自动真空管道清洗机的制作方法

1.本发明涉及真空管道清理技术领域，尤其涉及一种用于自动清理的真空管道清洗机。


背景技术：

2.芯片制程真空管道系统是由真空泵、芯片雕刻机、plc过程控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、气体洗涤塔成等组成的成套真空系统。芯片制程时须添加各类所需化学气体，制程后段产生的有害尾气，借由该真空系统抽取至气体洗涤塔进行管理与处理废气。
3.真空管路所输送的酸气、硷气等物质,容易与管路表面层的微量元素如钙、镁、硅、铝、界面活性剂及有机物形成螯合，并持续附着于管路表面，产生碳酸系盐类结晶及有机化盐类金属等物质，使管道结垢、堵塞管道，造成压力不足，故须定期拆除保养。
4.真空管道现有安装技术为分段采卡箍，辅以高密度特氟隆垫片结合管道。现在的清洁方式为人工分段拆除清洁后组装还原，这种方式的工作效率低，更增加人为安装疏失导致有害气体外泄之风险。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种自动真空管道清洗机，以解决上述背景技术中遇到的问题。
6.为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
7.一种自动真空管道清洗机，包括机箱、钢索和刷头，所述机箱的外侧安装有控制屏，所述机箱的内部安装有夹紧装置，所述夹紧装置用于夹紧疏通真空管道内污垢的钢索，所述夹紧装置的一侧设有推动所述夹紧装置夹紧钢索的第一推送装置，所述钢索的端部伸出所述机箱与刷头固定连接，所述机箱的内部通过安装板固定有驱动所述夹紧装置转动的电机，所述机箱的内腔底部设有驱动所述夹紧装置和第一推送装置来回运动的第二推送装置。
8.上述方案中，所述安装板在机箱内竖直设置，所述夹紧装置安装在安装板上，所述夹紧装置包括连接板、转盘和定位盘，所述定位盘安装在安装板上，所述定位盘与电机传动连接，所述连接板与第一推送装置传动连接，所述转盘通过轴承座与连接板转动连接，所述转盘远离所述连接板的一侧铰接有夹持块，所述夹持块的夹爪通过第一推送装置的推送运动伸入所述定位盘的夹持部将钢索夹紧。
9.上述方案中，所述定位盘的内部转动连接有驱动块，所述驱动块的两侧开设有夹持部，夹持部内部通过压缩弹簧安装有用于夹紧钢索的顶头，所述夹持块的夹爪端部与顶头活动连接。
10.上述方案中，所述机箱的底部设有底板，所述第一推送装置安装在底板的顶部，所述安装板竖直安装在底板的端部，所述第二推送装置安装在底板的底部并与所述底板传动连接。
11.上述方案中，所述第二推送装置包括盒体、推缸和滑块，所述盒体安装在机箱的内腔底部，所述盒体的内部安装有推杆，所述推杆的端部与滑块的底部固定连接，所述推缸安装在盒体的外侧，所述推缸与推杆传动连接，所述盒体的两侧设有滑轨，所述滑块通过滑轨与盒体滑动连接。
12.进一步的，所述第一推送装置与第二推送装置结构相同。
13.上述方案中，所述控制屏安装在机箱的顶部，控制屏的旁边设有急停按钮，所述机箱的顶部远离钢索输送端的一侧安装有推手，所述机箱的底部四端设有万向轮。
14.上述方案中，所述机箱外侧在钢索输送处设有导向套，所述机箱的内侧设有钢索收纳区，机箱外侧在钢索输送处顶部安装有皮带保护罩，所述皮带保护罩内部安装有皮带，所述电机通过皮带与夹紧装置传动连接。
15.上述方案中，所述刷头为圆块状结构，所述刷头的正面设有粉碎污垢的顶尖，所述刷头的轴心处开设有与钢索固定连接的通孔。
16.进一步的，所述刷头的背面设有半圆形的外罩，所述外罩采用尼龙制成，所述外罩靠近所述刷头的外周固定有毛刷。
17.与现有技术相比，本发明的有益效果是：在将钢索2与刷头7固定后，通过第一推送装置驱动夹紧装置将钢索夹紧，通过电机驱动钢索旋转进而带动刷头旋转，通过第二推送装置带动刷头来回运动清理污垢。因此通过本自动真空管道清洗机进行全自动清洁保养将结垢物清除，可以有效降低人力消耗与组装风险，且可以防止有害气体外泄。
附图说明
18.图1为本发明外部结构示意图；
19.图2为图1另一视角的结构示意图；
20.图3为本发明中机箱内部结构示意图；
21.图4为图5另一视角的结构示意图；
22.图5为本发明中第一推送装置的结构示意图；
23.图6为本发明中第二推送装置的结构示意图；
24.图7为本发明中夹紧装置的结构示意图；
25.图8为本发明中夹紧装置的平面半剖结构示意图；
26.图9为本发明中刷头的结构示意图；
27.图中标号：1
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机箱；11
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控制屏；12
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急停按钮；13
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平躺状态触摸屏；14
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推手；15
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万向轮；16
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导向套；17
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皮带保护罩；18
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钢索收纳区；2
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钢索；3
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电机；31
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安装板；32
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皮带；4
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夹紧装置；41
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连接板；42
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转盘；43
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定位盘；44
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夹持块；45
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驱动块；46
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顶头；47
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压缩弹簧；5
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第一推送装置；51
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底板；6
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第二推送装置；61
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盒体；62
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推缸；63
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推杆；64
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滑块；65
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滑轨；7
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刷头；71
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顶尖；72
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外罩；73
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毛刷。
具体实施方式
28.下面结合附图和实施例对本发明的技术方案做进一步的详细说明。
29.如图1至图4所示，一种自动真空管道清洗机，包括机箱1、钢索2和刷头7，机箱1是用于安装各个运动装置的外壳，来驱动钢索2在真空管道中抽送和旋转，对污垢进行清理。
机箱1的外侧安装有控制屏11，控制屏11用于连接内部的各个运动装置，并驱动控制各个运动装置对钢索2的运动效果，可对运动参数进行设定和调整。控制屏11安装在机箱1的顶部，控制屏11的旁边设有急停按钮12，必要时紧急停止。在机箱1的顶部远离钢索2输送端的一侧安装有推手14，机箱1的底部四端设有万向轮15。
30.机箱1外侧在钢索2输送处设有导向套16，通过导向套16并配合其他减震组件与待清洗的真空管道相连接，为钢索2进行导向输送到需要清理的真空管道内，并且保护钢索2在旋转或抽拉过程中正常运作，不会造成机箱1输送口处的磨损。机箱1的内侧设有钢索收纳区18，收纳区18位于机箱1的侧面内部，其外部有收纳盖，打开后可以将钢索2收纳到内部。钢索2平均长度约10米，平时不用时收纳于收纳区18内，收纳区18中间的腰槽是用于方便钢索缠绕收纳的地方，通过打开收纳盖来将钢索缠绕在那个腰槽外周。机箱1的顶部还安装有平躺状态触摸屏13，该平躺状态触摸屏13即为控制屏11另一种状态示意图，通过在底部加装扭转轴实现。平躺状态触摸屏13为设备在闲置时，将控制屏11通过旋转使其平躺下来，减少占地空间，平躺于机箱1的顶部，并加装保护盖，以保护触摸屏。机箱1外侧在钢索2输送处顶部安装有皮带保护罩17，皮带保护罩17内部安装有皮带32，电机3通过皮带32与夹紧装置4传动连接。
31.机箱1的内部安装有夹紧装置4，机箱1的内部通过安装板31固定有驱动夹紧装置4转动的电机3，因此电机3安装在安装板31上。若机箱1宽度尺寸大，电机3可以安装在两侧，若机箱1高度尺寸大，则电机可以安装在机箱上部，也就是图3所示的位置。
32.夹紧装置4用于夹紧疏通真空管道内污垢的钢索2，夹紧装置4的一侧设有推动夹紧装置4夹紧钢索2的第一推送装置5。
33.安装板31在机箱1内竖直设置，夹紧装置4安装在安装板31上，夹紧装置4用于将钢索2夹紧。请参阅图7和图8，夹紧装置4包括连接板41、转盘42和定位盘43，定位盘43安装在安装板31上，定位盘43与电机3传动连接，便于通过电机3带动定位盘43转动。连接板41与第一推送装置5传动连接，通过第一推送装置5可以推动整个夹紧装置4运动。转盘42通过轴承座与连接板41转动连接，转盘42远离连接板41的一侧铰接有夹持块44，夹持块44的夹爪通过第一推送装置5的推送运动伸入定位盘43的夹持部将钢索2夹紧，这样在第一推送装置5的推动下，驱动夹持块44来夹持钢索2。
34.基于上述对夹紧装置4的描述，作为一种优选的方案，在其中一个实施例中，在定位盘43的内部转动连接有驱动块45，驱动块45可以单独在电机3通过皮带31带动的情况下转动，此时定位盘43是固定在机箱1上的，而驱动块45相对于定位盘43以及机箱1转动连接。驱动块45靠近夹持块44的两侧开设有夹持部，夹持部内部通过压缩弹簧47安装有用于夹紧钢索2的顶头46，夹持块44的夹爪端部与顶头46活动式接触连接。在正常情况下，第一推送装置5处于初始状态时，夹紧装置4不会对钢索2进行夹紧。当在第一推送装置5的推动下，夹紧装置4向前移动，在夹持块44的带动下将顶头46进行挤压，从而将驱动块45中的钢索2压紧。
35.机箱1的底部设有底板51，第一推送装置5安装在底板51的顶部，安装板31竖直安装在底板51的端部，第二推送装置6安装在底板51的底部并与底板51传动连接，因此第二推送装置6可以将安装在安装板31上的第一推送装置5和夹紧装置4一起推送。
36.机箱1的内腔底部设有驱动夹紧装置4和第一推送装置5来回运动的第二推送装置
6。具体的，请参阅图6，第二推送装置6包括盒体61、推缸62和滑块64，盒体61安装在机箱1的内腔底部，盒体61的内部安装有推杆63，推杆63的端部与滑块64的底部固定连接，推缸62安装在盒体61的外侧，推缸62与推杆63传动连接，盒体61的两侧设有滑轨65，滑块64通过滑轨65与盒体61滑动连接。这样可以在推缸62的推动下，驱动滑块64来回运动，而滑块64与底板51固定连接，从而在第二推送装置6的推送下，将底板51顶部的第一推送装置5和夹紧装置4一起推送。
37.请参阅图5，第一推送装置5与第二推送装置6结构相同，只是推动的行程范围不同。第一推送装置5用于推送夹紧装置4，对钢索2夹紧，方便在电机3的驱动下带动钢索2旋转。而第二推送装置6用于推送第一推送装置5以及安装在安装板31上的夹紧装置4，使其夹带着钢索2来回运动。钢索2的端部伸出机箱1与刷头7固定连接，通过刷头7来清理真空管道中的污垢，这样在钢索2的带动下，通过电机3带动刷头7旋转，通过第二推送装置6带动刷头7来回运动，大大提高刷头7对污垢的清理能力。
38.请参阅图9，刷头7为圆块状结构，刷头7的正面设有粉碎污垢的顶尖71，无论是在旋转过程中还是在来回推送过程中，都对遇到的污垢进行强力清除。刷头7的轴心处开设有与钢索2固定连接的通孔，可以将钢索2穿入该通孔中，并在刷头7的前后通过螺丝或堵头固定。
39.作为一种优选的方案，在其中的一个实施例中，刷头7的背面设有半圆形的外罩72，外罩72采用尼龙制成，方便刷头7在清理污垢过程中通过真空管道带有弯管的部分，不光可以对直管清理，还可以顺利通过弯管，多方位对真空管道进行来回清理。另外，还在外罩72靠近刷头7的外周固定有毛刷73，毛刷73也采用尼龙制成，通过外侧的毛刷73接触真空管道的内壁，有利于对内壁上的污垢进行清理，也避免管道对刷头7的磨损。
40.因真空管道与刷头7皆为金属，于是在金属刷头7外增加外罩72作为管道保护层并添加尼龙毛刷73，避免造成金属碰撞且加强内壁细部刷洗。
41.在实施时，先将钢索2与刷头7固定后，通过控制屏11设定第一推送装置5和第二推送装置6的行进长度参数，并将刷头7安装于清洁真空管道用的钢索2上后，放至欲清洁的真空管道内，通过控制屏11一键启动。
42.启动后，由电机3带动皮带轮使夹紧装置4开始转动，由第一推送装置5驱动滑台前进至工作位，迫使夹紧装置4夹紧钢索2，进行旋转运动；第二推送装置6启动，驱动滑块64移动至工作位，使第一推送装置5与夹紧装置4一同前进，以达到钢索2及刷头7向前推进刷洗管道；至定位清理工作后，第一推送装置5后退至初始位，使夹紧装置4松开钢索2，第二推送装置6移动至初始位，带动第一推送装置5与夹紧装置4复归至起点，反复动作完成设定数值后停止，直至来回清洗将污垢去除；倒退过程与上述动作相反。
43.若遇真空管道堵塞严重，刷头7磨损无法清理，清理动作无法顺利完成，依电机3瞬间运转功率判定是否无法通过或者前进，通过急停按钮12进行紧急停止与报警。
44.在做以上清理运作时，只需拆除与真空泵连接的真空管道一段，以及与末端一段并装上集尘盒，即可通过本自动真空管道清洗机进行全自动清洁保养将结垢物清除，有效降低人力消耗与组装风险，且可以防止有害气体外泄。
45.以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式，并不用于限定本发明保护
范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应含在本发明的保护范围之内。