>[0098]根据一个上述变型，也可以通过SOI代替其中一个晶片，从而腔的底部由二氧化硅层形成。
[0099]根据图19和20的左侧所示的第四实施例的步骤a的第一替代变型，两个晶片被蚀刻成对于相关的层级N1、N2所希望的图案，第三晶片206保持未蚀刻，S卩，没有贯通的图案。因此，在步骤a的第一替代变型中，第一阶段alO用于形成包括蚀刻贯通的第一图案205的第一晶片202，第二阶段all用于形成包括蚀刻贯通的第二图案207的第二晶片204，第三阶段al2用于形成没有蚀刻图案的第三晶片206。在最后阶段al3中，第四实施例的第一替代变型的步骤a在通过熔融粘结形成的层208、210的帮助下，通过粘结晶片202、204、206完成，以形成在至少三个层级见、他上包括凹腔203的基底201，该层级见、他分别由第一图案205和第二图案207形成。
[0100]在步骤a之后，第四实施例的第一替代变型继续进行步骤b，其中用合成的碳同素异形体基材料层215覆盖基底201的凹腔203，该层215的厚度的比所述腔203的所述至少三个层级N^N2中每一个的深度小。
[0101]本发明的方法的第四实施例的第一替代变型还可以包括可选的第三步骤d或与阶段bl、b5和b3、b7类似的阶段，以将层215限制在腔203中。同样，在步骤c之前可以执行另一可选的步骤e，该步骤e在于用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料215的腔203，以在步骤c之后获得由合成的碳同素异形体基材料215制成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的微机械部件，如在上述第二和第三实施例中那样。
[0102]在第四实施例的第一替代变型的最后步骤c中，该方法在于移走基底201，以释放至少部分在腔203中形成的具有多个功能层级F^F2的微机械部件，该微机械部件具有与前三种实施例相同的变型和优点。
[0103]在图22的左侧所示的第一替代变型中，获得了只由层215形成的微机械部件，其几何结构与腔203至少部分匹配。有利地，外表面一一即，直接与基底201接触的表面一一具有非常低的粗糙度，即，可与基底201的粗糙度相当，并且该外表面优选用作机械接触表面。
[0104]在图22左侧所示的示例中，可考虑形成手表镶花221，即，显示元件的一部分。因此获得了微机械部件221，该微机械部件221包括由用于与钟表表盘配合工作的脚部227形成的第一功能层级^，和由形成嵌花221的可见部分的空心主体223形成的第二功能层级F2。图22因此示出了主体223和脚部227的厚度由在该方法的步骤b中沉积的层215的厚度ei形成。
[0105]根据图19和20的右侧所示的第四实施例的步骤a的第二替代变型，两个晶片302、304被蚀刻成一个或多个层级NlN^N3所需要的具体图案，第三晶片306保持未蚀刻，S卩，没有贯通的图案。因此，在步骤a的第二替代变型中，第一阶段al4用于形成包括蚀刻贯通的第一图案305的第一晶片302，第二阶段al5用于形成包括蚀刻贯通的第二图案307的第二晶片304，第三蚀刻的未贯通图案311与第二图案307连通。步骤a还包括第三阶段al6，该第三阶段al6在于形成没有蚀刻图案的第三晶片306。在最后阶段al7中，第四实施例的第二替代方案的步骤a在通过熔融粘结形成的层308、310的帮助下，通过粘结晶片302、304、306完成，以形成在至少三个层级N1、N2、N3上包括凹腔303的基底301，该层级N1、N2、N3分别由图案305、311、307 形成。
[0106]在步骤a之后，第四实施例的第二替代变型继续进行步骤b，其中用合成的碳同素异形体基材料层315覆盖基底301的凹腔303，该层315的厚度的比所述腔303的所述三个层级N1、N2、N3中每一个的深度小。
[0107]本发明的方法的第四实施例的第二替代变型还可以包括可选的第三步骤d或与阶段bl、b5和b3、b7类似的阶段，以将层315限制在腔303中。同样，在步骤c之前可以执行另一可选的步骤e，该步骤e在于用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料315的腔303，以在步骤c之后获得由合成的碳同素异形体基材料315制成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的微机械部件，如在上述第二和第三实施例中那样。
[0108]在第四实施例的第二替代变型的最后步骤c中，该方法在于移走基底301，以释放至少部分地在腔303中形成的具有多个功能层级FlF^F3的微机械部件，该微机械部件具有与前三种实施例相同的变型和优点。
[0109]在图22的右侧所示的第二替代变型中，获得了只由层315形成的微机械部件，其几何结构与腔303至少部分地匹配。有利地，外表面一一即，直接与基底301接触的表面一一具有非常低的粗糙度，即，可与基底301的粗糙度相当，并且该外表面优选用作机械接触表面。
[0110]在图22右侧所示的示例中，可考虑形成手表表盘321。因此获得了包括第一功能层级^的微机械部件321，该第一功能层级^由用于与钟表主夹板配合工作的脚部327形成。微机械部件321还包括由空心主体323形成的第二功能层级内并且包括第三功能层级F3,该空心主体323形成表盘的大部分可见部件，该第三功能层级F3形成主体325的至少一个突起，该主体325能够作为单件式嵌花325。图22因此示出主体323、突起325和脚部327的厚度由在该方法的步骤b中沉积的层315的厚度ei形成。
[0111]在图23和24所示的第五实施例的步骤a中，三个晶片402、404、406被蚀刻成对于相关的层级NlN^N3所希望的图案。因此，在步骤a中，第一阶段al8用于形成包括蚀刻贯通的第一图案405的第一晶片402，第二阶段al9用于形成包括蚀刻贯通的第二图案407的第二晶片404，第三阶段a20在于形成包括蚀刻的未贯通的图案411一一即，没有贯通的图案一一的第三晶片406。在最后阶段a21中，第五实施例的步骤a在通过熔融粘结形成的层408、410的帮助下，通过粘结晶片402、404、406完成，以形成在三个层级N1、N2、N3上包括凹腔403的基底401，该层级N1、N2、N3分别由图案405、407和411形成。
[0112]在步骤a之后，第五实施例继续进行步骤b，其中用合成的碳同素异形体基材料层415覆盖基底401的凹腔403，该层415的厚度的比所述腔403的所述三个层级N1、N2、N3中每一个的深度小。
[0113]本发明的方法的第五实施例还可以包括可选的第三步骤d或与阶段bl、b5和b3、b7类似的阶段，以将层415限制在腔403中。同样，在步骤c之前可以执行另一可选的步骤e，该步骤e在于用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料415的腔403，以在步骤c之后获得由合成的碳同素异形体基材料415制成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的微机械部件，如在上述第二和第三实施例中那样。
[0114]在第五实施例的最后步骤c中，该方法在于移走基底401，以释放至少部分地在腔403中形成的具有多个功能层级F1、F2、F3的微机械部件，该微机械部件具有与前三种实施例相同的变型和优点。
[0115]在图26所示的示例中，获得了只由层415形成的微机械部件，其几何结构与腔403至少部分地匹配。有利地，外表面一一即，直接与基底401接触的表面一一具有非常低的粗糙度，即，可与基底401的粗糙度相当，并且该外表面优选用作机械接触表面。
[0116]在图26所示的示例中，可考虑形成钟表轮副421。因此获得了包括第一功能层SF1的微机械部件421，该第一功能层SF1由枢轴427构成，该枢轴427用于与第一钟表轴承/支承件配合工作。微机械部件421还包括第二功能层级FdP第三功能层级F3,该第二功能层级F2由空心裙体425形成，该空心裙体425形成带有齿圈的轮，该第三功能层级F3由第二枢轴423形成，该枢轴423用于与第二钟表轴承/支承件配合工作。图26因此示出了枢轴423、427和轮425的厚度由在该方法的步骤b中沉积的层415的厚度ei形成。
[0117]因此，应理解，该方法使得可以形成包括没有高度限制的多个功能层级FhF^F3的微机械部件。通过图27所示的非限制性示例，因此可以形成完全由金刚石制成的瑞士杠杆式擒纵系统521。因此应注意，空心的单件式擒纵叉523(即，擒纵叉瓦、擒纵叉轴、擒纵杆、擒
[0099]根据图19和20的左侧所示的第四实施例的步骤a的第一替代变型，两个晶片被蚀刻成对于相关的层级N1、N2所希望的图案，第三晶片206保持未蚀刻，S卩，没有贯通的图案。因此，在步骤a的第一替代变型中，第一阶段alO用于形成包括蚀刻贯通的第一图案205的第一晶片202，第二阶段all用于形成包括蚀刻贯通的第二图案207的第二晶片204，第三阶段al2用于形成没有蚀刻图案的第三晶片206。在最后阶段al3中，第四实施例的第一替代变型的步骤a在通过熔融粘结形成的层208、210的帮助下，通过粘结晶片202、204、206完成，以形成在至少三个层级见、他上包括凹腔203的基底201，该层级见、他分别由第一图案205和第二图案207形成。
[0100]在步骤a之后，第四实施例的第一替代变型继续进行步骤b，其中用合成的碳同素异形体基材料层215覆盖基底201的凹腔203，该层215的厚度的比所述腔203的所述至少三个层级N^N2中每一个的深度小。
[0101]本发明的方法的第四实施例的第一替代变型还可以包括可选的第三步骤d或与阶段bl、b5和b3、b7类似的阶段，以将层215限制在腔203中。同样，在步骤c之前可以执行另一可选的步骤e，该步骤e在于用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料215的腔203，以在步骤c之后获得由合成的碳同素异形体基材料215制成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的微机械部件，如在上述第二和第三实施例中那样。
[0102]在第四实施例的第一替代变型的最后步骤c中，该方法在于移走基底201，以释放至少部分在腔203中形成的具有多个功能层级F^F2的微机械部件，该微机械部件具有与前三种实施例相同的变型和优点。
[0103]在图22的左侧所示的第一替代变型中，获得了只由层215形成的微机械部件，其几何结构与腔203至少部分匹配。有利地，外表面一一即，直接与基底201接触的表面一一具有非常低的粗糙度，即，可与基底201的粗糙度相当，并且该外表面优选用作机械接触表面。
[0104]在图22左侧所示的示例中，可考虑形成手表镶花221，即，显示元件的一部分。因此获得了微机械部件221，该微机械部件221包括由用于与钟表表盘配合工作的脚部227形成的第一功能层级^，和由形成嵌花221的可见部分的空心主体223形成的第二功能层级F2。图22因此示出了主体223和脚部227的厚度由在该方法的步骤b中沉积的层215的厚度ei形成。
[0105]根据图19和20的右侧所示的第四实施例的步骤a的第二替代变型，两个晶片302、304被蚀刻成一个或多个层级NlN^N3所需要的具体图案，第三晶片306保持未蚀刻，S卩，没有贯通的图案。因此，在步骤a的第二替代变型中，第一阶段al4用于形成包括蚀刻贯通的第一图案305的第一晶片302，第二阶段al5用于形成包括蚀刻贯通的第二图案307的第二晶片304，第三蚀刻的未贯通图案311与第二图案307连通。步骤a还包括第三阶段al6，该第三阶段al6在于形成没有蚀刻图案的第三晶片306。在最后阶段al7中，第四实施例的第二替代方案的步骤a在通过熔融粘结形成的层308、310的帮助下，通过粘结晶片302、304、306完成，以形成在至少三个层级N1、N2、N3上包括凹腔303的基底301，该层级N1、N2、N3分别由图案305、311、307 形成。
[0106]在步骤a之后，第四实施例的第二替代变型继续进行步骤b，其中用合成的碳同素异形体基材料层315覆盖基底301的凹腔303，该层315的厚度的比所述腔303的所述三个层级N1、N2、N3中每一个的深度小。
[0107]本发明的方法的第四实施例的第二替代变型还可以包括可选的第三步骤d或与阶段bl、b5和b3、b7类似的阶段，以将层315限制在腔303中。同样，在步骤c之前可以执行另一可选的步骤e，该步骤e在于用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料315的腔303，以在步骤c之后获得由合成的碳同素异形体基材料315制成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的微机械部件，如在上述第二和第三实施例中那样。
[0108]在第四实施例的第二替代变型的最后步骤c中，该方法在于移走基底301，以释放至少部分地在腔303中形成的具有多个功能层级FlF^F3的微机械部件，该微机械部件具有与前三种实施例相同的变型和优点。
[0109]在图22的右侧所示的第二替代变型中，获得了只由层315形成的微机械部件，其几何结构与腔303至少部分地匹配。有利地，外表面一一即，直接与基底301接触的表面一一具有非常低的粗糙度，即，可与基底301的粗糙度相当，并且该外表面优选用作机械接触表面。
[0110]在图22右侧所示的示例中，可考虑形成手表表盘321。因此获得了包括第一功能层级^的微机械部件321，该第一功能层级^由用于与钟表主夹板配合工作的脚部327形成。微机械部件321还包括由空心主体323形成的第二功能层级内并且包括第三功能层级F3,该空心主体323形成表盘的大部分可见部件，该第三功能层级F3形成主体325的至少一个突起，该主体325能够作为单件式嵌花325。图22因此示出主体323、突起325和脚部327的厚度由在该方法的步骤b中沉积的层315的厚度ei形成。
[0111]在图23和24所示的第五实施例的步骤a中，三个晶片402、404、406被蚀刻成对于相关的层级NlN^N3所希望的图案。因此，在步骤a中，第一阶段al8用于形成包括蚀刻贯通的第一图案405的第一晶片402，第二阶段al9用于形成包括蚀刻贯通的第二图案407的第二晶片404，第三阶段a20在于形成包括蚀刻的未贯通的图案411一一即，没有贯通的图案一一的第三晶片406。在最后阶段a21中，第五实施例的步骤a在通过熔融粘结形成的层408、410的帮助下，通过粘结晶片402、404、406完成，以形成在三个层级N1、N2、N3上包括凹腔403的基底401，该层级N1、N2、N3分别由图案405、407和411形成。
[0112]在步骤a之后，第五实施例继续进行步骤b，其中用合成的碳同素异形体基材料层415覆盖基底401的凹腔403，该层415的厚度的比所述腔403的所述三个层级N1、N2、N3中每一个的深度小。
[0113]本发明的方法的第五实施例还可以包括可选的第三步骤d或与阶段bl、b5和b3、b7类似的阶段，以将层415限制在腔403中。同样，在步骤c之前可以执行另一可选的步骤e，该步骤e在于用第二材料填充覆盖有合成的碳同素异形体基材料415的腔403，以在步骤c之后获得由合成的碳同素异形体基材料415制成的通过第二材料得到加强和/或装饰有第二材料的微机械部件，如在上述第二和第三实施例中那样。
[0114]在第五实施例的最后步骤c中，该方法在于移走基底401，以释放至少部分地在腔403中形成的具有多个功能层级F1、F2、F3的微机械部件，该微机械部件具有与前三种实施例相同的变型和优点。
[0115]在图26所示的示例中，获得了只由层415形成的微机械部件，其几何结构与腔403至少部分地匹配。有利地，外表面一一即，直接与基底401接触的表面一一具有非常低的粗糙度，即，可与基底401的粗糙度相当，并且该外表面优选用作机械接触表面。
[0116]在图26所示的示例中，可考虑形成钟表轮副421。因此获得了包括第一功能层SF1的微机械部件421，该第一功能层SF1由枢轴427构成，该枢轴427用于与第一钟表轴承/支承件配合工作。微机械部件421还包括第二功能层级FdP第三功能层级F3,该第二功能层级F2由空心裙体425形成，该空心裙体425形成带有齿圈的轮，该第三功能层级F3由第二枢轴423形成，该枢轴423用于与第二钟表轴承/支承件配合工作。图26因此示出了枢轴423、427和轮425的厚度由在该方法的步骤b中沉积的层415的厚度ei形成。
[0117]因此，应理解，该方法使得可以形成包括没有高度限制的多个功能层级FhF^F3的微机械部件。通过图27所示的非限制性示例，因此可以形成完全由金刚石制成的瑞士杠杆式擒纵系统521。因此应注意，空心的单件式擒纵叉523(即，擒纵叉瓦、擒纵叉轴、擒纵杆、擒
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