键合刷安装设备的制作方法

本实用新型涉及晶圆生产制造加工设备领域，具体涉及一种键合刷安装设备。

背景技术：

在半导体晶圆的生产过程中，需要使用键合刷对晶圆进行清洗。由于键合刷直接与待清洗的晶圆直接接触，因此经常需要更换键合刷。

在现有技术中，更换键合刷时，需要将键合刷的轴承上套设的软体刷部进行更换。在更换所述软体刷部时，首先需要将设置在机床上的键合刷的轴承拆下，然后用手将新替换的软体刷部套设到所述轴承上。

然而，由于软体刷部在自然状态下的轴承放置孔较小，因此无法直接将软体刷部套设到所述轴承上，而是需要用手撑开所述软体刷部的轴承放置孔，再将撑开的软体刷部套设到所述轴承上，比较费时费力。且由于在安装过程中直接用手接触软体刷部，也会污染所述软体刷部表面，使得键合刷在投入使用之前还需要进行洗刷、清洗。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种键合刷安装设备，能够降低软键合刷的安装难度，提高软键合刷安装的成功率，减少安装时间。

为解决上述技术问题，以下提供了一种键合刷安装设备，包括支撑单元，用于放置到键合刷的软体刷部的轴承放置孔中，以撑开所述软体刷部的轴承放置孔，使所述软体刷部的轴承放置孔的孔径大于所述键合刷的轴承的直径。

可选的，所述支撑单元包括至少三根抽条，均用于放置到所述软体刷部的轴承放置孔中，以撑开所述键合刷的软体刷部的轴承放置孔，使所述轴承放置孔的孔径大于所述轴承的直径。

可选的，还包括底座，所述支撑单元安装至所述底座。

可选的，所述底座包括第一侧壁，所述抽条的第一端可拆卸地安装到所述第一侧壁。

可选的，所述第一侧壁上设置有插孔组，用于供所述抽条插接。

可选的，所述插孔组包括至少三个插孔。

可选的，还包括罩壳，用于将所述软体刷部罩住，以将所述软体刷部的刷体与外界环境分隔开来。

可选的，所述罩壳可拆卸地安装至所述底座，且所述罩壳能够相对于所述底座发生沿所述罩壳长度方向的运动。

可选的，所述罩壳的长度大于或等于所述软体刷部的长度，所述罩壳的内径大于所述轴承放置孔被所述支撑单元撑开后的孔径。

可选的，所述罩壳为透明罩壳。

上述键合刷安装设备由于具有将软体刷部撑起的支撑单元，可以在键合刷的安装过程中将软体刷部的轴承放置孔撑开，使所述软体刷部的轴承放置孔大于将要放置到所述软体刷部中的轴承的直径，从而便于轴承的安装，提高安装键合刷的成功率，减少安装键合刷所需时间。并且由于支撑单元将软体刷部撑起，在将轴承放入到所述软体刷部的过程中，可以很方便调整软体刷部的纹路，保证纹路的整体性，还可有效的调整轴承外露于所述软体刷部的长度，使符合键合刷的要求。

附图说明

图1为本实用新型一种具体实施方式中使用键合刷安装设备的结构示意图。

图2为本实用新型一种具体实施方式中键合刷安装设备的正视示意图。

图3为本实用新型一种具体实施方式中抽条的结构示意图。

图4为本实用新型一种具体实施方式中键合刷安装设备的罩壳沿底板移动时的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种键合刷安装设备进一步详细说明。

请参阅图1、2，其中图1为本实用新型一种具体实施方式中使用键合刷安装设备的结构示意图，图2为本实用新型一种具体实施方式中键合刷安装设备的正视示意图。在该具体实施方式中，所述键合刷安装设备包括支撑单元101，用于放置到键合刷的软体刷部102的轴承放置孔201中，以撑开所述键合刷的软体刷部102的轴承放置孔201，使所述软体刷部102的轴承放置孔201的孔径大于所述键合刷的轴承103的直径。

在一种具体实施方式中，所述支撑单元101包括三根抽条104，均用于放置到所述软体刷部102的轴承放置孔201中，以撑开所述软体刷部102的轴承放置孔201，使所述轴承放置孔201的孔径大于所述轴承103的直径。在该具体实施方式中，所述软体刷部102的材质是具有一定回弹、拉伸能力的橡胶材质，所述轴承放置孔201的孔径可以被撑开至大于自然状态下的孔径。在将所述支撑单元101抽回后，所述轴承放置孔201的孔径也能够回复至自然状态。

请看图2，当所述支撑单元101包括三根抽条104时，三根抽条104将所述软体刷部102的轴承放置孔201撑成三角形，且该三角形可以将轴承103内含，在将所述轴承103放置到所述三角形内时，所述轴承103不会与三角形的任一边发生接触。

当所述支撑单元101包含的抽条104大于三根时，所述软体刷部102的轴承放置孔201被撑成不同的形状，但不管撑成何种形状，应当都可以将轴承103内含，以便于轴承103放入所述轴承放置孔。在将所述轴承103放置到被撑开的轴承放置孔201内时，所述轴承103不会与被撑开的轴承放置孔201发生接触。

在一种具体实施方式中，所述轴承103放入到所述软体刷部102的轴承放置孔201中时，所述轴承103两端是外露于所述软体刷部102的，以便于对安装好的键合刷进行进一步的安装、使用。

在一种具体实施方式中，所述抽条104的硬度与要撑开所述软体刷部102的轴承放置孔201的需求相适应，防止抽条104在撑开所述软体刷部102的轴承放置孔201时被所述轴承放置孔201回弹的力压迫至形变，而造成被撑开后的轴承放置孔201的孔径小于轴承103的直径，以至于轴承103无法在不与所述轴承放置孔201相接触的情况下放入至所述轴承放置孔201内。

在一种具体实施方式中，所述抽条104的韧性满足当所述抽条104发生一定程度的弯曲时不会折断的需求。进一步的，所述抽条104在发生一定弯曲后可以发生回弹，使用户可以通过捏握所述抽条104，使抽条104能够更方便的穿入、穿出所述软体刷部102的轴承放置孔201。

在一种具体实施方式中，需要一个固定装置来确定各根抽条104之间的距离。如图1，所述键合刷安装设备还包括底座105，所述支撑单元101安装至所述底座108，以确定各根抽条104之间的距离。

请同时参阅图3，图3为本实用新型一种具体实施方式中抽条的结构示意图。在该具体实施方式中，所述抽条104包括第一端301和第二端302，且所述抽条104的第一端301安装至所述底座105，由底座105来确定各根抽条104的第一端201之间的距离。由于所述抽条104具有一定硬度，因此在重力作用下，以及一定的软体刷部102的轴承放置孔201的回弹力的作用下，所述抽条104不会发生形变，因此，各抽条104的第二端302之间的距离与所述抽条104的第一端301之间的距离相等或近似相等。

在该具体实施方式中，所述底座包括第一侧壁106，所述抽条104的第一端301可拆卸地安装到所述第一侧壁106。具体的，所述第一侧壁106上设置有插孔组，用于供所述抽条104插接。在该具体实施方式中，所述第一侧壁106还设置有孔，供轴承103穿过，使轴承103能够从被撑的最开的一端伸入所述轴承放置孔201，从而便于轴承103的安装。在该具体实施方式中，孔的尺寸大于所述轴承103的尺寸，以便所述轴承103通过。

在一种具体实施方式中，所述插孔组包括至少三个插孔202，可以用于插接3根以上的抽条104，以适应于用户需要设置不同根数的抽条104的情况，以及适应于用户需要改变抽条104的空间排布时的情况。所述插孔202的尺寸与所述抽条104的第一端301的尺寸相适应，使抽条104安装到插孔202内时，两者之间具有很大的摩擦力，所述抽条104不会相对于所述插孔202发生相对移动。

在该具体实施方式中，孔设置在三个插孔202之间。在另一种具体实施方式中，也可将所述插孔202设置在孔内。此时，沿所述孔的内沿设置有数个柱状体，在所述键合刷安装设备水平放置时，所述柱状体平行于水平面。所述柱状体设置内凹形成所述插孔202，且所述柱状体的内凹的尺寸与所述抽条104的第一端301的尺寸一致，所述柱状体的内凹的深度与所述抽条104的第一端301的长度相适应，至少为所述第一端301的长度的二分之一。在安装所述抽条104时，将抽条104的第一端301的至少一半插入到所述柱状体的内凹中，实现抽条104的安装。

需要注意的是，不管所述插孔202设置在孔内还是孔外，所述插孔202的设置位置都应当满足以下条件：当软体刷部102的轴承放置孔201被抽条104撑开时，轴承放置孔201的尺寸都会大于所述轴承的尺寸，以便将轴承放入至所述轴承放置孔201内。

由图1可知，所述底座还包括底板108，所述第一侧壁106垂直设置于所述底板108上表面。实际上，也可不设置所述底板108。

继续参阅图4，图4为本实用新型一种具体实施方式中键合刷安装设备的罩壳沿底板移动时的示意图。在该具体实施方式中，所述键合刷安装设备还包括罩壳112，所述罩壳112的两头贯通，且罩壳112的内径大于被撑开的轴承放置孔201的尺寸，用于将所述软体刷部102罩住，以将所述软体刷部102的刷体与外界环境分隔开来。具体的，所述罩壳112可以罩设于被撑开的软体刷部102外侧，使被撑开状态下的软体刷部102的刷体与外界环境分隔开来，防止在将轴承103放置到软体刷部102的轴承放置孔201的过程中污染所述软体刷部102的刷体。

在一种具体实施方式中，所述罩壳112可拆卸地安装至所述底座105，且所述罩壳112能相对于所述底座105能够发生沿抽条104长度方向上的运动，如图4中的双向箭头所示。由于所述软体刷部102安装到所述支撑单元101以后，相对于所述支撑单元101静止，因此相对于支撑单元101的抽条104运动的罩壳112，在运动过程中即相对于所述软体刷部102发生运动，将所述软体刷部102罩设到所述罩壳112内，或将所述软体刷部102从所述罩壳112内移出。需要注意的是，所述罩壳112的两个端口尺寸相等，都大于被撑开的软体刷部102的尺寸，以便撑开状态的软体刷部102进出。

在一种具体实施方式中，所述罩壳112的长度大于或等于所述软体刷部102的长度，所述罩壳112的内径大于所述轴承放置孔201被所述支撑单元101撑开后的孔径，可以将所述软体刷部102完全内含，使所述软体刷部102从头到尾都被所述罩壳112完全罩住。当将所述罩壳112罩设到所述软体刷部102外侧时，所述罩壳112也不会与所述软体刷部102相接触，不会对软体刷部102的刷体造成污染，也不会挤压所述软体刷部102，使所述软体刷部102的轴承放置孔201被撑开时的尺寸受到影响。

在一种具体实施方式中，所述罩壳112的长度适宜，使得穿过所述软体刷部102的抽条104的两端可以外露于所述罩壳112，以便用户在抽条104的第二端302抽拉、抬起所述抽条104，改变所述软体刷部102被抽条104的第二端302撑开的轴承放置孔201的孔径大小，从而便于用户将轴承103放入到所述软体刷部102的轴承放置孔201中。

在一种具体实施方式中，所述罩壳112为透明罩壳，使得用户能够直接获知罩设在所述透明罩壳中的软体刷部102的情况，包括支撑情况等。实际上，也可以根据需要将所述罩壳112设置成非透明材质，或者设置成半透明材质等。

在将轴承103放置到所述软体刷部102的轴承放置孔201中时，需要调整所述软体刷部102的刷体上的纹路，使纹路与轴承103的长度方向相同，或呈一定夹角。通过设置透明罩壳，用户可随时获知所述软体刷部102的刷体上的纹路与轴承103之间的位置关系，可进行实时调整，使符合需求。

所述罩壳112相对于所述底座105的可拆卸，是通过设置在所述罩壳112一端的第三侧壁110，以及设置在所述底座105上的拉杆107的相互配合来实现的。所述第三侧壁110挖有孔洞，满足所述罩壳112的一个端口外露的需求，且孔洞的大小与外露的端口的大小一致。

具体的，所述第三侧壁110上设置有通孔111，与所述拉杆107的尺寸相匹配，所述通孔111可相对所述拉杆107发生滑移，当滑移至脱离与所述拉杆107的套接关系时，所述罩壳112即脱离所述底座105，从底座105上拆卸了下来。这样，在所述罩壳112沾染上污渍时，可随时进行拆洗，而不需要对所述键合刷安装设备整体进行拆洗。

在一种具体实施方式中，所述拉杆107的长度方向与所述罩壳112的长度方向相一致，第三侧壁110沿所述拉杆107的长度方向运动时，所述罩壳112即相对于所述底座105发生沿所述罩壳112长度方向的运动。

在一种具体实施方式中，所述第三侧壁110上设置有两个通孔111，所述底座105上设置有两根拉杆107，通孔111和拉杆107之间的位置相互匹配，尺寸也相互配合，使得所述第三侧壁110的两个通孔111可分别被两根拉杆107穿过。通过设置多组通孔111和拉杆107，使得所述罩壳112安装至所述底座105时更加稳定，在相对于拉杆抽拉所述罩壳112的过程中，所述罩壳112也不会轻易发生晃动，不会造成罩壳112与罩壳112内部放置的软体刷部102的碰触，因此罩壳112也不会对软体刷部102造成污染。

在一种具体实施方式中，所述罩壳112还包括设置在所述罩壳112另一端的第二侧壁109，与所述第三侧壁110相对，也设置有通孔111供拉杆107穿过，所述第二侧壁109也挖有孔洞，满足所述罩壳112的另一个端口外露的需求，且孔洞的大小与外露的端口的大小一致。通过设置第二侧壁109，使得所述罩壳112的两端相对于所述底座105的高度相等，在将所述罩壳112罩设至所述软体刷部102外侧时，所述罩壳112的第一端和第二端都不会与被所述罩壳112罩设住的软体刷部102相接触。

在一种更优的具体实施方式中，第二侧壁109的孔洞的内侧也设置有与水平方向平行的柱状体，所述柱状体内凹形成插孔202，用于插接所述抽条104的第二端。这样，即使抽条104的硬度不够，各抽条104的第二端302的距离由于抽条的自然垂落而与各抽条104的第一端301的距离不等，所述插孔202也可以给所述抽条104的第二端302以卡嵌作用，使得各抽条104的第二端302之间的距离得以保障，从而使得被所述抽条104撑开的软体刷部102的轴承放置孔201的孔径大小得以保障。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。