一种晶圆片盒清洗结构的制作方法

1.本实用新型属于晶圆片盒清洗技术领域，具体涉及一种晶圆片盒清洗结构。


背景技术：

2.随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的片盒的洁净度的要求也随之提高，传统的晶圆片盒清洗设备已经无法满足洁净度的要求
3.公布号为cn208853419公开了一种清洗机构，具体的说是一种晶圆片盒清洗机构，属于晶圆片盒清洗结构技术领域。其包括底板、旋转台、罩盖、喷头和晶圆片盒，底板中心设有旋转台，旋转台上固定多层晶圆片盒组，多层晶圆片盒组沿着旋转台从上到下依次设置，每层晶圆片盒组包括多个晶圆片盒；罩盖下端固定在底板上并将旋转台包覆在内，罩盖内侧壁设有多层喷头组，多层喷头组沿着罩盖从上到下依次设置，每层喷头组包括多个喷头。本实用新型纯水喷淋晶圆片盒的同时，旋转台带动晶圆片盒转动甩出水珠，能够有效提升片盒清洗的洁净度；热风机同时烘干晶圆片盒，保证片盒表面不会再残留水渍。
4.现有技术存在的问题是：晶圆片盒的缝隙不能够清洗干净而导致清洗效果欠佳，同时，热风机距离晶圆片盒的距离较远而导致烘干效果不佳。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种晶圆片盒清洗结构，结构简单，操作方便。
6.本实用新型提供了如下的技术方案：一种晶圆片盒清洗结构，包括框体和固定座，所述固定座固定在框体内部一侧壁中部，所述框体内部两侧壁的上下端部均连接有固定件且相互对应的固定件之间连接有丝杆，所述固定座与转动座活动连接，所述转动座与转轴固定连接，所述转轴的上下端连接有连接板，所述连接板上设有凹槽，所述凹槽内转动连接有第一转动块，所述第一转动块上固定连接有放置件；所述丝杆上套设有第一移动块和第二移动块，所述第一移动块与第一气缸连接，所述第一气缸的伸出杆端部连接有热风机，所述第二移动块与第二气缸连接，所述第二气缸的伸出杆端部连接有连接框，所述；连接框内部连接有电机，所述连接框与第二转动块连接，所述第二转动块与毛刷连接。
7.优选的，所述毛刷的端部设有多排刷头，所述刷头的排数与晶圆片盒狭缝的数量匹配，所述刷头与电机连接。
8.优选的，所述第一移动块和第二移动块相对于凹槽对称。
9.本实用新型的有益效果为：能够将晶圆片盒的缝隙清洗干净，同时能够实现良好的烘干效果，提高晶圆片盒的清洗效率。
附图说明
10.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
11.图1是本实用新型结构示意图。
12.图中：1框体、2丝杆、3固定件、4固定座、5转动座、6转轴、7连接板、8凹槽、9第一转动块、10放置件、11第一移动块、12第一气缸、13热风机、21第二移动块、22第二气缸、24电机、25连接框、26第二转动块、27毛刷、28刷头。
具体实施方式
13.下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有创造性成果的前提下获得的其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
14.如图所示，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆片盒清洗结构，包括框体1和固定座4，所述固定座4固定在框体1内部一侧壁中部，所述框体1内部两侧壁的上下端部均连接有固定件3且相互对应的固定件3之间连接有丝杆2，所述固定座4与转动座5活动连接，所述转动座5与转轴6固定连接，所述转轴6的上下端连接有连接板7，所述连接板7上设有凹槽8，所述凹槽8内转动连接有第一转动块9，所述第一转动块9上固定连接有放置件10；所述丝杆2上套设有第一移动块11和第二移动块21，所述第一移动块11和第二移动块21相对于凹槽8对称，所述第一移动块11与第一气缸12连接，所述第一气缸12的伸出杆端部连接有热风机13，所述第二移动块21与第二气缸22连接，所述第二气缸22的伸出杆端部连接有连接框25，所述；连接框25内部连接有电机24，所述连接框25与第二转动块26连接，所述第二转动块26与毛刷27连接，所述毛刷27的端部设有多排刷头28，所述刷头28的排数与晶圆片盒狭缝的数量匹配，能够更好地对晶圆片盒的狭缝进行清理。
15.本实用新型工作时：转动第一转动块9带动放置件10转动，便于将晶圆片盒放置在放置件10上，然后开启外置电机驱动丝杆2带动第二移动块21到达晶圆片盒的上方，第二气缸22带动毛刷27向下移动，同时开启电机24驱动第二转动块转动带动毛刷27的刷头28转动，实现对晶圆片盒的狭缝的清理。清理完成后，反向转动外置电机驱动丝杆2带动第一移动块11到达晶圆片盒上方，第一气缸22带动热风机23靠近晶圆片盒，开启热风机23，对晶圆片盒进行烘干，烘干完成后，关闭热风机。转动第一转动块9带动放置件10转动，将清理完成后的晶圆片盒取下。
16.虽然本实用新型已按照上述具体实施方式做了描述，但是本实用新型的发明思想并不限于此实用新型，任何运用本实用新型思想的改进，都将纳入本专利专利权利的保护范围内。


技术特征：
1.一种晶圆片盒清洗结构，包括框体(1)和固定座(4)，其特征在于：所述固定座(4)固定在框体(1)内部一侧壁中部，所述框体(1)内部两侧壁的上下端部均连接有固定件(3)且相互对应的固定件(3)之间连接有丝杆(2)，所述固定座(4)与转动座(5)活动连接，所述转动座(5)与转轴(6)固定连接，所述转轴(6)的上下端连接有连接板(7)，所述连接板(7)上设有凹槽(8)，所述凹槽(8)内转动连接有第一转动块(9)，所述第一转动块(9)上固定连接有放置件(10)；所述丝杆(2)上套设有第一移动块(11)和第二移动块(21)，所述第一移动块(11)与第一气缸(12)连接，所述第一气缸(12)的伸出杆端部连接有热风机(13)，所述第二移动块(21)与第二气缸(22)连接，所述第二气缸(22)的伸出杆端部连接有连接框(25)，所述；连接框(25)内部连接有电机(24)，所述连接框(25)与第二转动块(26)连接，所述第二转动块(26)与毛刷(27)连接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片盒清洗结构，其特征在于：所述毛刷(27)的端部设有多排刷头(28)，所述刷头(28)的排数与晶圆片盒狭缝的数量匹配，所述刷头(28)与电机(24)连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆片盒清洗结构，其特征在于：所述第一移动块(11)和第二移动块(21)相对于凹槽(8)对称。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆片盒清洗结构，包括框体和固定座，所述固定座固定在框体内部一侧壁中部，所述框体内部两侧壁的上下端部均连接有固定件且相互对应的固定件之间连接有丝杆，所述固定座与转动座活动连接，所述转动座与转轴固定连接，所述转轴的上下端连接有连接板，所述连接板上设有凹槽，所述凹槽内转动连接有第一转动块，所述第一转动块上固定连接有放置件，所述丝杆上套设有第一移动块和第二移动块。本实用新型结构简单、操作方便、降低劳动强度、提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。


技术研发人员：陈康 刘四化 王宜 张啟涛
受保护的技术使用者：无锡瑞达半导体专用设备有限公司
技术研发日：2021.01.21
技术公布日：2021/10/15