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一种用于坩埚的清理装置的制作方法

2021-10-16 10:32:00 来源:中国专利 TAG:装置 清理 坩埚 用于

技术特征:
1.一种用于坩埚的清理装置,其特征在于,包括:定位部件,所述定位部件用于放置坩埚;至少一个清灰组件,所述清灰组件包括吸尘头,所述吸尘头位于定位部件上方;所述吸尘头与坩埚发生周向相对位移,以对坩埚周壁进行清理;移动装置,所述移动装置与吸尘头连接,所述移动装置用于控制吸尘头在水平方向和竖直方向上移动。2.根据权利要求1所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,所述清灰组件还包括吸尘箱,所述吸尘头通过连接管与吸尘箱连接,所述吸尘头上开设有进风口。3.根据权利要求2所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,所述吸尘头设有毛刷,所述毛刷与所述进风口错开设置。4.根据权利要求2所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,所述连接管一端与所述吸尘头螺纹连接、卡扣连接或插接,另一端与所述吸尘箱胶粘连接、插接或卡扣连接。5.根据权利要求1所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,所述移动装置包括伸缩部件、底座和导轨,所述伸缩部件一端与所述吸尘头连接,另一端与所述导轨连接,所述导轨与底座连接;所述伸缩部件用于控制所述吸尘头在水平方向上移动,所述导轨用于控制所述吸尘头在竖直方向上移动;或所述移动装置包括挠性杆和底座,所述挠性杆一端连接所述吸尘头,另一端连接所述底座;所述挠性杆受力后能弯曲定型,用于控制所述吸尘头在水平方向和竖直方向上移动。6.根据权利要求5所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,所述伸缩部件包括伸缩杆、第一动力装置和第一控制装置;所述第一动力装置驱动所述伸缩杆伸缩,所述第一动力装置一端与所述伸缩杆连接,另一端与所述导轨连接;所述第一控制装置控制所述第一动力装置驱动所述伸缩杆伸缩;所述第一动力装置与所述导轨滑块连接或滑轮连接。7.根据权利要求1所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,所述吸尘头包括两个对称设置的向下延伸的中空腔体结构,两个所述中空腔体结构之间形成空腔,以套接坩埚的侧壁;所述中空腔体结构的内壁开设有进风口。8.根据权利要求1

7中任一项所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,所述定位部件包括可拆卸连接的吸盘和吸力装置,所述定位部件与所述吸盘连接,所述吸盘与所述吸力装置螺纹连接、卡扣连接或插接。9.根据权利要求8所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,还包括:第二动力装置,所述第二动力装置驱动所述定位部件旋转,所述第二动力装置与所述定位部件底部连接;第二控制装置,控制所述第二动力装置驱动所述定位部件旋转,所述坩埚随所述定位部件旋转,以使所述吸尘头清理所述坩埚周壁上的灰尘。10.根据权利要求8所述的用于坩埚的清理装置,其特征在于,包括两个清灰组件,所述两个清灰组件对称设置在所述坩埚的两端。

技术总结
本申请公开了一种用于坩埚的清理装置,包括:定位部件,所述定位部件用于放置坩埚;至少一个清灰组件,所述清灰组件包括吸尘头,所述吸尘头位于定位部件上方;所述吸尘头与坩埚发生周向相对位移,以对坩埚周壁进行清理;移动装置,所述移动装置与吸尘头连接,所述移动装置用于控制吸尘头在水平方向和竖直方向上移动。通过设置定位部件,固定坩埚的位置,避免坩埚在清理过程中移动发生磕碰;设置吸尘头与坩埚发生周向相对位移,以清理坩埚周壁的灰尘;设置移动装置,以控制吸尘头水平方向和竖直方向的移动,实现坩埚不同位置的清理;该清理装置在减少坩埚移动的情况下,实现对坩埚的清洁处理,有效降低了对坩埚的磨损破坏,提高了坩埚清洁效果。埚清洁效果。埚清洁效果。


技术研发人员:张超 李磊磊 国营 史建伟
受保护的技术使用者:山东天岳先进科技股份有限公司
技术研发日:2020.12.14
技术公布日:2021/10/15
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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