微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置的制作方法

技术特征：
1.一种微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，包括沿x射线的入射方向在第一光轴(i)上依次设置的微聚焦部件(100)和原位偏光显微系统(200)；所述微聚焦部件(100)包括一复合折射透镜(101)，其设置为使得x射线的光斑微聚焦；所述原位偏光显微系统(200)包括在垂直于第一光轴(i)的第二光轴(ii)上依次排布的探测器(201)、光学镜头组(202)和位于所述第一光轴(i)和第二光轴(ii)的相交位置的平面反射镜(203)，在所述第一光轴(i)上且位于所述平面反射镜(203)的下游的样品台(204)，以及在平行于第一光轴(i)的第三光轴(iii)上且正对所述光学镜头组(202)的可见光反射光源(205)。2.根据权利要求1所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述光学镜头组(202)包括位于所述第二光轴(ii)和所述第三光轴(iii)的相交位置的半透半反镜(2021)、设于所述半透半反镜(2021)和所述可见光反射光源(205)之间的起偏镜(2022)、设于所述半透半反镜(2021)和所述探测器(201)之间的检偏镜(2023)以及位于所述第二光轴(ii)上的透镜组(2024)，半透半反镜(2021)的法线与所述第二光轴(ii)和所述第三光轴(iii)的夹角均为45
°
。3.根据权利要求2所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述光学镜头组(202)具有调节放大功能，所述光学镜头组(202)的放大倍率在0.7
‑
4.5倍之间可调。4.根据权利要求1所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述平面反射镜(203)的法线与第一光轴(i)的第二光轴(ii)的夹角均为45
°
，且平面反射镜(203)的镜面面向所述样品台(204)和探测器(201)；所述平面反射镜(203)的镜面中心凿设有通孔。5.根据权利要求1所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述平面反射镜(203)的表面镀膜，且形状为椭圆形。6.根据权利要求1所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述原位偏光显微系统(200)的底部固定连接在一偏光显微系统支撑平台(207)上，所述偏光显微系统支撑平台(207)整体置于二维的第二电动平台(209)上，所述第二电动平台(209)包括一维偏摆台以及旋转台。7.根据权利要求6所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述探测器(201)、光学镜头组(202)、平面反射镜(203)和可见光反射光源(205)组成了原位偏光显微系统的光学系统，所述光学系统整体置于一二维平动的第三电动平台(206)上，并通过所述第三电动平台(206)固定在所述偏光显微系统支撑平台(207)上；所述平面反射镜(203)安装于一五维手动调节平台上，并通过该五维手动调节平台安装于所述光学系统中。8.根据权利要求7所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述样品台(204)安装于三维平动的第四电动平台(208)上，并通过所述第四电动平台(208)固定在所述偏光显微系统支撑平台(207)上。9.根据权利要求8所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述第三电动平台(206)和第四电动平台(208)的运动距离均为30mm，重复定位精度为1μm。
10.根据权利要求1所述的微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，其特征在于，所述复合折射透镜(101)安装于一五维的第一电动平台(102)上，所述第一电动平台(102)包括三维平动电动平台、一维偏摆台以及旋转台。

技术总结
本实用新型提供一种微聚焦同步辐射小角散射与偏光显微系统联用装置，包括在第一光轴上依次设置的微聚焦部件和原位偏光显微系统；微聚焦部件包括复合折射透镜；原位偏光显微系统包括在垂直于第一光轴的第二光轴上依次排布的探测器、光学镜头组和位于第一光轴和第二光轴相交位置的平面反射镜，在第一光轴上且位于所述平面反射镜的下游的样品台，以及在第三光轴上且正对光学镜头组的可见光反射光源。本实用新型的联用装置将偏光显微系统与微聚焦小角散射束线相结合，不仅能实时观测样品晶体的真实形貌，而且通过平面反射镜的设置使得偏光显微成像的视场中心与X射线在样品处重叠，可以用于定位无法观测的X射线的实时位置。可以用于定位无法观测的X射线的实时位置。可以用于定位无法观测的X射线的实时位置。


技术研发人员：缪夏然 周平 刘广峰 樊云谊 杨春明 边风刚
受保护的技术使用者：中国科学院上海高等研究院
技术研发日：2020.12.03
技术公布日：2021/10/23