一种用于防止扩散泵油反油的冷却系统的制作方法

1.本实用新型涉及扩散泵技术领域，特别涉及一种用于防止扩散泵油反油的冷却系统。


背景技术：

2.现真空镀膜行业以使用油扩散泵来获得超高真空为主要途径。在使用油扩散泵的真空系统中必须将专用的扩散泵油加热到200℃以上并使其沿规定的路径以伞状向下喷洒。向下喷洒的油蒸汽会碰撞扩散泵腔壁冷却后流回扩散泵油池，此过程中油蒸汽会漫射向镀膜机腔体形成反流。油蒸汽进入到镀膜机腔体将严重影响镀膜的品质和镀膜的效率。现行的方法包括：
3.方法一是在扩散泵泵口加装一个走冷却水的管道来冷却反流的油蒸汽，因为用的是零度以上的冷却水，效率低并且效果差。
4.方法二是使用水汽捕集泵来冷却反流的油蒸汽，但水汽捕集泵的成本高昂达，获得同样防反油效果的能耗大且占用空间大。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种用于防止扩散泵油反油的冷却系统，能够提高油蒸汽冷凝的效率和质量，减少设备耗能。
6.根据本实用新型的第一方面实施例，提供一种用于防止扩散泵油反油的冷却系统，包括泵体，包括用于存放扩散泵油的内腔，内腔的顶部设有开口；加热装置，设置在内腔的底部；挡板，设置在内腔内，挡板底面的两侧均设有倾斜的第一导向部，各第一导向部分别朝向内腔的两侧壁；以及冷阱，外接制冷系统，冷阱设置在开口处。
7.有益效果：此用于防止扩散泵油反油的冷却系统通过加热装置进行加热，加热后的扩散泵油呈油蒸汽上升，一部分碰到挡板并沿挡板及其第一导向部呈伞状喷射到内腔的两侧壁上，在侧壁冷却后回流底部循环往复，其余部分接触冷阱并遇冷液化回流，由于冷阱表面的温度可低至
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30℃，能完全将接触到油蒸汽冷凝成液体，且相比于水冷的方式更能节能。
8.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，冷阱为平面螺旋状结构。
9.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，制冷系统包括制冷机、输出管和回流管，冷阱包括第一接口和第二接口，制冷机的输出端通过输出管与第一接口连接，制冷机的输入端通过回流管与第二接口连接。
10.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，制冷机包括压缩机和换热器，压缩机的输出端与换热器连接，换热器与输出管连接，压缩机的输入端与回流管连接。
11.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，冷阱、输
出管和回流管均为紫铜管或不锈钢管制成。
12.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，输出管和回流管外包裹有保温材料。
13.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，内腔内设有若干竖直设置的导向通道，各导向通道依次排列，挡板覆盖在各导向通道的上方。
14.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，位于两侧的导向通道上均设有倾斜的第二导向部，各第二导向部分别朝向内腔的两侧壁。
15.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，第一导向部和第二导向部均为导向板。
16.根据本实用新型第一方面实施例的用于防止扩散泵油反油的冷却系统，各导向通道的顶端连成抛物线型轨迹。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然，所描述的附图只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他设计方案和附图。
18.图1为本实用新型实施例的结构示意图；
19.图2为本实用新型实施例中冷阱的结构示意图。
具体实施方式
20.本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。
21.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
23.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
24.参照图1至图2，一种用于防止扩散泵油反油的冷却系统，包括泵体10、加热装置60和冷阱50，其中泵体10包括用于存放扩散泵油的内腔，内腔的顶部设有开口；加热装置60设置在内腔的底部外，用于将内腔内的散泵油加热至200℃
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230℃并维持稳定；在内腔内设置
有挡板20，挡板20底面的两侧均设有倾斜的第一导向部21，各第一导向部21分别朝向内腔的两侧壁，具体的左侧的第一导向部21朝向内腔的左侧壁，右侧的第一导向部21朝向内腔的右侧壁；以及外接制冷系统的冷阱50，冷阱50设置在开口处，冷阱50的表面温度优选地稳定控制在
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30℃，保证油蒸汽的充分冷凝液化。此用于防止扩散泵油反油的冷却系统通过加热装置60进行加热，加热后的扩散泵油呈油蒸汽上升，一部分碰到挡板20并沿挡板20及其第一导向部21呈伞状喷射到内腔的两侧壁上，在侧壁冷却后回流底部循环往复，其余部分接触冷阱50并遇冷液化回流，由于冷阱50表面的温度可低至
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30℃，能完全将接触到油蒸汽冷凝成液体，且相比于水冷的方式更能节能。
25.优选的，冷阱50为平面螺旋状结构，该形状下的冷阱50能充分接触油蒸汽，油蒸汽的冷凝效率高，且更容易聚集成液滴回流至内腔中循环使用。
26.在本实施例中，制冷系统包括制冷机31、输出管32和回流管33，冷阱50包括第一接口和第二接口，制冷机31的输出端通过输出管32与第一接口连接，制冷机31的输入端通过回流管33与第二接口连接，选用或自制能制冷到
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30℃的制冷机31，还可以配合调节模块和温度传感器，稳定、实时地控制冷阱50的表面温度。制冷机31在扩散泵油加热前启动并开始给冷阱50制冷，系统停机时则先关闭加热装置60之后再关闭制冷机31。
27.优选的，制冷机31包括压缩机312和换热器311，压缩机312的输出端与换热器311连接，换热器311与输出管32连接，压缩机312的输入端与回流管33连接。若在原来为水冷却的系统改造成本方案则需在回流管33上串联干燥过滤器，以干燥过滤水分和杂质。若原来没有冷却系统或为水汽捕集泵系统则无需加装干燥过滤器。此用于防止扩散泵油反油的冷却系统可直接加装与没有防反油系统的扩散泵，只需在扩散泵的内腔顶部加装挡板20、冷阱50及冷却系统即可。
28.优选的，冷阱50、输出管32和回流管33均为紫铜管或不锈钢管制成。输出管32和回流管33外包裹有保温材料。
29.在本实施例中，内腔内设有若干竖直设置的导向通道40，各导向通道40依次排列，挡板20覆盖在各导向通道40的上方，保证油蒸汽能稳定地与挡板20接触，保证冷凝效率。
30.优选的，位于两侧的导向通道40上均设有倾斜的第二导向部41，各第二导向部41分别朝向内腔的两侧壁，具体的左侧的第二导向部41朝向内腔的左侧壁，右侧的第二导向部41朝向内腔的右侧壁将油蒸汽分隔，使油蒸汽能接触内腔侧壁的不同位置，避免内腔侧壁出现局部的过热情况，保证油蒸汽的充分冷凝。
31.优选的，第一导向部21和第二导向部41均为导向板，且各导向通道40由依次排列、彼此间隔的板构成，板状结构适合油蒸汽的导向，且能通过折弯、组装或拼接的方式直接成型。
32.优选的，各导向通道40的顶端连成抛物线型轨迹，即位于两侧的导向通道40高度最小，位于中部的导向通道40最高，使从各导向通道40流出的油蒸汽能接触内腔侧壁的不同位置。各导向通道40的底端浸泡于扩散泵油，各导向通道40的下侧且高于扩散泵油的位置上，各导向通道40设有折弯部，用于油蒸汽向上移动的缓冲，具体的，中部的导向通道40的折弯部呈八字形结构设置，左侧的导向通道40的折弯部呈八字形结构的左半部分设置，右侧的导向通道40的折弯部呈八字形结构的右半部分设置，左侧的导向通道40的折弯部与右侧的导向通道40的折弯部关于中部的导向通道40对称设置。
33.此用于防止扩散泵油反油的冷却系统在具体使用时，先利用加热装置60对扩散泵油加热，油蒸汽沿导向通道40上升，遇到挡板20、第一导向部21则沿第一导向部21的导向方向流至内腔侧壁，并受内腔侧壁冷凝回流，遇到第二导向部41则沿第二导向部41的导向方向流至内腔侧壁，并受内腔侧壁冷凝回流；若油蒸汽从挡板20、第一导向部21或第二导向部41上漏出并继续上升，则遇到冷阱50，冷阱50表面的温度达
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30℃，能将油蒸汽充分冷凝，使全部油蒸汽回流至内腔底部，且冷凝效率高，冷阱50的温度控制通过冷却系统调节，耗能大幅减少。
34.上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。