镀膜设备的热交换系统的制作方法

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜设备的热交换系统。

背景技术：

在半导体显示制造过程中，镀膜工艺被广泛应用。镀膜时需要使用镀膜设备，镀膜设备的处理腔在镀膜过程中温度会升高，长时间保持高温的状态不利于镀膜，因此在镀膜时一般会采用冷水机组对处理腔进行降温处理。

目前，镀膜设备一般通过一组冷水机组进行降温，冷水机组的进水口和出水口通过冷却管道连通，冷却管道位于处理腔内，冷水机组向冷却管道循环输入冷却水，利用循环的冷却水在处理腔与冷水机组之间进行热交换，以降低处理腔的温度。然而，一个镀膜设备连接一组冷水机组，冷水机组一旦发生故障将导致处理腔无法正常降温，只能更换新的冷水机组。在更换冷水机组时，必须将镀膜设备停机，且每次更换冷水机组需要3小时以上，花费时间较长，严重延误生产进程。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于：提供一种镀膜设备的热交换系统，其能自动切换冷却机组，无需停机更换冷却机组。

为达到此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种镀膜设备的热交换系统,包括：

冷却机组，所述冷却机组与镀膜设备的处理腔连接，用于对所述处理腔降温，所述冷却机组包括主机组和备用机组，所述主机组的输出口和所述备用机组的输出口均通过第一管道与所述处理腔内的冷却管道的输入接头连接，所述第一管道用于将所述主机组或所述备用机组内部的冷却介质输入到所述冷却管道内，所述主机组的输入口和所述备用机组的输入口均通过第二管道与所述冷却管道的输出接头连接，所述第二管道用于将所述冷却管道内部的冷却介质排出到所述主机组或所述备用机组中；

自动控制阀箱，所述自动控制阀箱包括控制器和控制阀，所述第一管道和所述第二管道上均设置有所述控制阀，所述控制阀能够控制所述主机组或所述备用机组对所述镀膜设备降温，所述控制阀与所述控制器连接。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所有的所述第一管道和所有的所述第二管道上均设置有调节阀，所述调节阀用于调节冷却介质流通的速度，所述调节阀与所述控制器通讯连接。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所述控制器还包括用于操控所述控制阀和所述调节阀的触摸屏。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所述自动控制阀箱还包括箱体，所述箱体具有用于容纳所述控制阀和所述调节阀的容纳腔，所述第一管道和所述第二管道均贯穿所述容纳腔的腔壁。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所述箱体具有与所述容纳腔连通的开口，所述开口盖设有箱门，所述箱门上开设有观察窗。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所述容纳腔内部设置有隔板，所述隔板将所述容纳腔分隔形成第一腔体和第二腔体，所有的所述第一管道贯穿所述第一腔体，所有的所述第二管道贯穿所述第二腔体。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所述第一腔体的腔壁设置有保温层。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所述主机组设置有两个，所述备用机组设置有一个，所述镀膜设备具有两个，所有的所述第一管道远离所述冷却机组的一端通过第一连通管与两个所述镀膜设备所对应的所述输入接头连接，所有的所述第二管道远离所述冷却机组的一端通过第二连通管与两个所述镀膜设备所对应的所述输出接头连接。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所述主机组和/或所述备用机组为冷水机组。

作为所述的镀膜设备的热交换系统的一种优选的技术方案，所述冷却管道设置在所述处理腔的侧壁上；

或，

所述处理腔的侧壁内具有空腔，所述冷却管道设置在所述空腔内。

本实用新型的有益效果为：设置备用机组，当主机组出现故障时控制器自动备用机组上的控制阀，使备用机组向镀膜设备继续提供循环的冷却介质，不需要马上停止运转镀膜设备而更换主机组，避免由于镀膜设备的停机而延误生产。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为实施例所述热交换系统与冷却机组和镀膜设备的连接示意图。

图2为实施例所述箱体与第一管道和第二管道的连接图。

图3为实施例所述箱体与管接头的连接图。

图4为另一实施例所述箱体的俯视剖视图。

图5为一实施例所述冷却管道与处理腔的侧壁连接示意图。

图6为另一实施例冷却管道与处理腔的侧壁剖视图。

图中：

100、主机组；200、备用机组；300、镀膜设备

1、箱体；101、顶板；102、侧板；103、箱门；1031、玻璃板；1032、把手；104、第一腔体；105、第二腔体；106、支撑脚；2、第一管道；3、第二管道；4、控制阀；5、调节阀；6、第一连通管；7、第二连通管；8、管接头；9、隔板；10、保温层；11、处理腔的侧壁；12、空腔；13、冷却管道。

具体实施方式

参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。

以下，参照附图来详细描述本实用新型。

如图1和图2所示，本实用新型提供一种镀膜设备的热交换系统，该热交换系统用于对镀膜设备300的处理腔的进行降温。其中，镀膜设备的热交换系包括冷却机组和自动控制阀箱。冷却机组与镀膜设备300的处理腔连接，冷却机组包括主机组100和备用机组200，主机组100的输出口和备用机组200的输出口均通过第一管道2与处理腔内的冷却管道13的输入接头连接，第一管道2用于将主机组100或备用机组200内部的冷却介质输入到冷却管道13内，主机组100的输入口和备用机组200的输入口均通过第二管道3与冷却管道13的输出接头连接，第二管道3用于将冷却管道13内部的冷却介质排出到主机组100或备用机组200中。其中，冷却管道13呈蛇形设置在处理腔的侧壁11上，有利于延长冷却管道13的长度，提高降温效率。具体地，冷却机组为液冷机组或气体冷却机组，当冷却机组为液冷机组时，冷却机组的冷却介质为液体，当冷却机组为气体冷却机组时，冷却机组的冷却介质为气体。本实施例中选用冷却机组为水冷机组，将水作为冷却机组的冷却介质，成本较低。自动控制阀箱包括控制器和控制阀4，第一管道2和第二管道3上均设置有控制阀4，控制阀4能够控制主机组100或备用机组200对镀膜设备300降温，控制阀4与控制器连接。控制器能够操控控制阀4，以启闭对应的第一管道2和第二管道3，进而控制冷却介质流通。

主机组100未出现故障时，镀膜设备300内部的处理腔的冷却介质由主机组100供给，当主机组100出现故障而导致处理腔内部的供给不足或无法供给时，控制器操控与主机组100对应的第一管道2和第二管道3上的控制阀4关闭，并打开与备用机组200对应的第一管道2和第二管道3上的控制阀4，使备用机组200与处理腔连通，通过备用机组200向处理腔输入和排出冷却介质，保证整个热交换系统正常工作。此种结构的热交换系统，设置备用机组200，当主机组100出现故障时控制器自动控制备用机组200上的控制阀4，使备用机组200向镀膜设备300提供循环的冷却介质，不需要马上停止运转镀膜设备300而更换冷却机组，避免由于镀膜设备300的停机而延误生产。

一实施例中，参照图5，冷却管道13设置在处理腔的侧壁11，冷却管道13此种设置，使冷却管道13直接凸出在处理腔的侧壁11上，可快速降温。

另一实施例中，参照图6，处理腔的侧壁11内具有空腔12，冷却管道13设置在空腔12内，将处理腔的侧壁11设置为双层结构，位于处理腔内部的一层腔壁采用导热材料制成，便于导热。将冷却管道13隐藏在处理腔的侧壁11的内部，避免冷却管道13外露于处理腔，便于清洁处理腔。

为了便于调节冷却介质流通的速度，一实施例中，所有的第一管道2和所有的第二管道3上均设置有调节阀5，调节阀5均与控制器通讯连接，调节阀5用于调节冷却介质流通的速度。调节阀5的设置，能够根据镀膜设备300的发热程度调节第一管道2或第二管道3内部冷却介质的流速，有利于节约能源。

具体地，控制器还包括用于操控控制阀4和调节阀5的触摸屏。在触摸屏上能够显示所有的控制阀4和调节阀5的工作状态，并且还能够在触摸屏对控制阀4和调节阀5手动控制，便于操作。

作为一种优选的方案，自动控制阀箱还包括箱体1，箱体1具有用于容纳控制阀4和调节阀5的容纳腔，第一管道2和第二管道3均贯穿容纳腔的腔壁。其中，箱体1采用刚性且耐腐蚀的材料制成，优选采用不锈钢，保证箱体1的使用寿命。本实施例中，箱体1为长方体结构。容纳腔由底板、顶板101和侧板102围设形成，顶板101位于底板的上方，侧板102位于底板和顶板101之间，第一管道2和第二管道3由冷却机组的一端穿过箱体1后沿着镀膜设备300的方向延伸。具体地，第一管道2和第二管道3均依次穿过箱体1的两个相对的侧板102，且所有的第一管道2均沿着竖直方向间隔分布以及所有的第二管道3均沿着竖直方向间隔分布。箱体1的设置，主要是为控制阀4和调节阀5提供防尘和保护的作用，避免控制阀4和调节阀5长时间使用后会在表面堆积灰尘和被腐蚀，延长控制阀4和调节阀5的使用寿命。可以理解的是，为了实现控制阀4和调节阀5与控制器的通讯连接，控制阀4和调节阀5上会设置若干通信连接部件，由于箱体1的存在还可以将控制阀4和调节阀5邻近区域的通信连接部件隐藏于箱体1内部，一方面，防止误碰阀门或通信连接部件，从而提高热交换系统的安全性；另一方面，避免阀门和通信连接部件外露，提升热交换系统的美观性。

为了降低箱体1的底板受潮被腐蚀的可能性，底板背离容纳腔的一侧面设置有支撑脚106，通过支撑脚106将箱体1支撑在地面上，避免底板直接接触地面。

其中，箱体1具有与容纳腔连通的开口，开口盖设有箱门103，箱门103上开设有观察窗。具体地，箱门103的一侧与侧板102靠近开口的一侧铰接，方便开启和关闭箱门103。可以理解的是，开口的设置为控制阀4和调节阀5安装和检修提供空间。在箱门103上设置观察窗，可通过观察窗从箱体1外部观察到位于容纳腔内部的控制阀4和调节阀5，以便及时维修。进一步地，观察窗设置有透视的玻璃板1031，通过玻璃板1031防止水或灰尘从观察窗进入到容纳腔中。为了方便打开箱门103，箱门103背离容纳腔的一侧面设置有把手1032。

一实施例中，箱门103的边缘设置有弹性的密封层，密封层用于封堵箱门103与开口部之间的缝隙。可以理解的是，箱门103盖设在开口部后，箱门103的边缘与开口部之间会存在缝隙，弹性的密封层用于将此缝隙封堵，防止灰尘从该缝隙进入到容纳腔内。

另一实施例中，参照图4，容纳腔内部设置有隔板9，隔板9将容纳腔分隔形成第一腔体104和第二腔体105，所有的第一管道2贯穿第一腔体104，所有的第二管道3贯穿第二腔体105。可以理解的是，第一管道2将冷却机组内温度较低的冷却介质输送到镀膜设备300内部，第二管道3将升温度较高的冷却介质排出到冷却机组中，由于热辐射的存在，第二管道3辐射的热量会被第一管道2内冷却介质吸收，升高第一管道2内部冷却介质的温度。本实施例中，通过隔板9将容纳腔分隔形成第一腔体104和第二腔体105，将第一管道2和第二管道3分别间隔在不同的腔体内，有利于减少第二管道3对第一管道2的热辐射。

优选地，第一腔体104的内壁设置有保温层10，通过保温层10降低第一腔体104腔壁的热传递，有效地对第一腔体104进行保温隔热，尽可能地防止冷却介质在输送到冷却管道13过程中的温度升高,保证冷却机组与处理腔的热交换效率。具体地，保温层10采用具有隔热保温的材料制成，例如聚苯乙烯。

在其他的实施例中，还可以将隔板9采用隔热材料制成或在隔板9的表面涂覆隔热层，例如聚苯乙烯。

具体地，第一腔体104与第二腔体105平行，且第二腔体105靠近容纳腔的开口部，当然，在其他的实施例中，还可以将第一腔体104靠近容纳腔的开口。

一实施例中，参照图1，主机组100设置有两个，备用机组200设置有一个，镀膜设备300具有两个，所有的第一管道2远离冷却机组的一端通过第一连通管6与两个镀膜设备300对应的输入接头连接。所有的第二管道3远离冷却机组的一端通过第二连通管7与两个镀膜设备300对应的输出头连接。具体地，第一连通管6和第二连通管7均呈u形结构，第一连通管6和第二连通管7的两端均与镀膜设备300连接，第一管道2与第一连通管6的非端部连接，第二管道3与第二连通管7的非端部连接。其中，第一连通管6和第二连通管7均设置在箱体1的外部。

一实施例中，第一管道2与第一连通管6一体成型设置，第二管道3与第二连通管7一体成型设置，管道与连通管的此种连接结构接头部件少，避免在接头部件处泄漏冷却介质。在其他的实施例中，第一管道2通过连接头与第一连通管6连接，第二管道3通过连接头与第二连通管7连接，管道与连通管的此种连接结构，便于组装。在具体实施，可根据实际需要灵活选择管道与连接管的连接结构。

当然，参照图3，为了方便第一管道2和第二管道3与箱体1的组装，还可以将第一管道2和第二管道3设置为分段结构。具体地，第一管道2和第二管道3均包括依次连接的第一分段、第二分段和第三分段，第一分段和第三分段设置在箱体1的外部，第一分段连接在箱体1与冷却机组之间，第三分段连接在箱体1与镀膜设备300之间，第二分段设置在箱体1的容纳腔中，所有的控制阀4和所有的调节阀5均设置在第二分段上，第二分段的两端分别通过管接头8与第一分段和第二分段连接，管接头8固定设置箱体1的侧板102上。箱体1的相对两个侧板102均对应设置有管接头8，具体组装时，将每个第二分段的两端分别与两个侧板102上对应的管接头8连接，然后将第一分段远离冷却机组的一端和第三分段远离冷却机组的一端分别对应的管接头8连接。此种结构的箱体1，提前将管接头8设置侧板102上，便于将第一管道2和第二管道3贯穿箱体1。

需要说明的是，本说明书所提到的镀膜设备300可以为cvd(chemicalvapordeposition)镀膜机，或蒸镀机，或溅射镀膜机等。

尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。