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一种可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈的制作方法

2021-10-09 17:47:00 来源:中国专利 TAG:氮化 线圈 加热 感应 旋转式


1.本实用新型涉及一种可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈。


背景技术:

2.氮化铝单晶作为第三代宽禁带半导体材料,具有宽带隙、高热导率、高载流子饱和漂移速度、耐高温、高抗辐射能力等特点,在制作现代大功率微电子器件、光电子领域(如深紫外led)、高功率电子器件及紫外探测等高端科技领域具备广阔的应用前景。
3.目前,制备块状氮化铝单晶通常采用氮化铝长晶炉,使用感应加热炉生长氮化铝单晶时,感应线圈通常是固定位置的,不会移动,在进行热场时为了加热均匀通常需要工作人员拿住加热钳不停的转动装有氮化铝的坩埚筒,整个过程费时费力。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是提供一种可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈。
5.上述的目的通过以下的技术方案实现:
6.一种可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,其组成包括:支撑横板、调节板、左侧板和右侧板,所述的支撑横板的两端分别与左侧板和右侧板垂直连接,所述的支撑横板的顶部中间位置垂直连接有螺纹杆,所述的螺纹杆的两侧连接有限位杆,所述的螺纹杆穿过调节板的插孔,所述的限位杆穿过调节板的限位插孔,所述的调节板的顶部连接有立板,所述的立板与左滚动轴承的外环面和右滚动轴承的外环面固定连接,所述的左滚动轴承的内环面固定连接有螺纹套,所述的右滚动轴承的内环面固定连接有转杆,所述的螺纹套与所述的转杆的圆心在同一水平面上。
7.所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,所述的螺纹套内旋入有螺纹推杆,所述的螺纹推杆的一端与左顶板连接,所述的转杆与右顶板连接,所述的螺纹推杆的端部垂直连接有转盘,所述的转盘与转杆垂直连接。
8.所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,所述的螺纹杆上旋入有蝶形螺母,所述的蝶形螺母与所述的调节板的底部贴合。
9.所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,所述的左侧板的高度小于右侧板的高度。
10.本实用新型所达到的有益效果是:
11.1.本实用新型在使用时,将工件(导电材料)放置在左顶板和右顶板之间,然后按住螺纹套,转动螺纹推杆,使螺纹推杆在螺纹套内转动,螺纹推杆的端部与左顶板连接,因此当螺纹推杆在水平移动时会推动左顶板水平移动,固定后导电材料置于线圈内部,启动交流电源,将金属件加热至通红,甚至熔融状态,利用电磁感应的方法使被加热的材料内部产生电流,依靠涡流的能量达到加热目的,线圈和电源相连,电源为线圈提供交变电流,流过线圈的交变电流产生一个通过工件的交变磁场,该磁场使工件产生涡流来加热,在加热过程中转动转把,转把通过转盘带动螺纹套转动,螺纹套与左滚动轴承内环面连接,转杆与
右滚动轴承的内环面固定连接,能够使工件在线圈内进行顺指针转动或逆时针转动,对工件加热更加均匀,当工件均匀加热后使工件具有表面质量好,脆性好、表面不易氧化脱碳,变形小等优点。
12.2.本实用新型的左侧板的高度低于右侧板的高度,当需要对有氮化铝的坩埚筒进行加热时,将装置竖直放置,使右侧板与地面平行进行支撑,将有氮化铝的坩埚筒放置在左顶板和右顶板之间,同样转动转耙,会使设置在左顶板和右顶板之间的有氮化铝的坩埚筒进行顺指针转动或逆时针转动。使长晶过程中的坩埚热场更加均匀。
13.3.本实用新型在支撑横板的顶部设置有螺纹杆,螺纹杆上旋入有蝶形螺母,通过调节蝶形螺母能够调节调节板的高度,而与支撑横板连接的限位杆穿过支撑横板上的限位插孔,能够使调节板进行调节时保证装置的整体稳定性。
附图说明
14.附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
15.附图1是本实用新型的结构示意图;
16.附图2是附图1使用时的结构示意图;
17.附图3是附图2的主视图;
18.附图4是左滚动轴承与螺纹推杆的连接示意图;
19.附图5是附图1对氮化铝的坩埚筒加热时的结构示意图;
20.附图6是螺纹推杆的结构示意图;
21.附图7是左顶板的结构示意图; 图中:1、支撑横板,2、调节板,3、左侧板,4、右侧板,5、螺纹杆,6、插孔,7、限位插孔,8、立板,9、左滚动轴承,10、右滚动轴承,11、螺纹套,12、转杆,13、螺纹推杆,14、左顶板,15、右顶板,16、转盘,17、转把,18、蝶形螺母,19、交流电源。20、感应加热线圈,21、限位杆。
具体实施方式
22.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
23.实施例1:
24.一种可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,其组成包括:支撑横板1、调节板2、左侧板3和右侧板4,所述的支撑横板的两端分别与左侧板和右侧板垂直连接,所述的支撑横板的顶部中间位置垂直连接有螺纹杆5,所述的螺纹杆的两侧连接有限位杆21,所述的螺纹杆穿过调节板的插孔6,所述的限位杆穿过调节板的限位插孔7,所述的调节板的顶部连接有立板8,所述的立板与左滚动轴承9的外环面和右滚动轴承10的外环面固定连接,所述的左滚动轴承的内环面固定连接有螺纹套11,所述的右滚动轴承的内环面固定连接有转杆12,所述的螺纹套与所述的转杆的圆心在同一水平面上。
25.实施例2:
26.根据实施例1所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,所述的螺纹套内旋入有螺纹推杆13,所述的螺纹推杆的一端与左顶板14连接,所述的转杆与右顶板15连接,
所述的螺纹推杆的端部垂直连接有转盘16,所述的转盘与转把17垂直连接。
27.实施例3:
28.根据实施例1或2所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,所述的螺纹杆上旋入有蝶形螺母18,所述的蝶形螺母与所述的调节板的底部贴合。
29.实施例4:
30.根据实施例1或2或3所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,所述的左侧板的高度小于右侧板的高度。


技术特征:
1.一种可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,其组成包括:支撑横板、调节板、左侧板和右侧板,其特征是:所述的支撑横板的两端分别与左侧板和右侧板垂直连接,所述的支撑横板的顶部中间位置垂直连接有螺纹杆,所述的螺纹杆的两侧连接有限位杆,所述的螺纹杆穿过调节板的插孔,所述的限位杆穿过调节板的限位插孔,所述的调节板的顶部连接有立板,所述的立板与左滚动轴承的外环面和右滚动轴承的外环面固定连接,所述的左滚动轴承的内环面固定连接有螺纹套,所述的右滚动轴承的内环面固定连接有转杆,所述的螺纹套与所述的转杆的圆心在同一水平面上。2.根据权利要求1所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,其特征是:所述的螺纹套内旋入有螺纹推杆,所述的螺纹推杆的一端与左顶板连接,所述的转杆与右顶板连接,所述的螺纹推杆的端部垂直连接有转盘,所述的转盘与转把垂直连接。3.根据权利要求2所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,其特征是:所述的螺纹杆上旋入有蝶形螺母,所述的蝶形螺母与所述的调节板的底部贴合。4.根据权利要求2所述的可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,其特征是:所述的左侧板的高度小于右侧板的高度。

技术总结
本实用新型涉及一种可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈。目前,制备块状氮化铝单晶时感应线圈通常是固定位置的,在进行热场时为了加热均匀通常需要工作人员不停的转动装有氮化铝的坩埚筒,整个过程费时费力。一种可旋转式的氮化铝长晶炉用感应加热线圈,其组成包括:支撑横板(1)、调节板(2)、左侧板(3)和右侧板(4),支撑横板的两端分别与左侧板和右侧板垂直连接,支撑横板的顶部中间位置垂直连接有螺纹杆(5),螺纹杆的两侧连接有限位杆(5),螺纹杆穿过调节板的插孔(6),限位杆穿过调节板的限位插孔(7),调节板的顶部连接有立板(8),立板与左滚动轴承(9)的外环面和右滚动轴承(10)的外环面固定连接。本实用新型应用于金属制造领域。属制造领域。属制造领域。


技术研发人员:ꢀ(51)Int.Cl.C30B35/00
受保护的技术使用者:哈尔滨化兴软控科技有限公司
技术研发日:2021.02.24
技术公布日:2021/10/8
再多了解一些

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