右侧部分所示的第一替代变型，第二材料48被直接沉积，以完全填充在步骤b中覆盖有层47的腔3的剩余部分。
[0080]根据图10的左侧部分所示的第二替代变型，执行阶段e-dPe 1W限制第二材料46在步骤e中的出现，阶段e-1在步骤e之前并且用于形成牺牲体积，阶段e 1在步骤e之后并且用于移走牺牲体积。在图10所示的示例中，较早的阶段^^允许形成棒状件44，从而在后续阶段e 1中形成没有第二材料46的孔42，如图11所示。以非限制性的方式，棒状件44可通过使用正性或负性光敏树脂的光刻形成，然后通过溶解或选择性蚀刻被移走。在一个变型中，棒状件44也可以在步骤a中产生，S卩，棒状件44将由基底41的一部分形成。
[0081]优选地，填充空心部的步骤e通过电镀或热加工实现。如果基底由诸如强掺杂硅的导电材料制成，则电镀更容易执行。第二材料优选是金属或金属合金，该金属或金属合金可以是或者可以不是非晶态的。然而，可选择地，可以改变沉积的类型和/或沉积材料的性质。同样，通过使合成的碳同素异形体基材料45、47导电，S卩，例如通过在步骤b中沉积含硼金刚石使其导电，可以促进电镀。
[0082]因此，在该第二实施例中，可以使用可选的步骤d将层45、47的厚度限制在多个层级NuN2、Nx上的凹腔43中，而且使第二材料46、48的沉积物相对于所述限制部分是平的。
[0083]因此，可能在与第一实施例类似并在图12中示出的可选的步骤d之后和在步骤c之后，获得了具有由第一材料45、47制成的多个功能层级FhF^Fx的微机械部件，该微机械部件具有与第一实施例相同的变型和优点，其中，第一材料45、47也通过第二材料46、48得到加强和/或装饰有第二材料46、48。
[0084]根据本发明的另一优点，此后可以在具有多个功能层FhF^Fx的部件上覆盖薄层，这在以前是不可能产生的，因为薄层沉积需要特殊的条件，例如压力、温度或所使用的化合物。通过非限制性的方式，且有利地根据本发明，因此可以由第二材料46、48形成具有多个功能层级FhF^Fx的主要是金属的部件，该部件覆盖有由层45、47形成的合成的碳同素异形体基材料层，而目前据申请人所知，用金刚石覆盖金属部件仍然是困难的。
[0085]同样显然，可以获得具有与第一实施例相同的复杂性的微机械部件。通过非限制性示例，图13示出可以根据第二实施例生产的微机械部件51。微机械部件51包括第一功能层级F1，该第一功能层SF1由第一基本上铁饼状的盘53形成，该盘53的中心包括与第二功能层级^连通的孔。此外，毂与该孔同轴地从第一功能层级F1延伸，该毂将多个臂55连接到轮辋56。齿圈57从轮辋的周边垂直地伸出来。最后，用第二材料54填充第一功能层级F1的除了由通孔62形成的空的空间以外的剩余部分。
[0086]另外，微机械部件51包括第二功能层级F2,该第二功能层SF2由第二基本上铁饼状的盘63形成，该盘63的中心包括用于与心轴配合工作的孔62。此外，毂64与孔62同轴地从第二功能层级F2延伸，齿圈67从该毂64的周边垂直地伸出来，该齿圈67连接第一功能层级毂。最后，用第二材料54填充第二功能层级F2的除了由通孔62形成的空的空间以外的剩余部分。
[0087]在一个变型中，部件51可以有利地包括用于部分55的加强结构。典型地，这些结构可以例如加强部分55的弯曲。各种形式的结构，例如放射状或肋状结构，可以提供增强的刚度并通过第一掩膜在基底中形成。
[0088]图H至15示出与第二实施例类似的第三实施例。相对于第一和第二实施例，步骤a至c是相同的。然而，改变了第二实施例的步骤e。
[0089]因此，在第三实施例中，在步骤a、b和可能的步骤d之后，该方法包括与第二实施例的阶段e-1类似的较早的阶段e-1，如在第二实施例中那样，阶段形成牺牲体积79，该牺牲体积79用于在层级N3上方产生没有第二材料76、78的层级，和可能地用于形成孔72的棒状件74。
[0090]如图14所示，在步骤e中，第二材料76、78形成为从所述腔伸出来，以形成微机械部件的附加功能层级。因此，在与第二实施例的阶段e 1类似的移走牺牲体积79和可能的棒状件74的后续阶段e 1和与第一及第二实施例类似的步骤c之后，如图15所示，得到了由第一材料75、77制成的微机械部件，第一材料75、77通过第二材料76、78得到加强和/或装饰有第二材料76、78，该微机械部件具有与第二实施例的第一和第二功能层级FjPFdg同的变型和优点，并且具有附加的第三层级F3，该第三层级F3只由第二材料76、78形成，该第二材料76、78从厚度e3伸出来，以形成微机械部件的附加的功能层级F3。
[0091]同样显然，可以获得具有与前两种实施例相同的复杂性的微机械部件。通过非限制性示例，图16示出可以根据第三实施例生产的微机械部件81。微机械部件81包括第一功能层级F1，该第一功能层级^由第一基本上铁饼状的盘93形成，该盘93的中心包括与心轴配合工作的孔92。此外，毂94与该孔92同轴地从第一功能层SF1延伸，连接第二功能层级F2的齿圈87从毂94的周边垂直地伸出来。最后，用第二材料84填充第一功能层级F1的除了由通孔92形成的空的空间以外的剩余部分。
[0092]微机械部件81包括第二功能层级F2,该第二功能层级^由第二基本上铁饼状的盘83形成，该盘83的中心包括与第一功能层级？!连通的孔。此外，毂与孔2同轴地从第二功能层级F2延伸，该毂将多个臂85连接至轮辋86。齿圈87从轮辋的周边垂直地伸出来。最后，用第二材料84填充第二功能层级F2的除了由通孔92形成的空的空间以外的剩余部分。
[0093]有利地，根据第三实施例，微机械部件81包括第三功能层级F3，该第三功能层级F3由基本上铁饼状的第三盘95形成，该盘95的中心包括与第二功能层级^连通的孔。除了由通孔92形成的空的空间以外，第三功能层级F3只由第二材料84制成，并且包括周边齿圈96。
[0094]通过只沉积用于最终涂层所需要的材料量而不需要修整操作，本方法的图1至16的三种实施例因此有利地大大降低了由合成的碳同素异形体基材料制成的材料15、17、45、47、75、77的成本。图1至16的三种实施例还改善了微机械部件21、51、81的外表面的粗糙度并优化了其摩擦学性能。得到的微机械部件21、51、81有利地是单件式的(S卩，没有材料的不连续)、空心的或填充的(即，由材料壳体15、17、45、47、75、77形成)以限制合成的碳同素异形体基材料的量，并且可能地填充有第二材料46、48、54、76、78、84，其体积形成能够直接包括由第二材料形成的枢轴的多个完美参考功能层级F^F^F^Fx。
[0095]然而，应理解，图1至16的三种实施例能够彼此结合和/或根据所希望的应用进行修改。
[0096]通过非限制性示例，图19至26通过结合和修改第一实施例的替代变型示出了第四和第五实施例。应理解，这些第四和第五实施例也能够与图1至16的前三种实施例结合。
[0097]根据本发明的第四和第五实施例都使用了对图17和18所示的步骤a的第二替代变型的修改。在第四和第五实施例中，在至少三个层级N1、N2、NX上包括腔的基底由三个晶片形成。因此，图19至22所示的第四实施例使用蚀刻有具体图案的两个晶片，该图案形成一个或多个相关层级N1、N2、NX。
[0077]图10至12示出第二实施例。根据第二实施例的步骤a和b与第一实施例相同，并且在于在基底41中在至少两个层级NhN^Nx上形成凹腔43，该凹腔43至少部分覆盖有形成未来微机械部件的合成的碳同素异形体基材料层45、47，享有与第一实施例相同的替代变型和优点。
[0078]然而，如图10所示，在步骤c之前执行步骤e，该步骤e在于用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料45、47的腔3，以在步骤c之后获得由合成的碳同素异形体基材料形成的通过第二材料46、48得到加强和/或装饰有第二材料46、48的微机械部件。
[0079]根据图10的右侧部分所示的第一替代变型，第二材料48被直接沉积，以完全填充在步骤b中覆盖有层47的腔3的剩余部分。
[0080]根据图10的左侧部分所示的第二替代变型，执行阶段e-dPe 1W限制第二材料46在步骤e中的出现，阶段e-1在步骤e之前并且用于形成牺牲体积，阶段e 1在步骤e之后并且用于移走牺牲体积。在图10所示的示例中，较早的阶段^^允许形成棒状件44，从而在后续阶段e 1中形成没有第二材料46的孔42，如图11所示。以非限制性的方式，棒状件44可通过使用正性或负性光敏树脂的光刻形成，然后通过溶解或选择性蚀刻被移走。在一个变型中，棒状件44也可以在步骤a中产生，S卩，棒状件44将由基底41的一部分形成。
[0081]优选地，填充空心部的步骤e通过电镀或热加工实现。如果基底由诸如强掺杂硅的导电材料制成，则电镀更容易执行。第二材料优选是金属或金属合金，该金属或金属合金可以是或者可以不是非晶态的。然而，可选择地，可以改变沉积的类型和/或沉积材料的性质。同样，通过使合成的碳同素异形体基材料45、47导电，S卩，例如通过在步骤b中沉积含硼金刚石使其导电，可以促进电镀。
[0082]因此，在该第二实施例中，可以使用可选的步骤d将层45、47的厚度限制在多个层级NuN2、Nx上的凹腔43中，而且使第二材料46、48的沉积物相对于所述限制部分是平的。
[0083]因此，可能在与第一实施例类似并在图12中示出的可选的步骤d之后和在步骤c之后，获得了具有由第一材料45、47制成的多个功能层级FhF^Fx的微机械部件，该微机械部件具有与第一实施例相同的变型和优点，其中，第一材料45、47也通过第二材料46、48得到加强和/或装饰有第二材料46、48。
[0084]根据本发明的另一优点，此后可以在具有多个功能层FhF^Fx的部件上覆盖薄层，这在以前是不可能产生的，因为薄层沉积需要特殊的条件，例如压力、温度或所使用的化合物。通过非限制性的方式，且有利地根据本发明，因此可以由第二材料46、48形成具有多个功能层级FhF^Fx的主要是金属的部件，该部件覆盖有由层45、47形成的合成的碳同素异形体基材料层，而目前据申请人所知，用金刚石覆盖金属部件仍然是困难的。
[0085]同样显然，可以获得具有与第一实施例相同的复杂性的微机械部件。通过非限制性示例，图13示出可以根据第二实施例生产的微机械部件51。微机械部件51包括第一功能层级F1，该第一功能层SF1由第一基本上铁饼状的盘53形成，该盘53的中心包括与第二功能层级^连通的孔。此外，毂与该孔同轴地从第一功能层级F1延伸，该毂将多个臂55连接到轮辋56。齿圈57从轮辋的周边垂直地伸出来。最后，用第二材料54填充第一功能层级F1的除了由通孔62形成的空的空间以外的剩余部分。
[0086]另外，微机械部件51包括第二功能层级F2,该第二功能层SF2由第二基本上铁饼状的盘63形成，该盘63的中心包括用于与心轴配合工作的孔62。此外，毂64与孔62同轴地从第二功能层级F2延伸，齿圈67从该毂64的周边垂直地伸出来，该齿圈67连接第一功能层级毂。最后，用第二材料54填充第二功能层级F2的除了由通孔62形成的空的空间以外的剩余部分。
[0087]在一个变型中，部件51可以有利地包括用于部分55的加强结构。典型地，这些结构可以例如加强部分55的弯曲。各种形式的结构，例如放射状或肋状结构，可以提供增强的刚度并通过第一掩膜在基底中形成。
[0088]图H至15示出与第二实施例类似的第三实施例。相对于第一和第二实施例，步骤a至c是相同的。然而，改变了第二实施例的步骤e。
[0089]因此，在第三实施例中，在步骤a、b和可能的步骤d之后，该方法包括与第二实施例的阶段e-1类似的较早的阶段e-1，如在第二实施例中那样，阶段形成牺牲体积79，该牺牲体积79用于在层级N3上方产生没有第二材料76、78的层级，和可能地用于形成孔72的棒状件74。
[0090]如图14所示，在步骤e中，第二材料76、78形成为从所述腔伸出来，以形成微机械部件的附加功能层级。因此，在与第二实施例的阶段e 1类似的移走牺牲体积79和可能的棒状件74的后续阶段e 1和与第一及第二实施例类似的步骤c之后，如图15所示，得到了由第一材料75、77制成的微机械部件，第一材料75、77通过第二材料76、78得到加强和/或装饰有第二材料76、78，该微机械部件具有与第二实施例的第一和第二功能层级FjPFdg同的变型和优点，并且具有附加的第三层级F3，该第三层级F3只由第二材料76、78形成，该第二材料76、78从厚度e3伸出来，以形成微机械部件的附加的功能层级F3。
[0091]同样显然，可以获得具有与前两种实施例相同的复杂性的微机械部件。通过非限制性示例，图16示出可以根据第三实施例生产的微机械部件81。微机械部件81包括第一功能层级F1，该第一功能层级^由第一基本上铁饼状的盘93形成，该盘93的中心包括与心轴配合工作的孔92。此外，毂94与该孔92同轴地从第一功能层SF1延伸，连接第二功能层级F2的齿圈87从毂94的周边垂直地伸出来。最后，用第二材料84填充第一功能层级F1的除了由通孔92形成的空的空间以外的剩余部分。
[0092]微机械部件81包括第二功能层级F2,该第二功能层级^由第二基本上铁饼状的盘83形成，该盘83的中心包括与第一功能层级？!连通的孔。此外，毂与孔2同轴地从第二功能层级F2延伸，该毂将多个臂85连接至轮辋86。齿圈87从轮辋的周边垂直地伸出来。最后，用第二材料84填充第二功能层级F2的除了由通孔92形成的空的空间以外的剩余部分。
[0093]有利地，根据第三实施例，微机械部件81包括第三功能层级F3，该第三功能层级F3由基本上铁饼状的第三盘95形成，该盘95的中心包括与第二功能层级^连通的孔。除了由通孔92形成的空的空间以外，第三功能层级F3只由第二材料84制成，并且包括周边齿圈96。
[0094]通过只沉积用于最终涂层所需要的材料量而不需要修整操作，本方法的图1至16的三种实施例因此有利地大大降低了由合成的碳同素异形体基材料制成的材料15、17、45、47、75、77的成本。图1至16的三种实施例还改善了微机械部件21、51、81的外表面的粗糙度并优化了其摩擦学性能。得到的微机械部件21、51、81有利地是单件式的(S卩，没有材料的不连续)、空心的或填充的(即，由材料壳体15、17、45、47、75、77形成)以限制合成的碳同素异形体基材料的量，并且可能地填充有第二材料46、48、54、76、78、84，其体积形成能够直接包括由第二材料形成的枢轴的多个完美参考功能层级F^F^F^Fx。
[0095]然而，应理解，图1至16的三种实施例能够彼此结合和/或根据所希望的应用进行修改。
[0096]通过非限制性示例，图19至26通过结合和修改第一实施例的替代变型示出了第四和第五实施例。应理解，这些第四和第五实施例也能够与图1至16的前三种实施例结合。
[0097]根据本发明的第四和第五实施例都使用了对图17和18所示的步骤a的第二替代变型的修改。在第四和第五实施例中，在至少三个层级N1、N2、NX上包括腔的基底由三个晶片形成。因此，图19至22所示的第四实施例使用蚀刻有具体图案的两个晶片，该图案形成一个或多个相关层级N1、N2、NX。
再多了解一些
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