多晶硅生长炉电极组件结构的制作方法

1.本实用新型涉及一种应用于多晶硅生长炉上的电极组件，具体地说是一种多晶硅生长炉电极组件结构。


背景技术：

2.电极组件是多晶硅生长炉必备的部件，现有的电极组件通常都包括电极体、陶瓷压环等部件，但是对于其整体结构来说，通常都十分复杂，密封可靠性也很差，因此，拆装、更换都十分不便，尤其是在多晶硅生长炉的实际生产中，由于电极组件是个需要经常拆装清洗的结构，而应用于电极组件上的绝缘陶瓷压环多为圆筒状的，因此在应用于实际生产中，经常出现积灰现象而导致清理不干净的问题，同时结构设计的局限性，使其在高度上距离不足的情况下容易拉弧，安全性差，因此，对于设备规格越大的多晶硅生长炉，该圆筒状的绝缘陶瓷压环应用就越是不方便。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构设计巧妙合理、密封可靠性好、能够有效改善积灰现象、延长使用寿命并且安全性高的多晶硅生长炉电极组件结构。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型的多晶硅生长炉电极组件结构，包括电极座、电极体、绝缘衬套和绝缘座套，电极体套装绝缘衬套和绝缘座套并穿过电极座，电极体的一端套装有压在绝缘衬套外端面上的具有外环槽的陶瓷压环，电极体的另外一端套装压紧环后并压在绝缘座套的外端面上。
5.所述陶瓷压环上下两端的端面上设置有垫片槽，所述陶瓷压环上两端的垫片槽内安置有平垫片。
6.所述绝缘衬套和绝缘座套的接触面之间设置有相互配合的凸起和凹腔，所述绝缘衬套和绝缘座套的接触面之间安置有o型圈ⅰ和o型圈ⅱ形成两道密封。
7.所述压紧环设置有两片，两片压紧环之间安置有弹簧垫，所述电极体上固定安装有能够压紧压紧环的锁紧法兰。
8.所述电极体上安装有位于电极座一端的进出水口组件。
9.所述陶瓷压环外安装有外套，所述电极体上套装有与外套配合的隔热环。
10.所述电极体上设置有一段位于陶瓷压环一侧的台阶面，所述陶瓷压环压在台阶面和电极座之间，所述隔热环压在台阶面上对电极体进行限位。
11.所述电极体上安装有位于陶瓷压环一侧的石墨夹具。
12.本发明的优点在于：
13.通过特殊结构的与电极体密切配合的绝缘衬套、绝缘座套以及锁紧结构，由此可使得电极体可靠锁定紧固，再加上通过陶瓷压环及垫片与电极体配合结构设计，将绝缘套、绝缘座套、陶瓷压环结构相互关联，不但使得陶瓷压环与电极体、电极座均能达到密封效果，而且简化了电极结构，拆装更换方便清洗及维修且都十分方便，更大限度的保证了电极
组件的使用寿命；另外，陶瓷压环的周向表面设计为内凹型表面，避免了有效的改善了陶瓷压环表面的积灰现象，减少了工人拆装清洗时的工作量，解决了陶瓷压环的清洗困难问题，有效延长陶瓷压环的使用寿命；且增大了爬电距离，使其更能有效地保证电极通电的安全、性能以及高效的工作。
附图说明
14.图1为本发明多晶硅生长炉电极组件结构的剖面结构示意图。
15.图中1
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冷却水进出口组件；2
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锁紧螺栓；3
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锁紧法兰；4
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弹簧垫； 5
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压紧环；6
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绝缘座套；7
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o型圈ⅰ；8
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o型圈ⅱ；9
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平垫片；10
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陶瓷压环；11
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绝缘衬套；12
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隔热环；13
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电极体；14
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石墨夹具；15
‑
电极座。
具体实施方式
16.下面结合附图和具体实施方式，对本发明的多晶硅生长炉电极组件结构作进一步详细说明。
17.如图所示，本发明的多晶硅生长炉电极组件结构，包括电极体13、电极座15、陶瓷压环10、绝缘衬套11、绝缘座套6、压紧环5、弹簧垫 4、锁紧法兰3、锁紧螺栓2等，陶瓷压环10上下两端的端面上设置有垫片槽，陶瓷压环10上两端的垫片槽内可以安置有平垫片9，电极体 13套装绝缘衬套11和绝缘座套6并穿过电极座15，其中，本实施例中所说的上、下，上端(面)、下端(面)、上部、下部等是指图1中所示方位，电极体13的中上部设置有台阶面，电极体13套装有陶瓷压环10 后使陶瓷压环10的上端面与电极体13的台阶面接触，陶瓷压环10的下端面与电极座15的上端面接触，也就是说陶瓷压环10压在电极座15 的台阶面和电极座15之间，绝缘衬套11的下端具有一段缩颈段，该缩颈段也可称之为凸起，绝缘座套6的上端设置有一段与绝缘衬套11配合的凹腔，也就是说绝缘衬套11和绝缘座套6的接触面之间设置有相互配合并且在安装时在绝缘衬套11和绝缘座套6的接触面之间安置有一个位于凹腔顶面和缩颈段后部外侧之间的o型圈ⅱ8以及一个位于缩颈段端面和凹腔内底面之间的o型圈ⅰ7，从而形成两道密封，绝缘座套6的下端面设置有能够限位在电极座15下端面上的凸缘段，所说的压紧环5设置有两片，两片压紧环之间安置有弹簧垫4，电极体13的下端套装压紧环5后并压在绝缘座套6的凸缘段的外端面上，电极体13 上具有一段外螺纹，锁紧法兰3具有与电极体13的外螺纹配合的内螺纹，同时，锁紧法兰3上排不有螺纹孔，锁紧法兰3安装在电极体13 上并通过螺纹孔内串接锁紧螺栓2，由此可以利用锁紧螺栓2对压紧环 5进行压紧，另外，所说的陶瓷压环10的外圆周表面具有外环槽，该外环槽形成内凹型表面，可以很好的避免积灰现象；陶瓷压环的爬电距离增加，有效的避免了拉弧现象，由此最大限度的保证了电极体的载流量、电极装置的绝缘要求、避免了多晶硅生产时陶瓷压环的积灰问题、避免了拉弧现象，同时，在满足使用条件下，该结构组装灵活，固定可靠；且便于拆装、更换及清洗，提高了使用效率。
18.组装时，陶瓷压环10上下两端垫片槽放入平垫片9，与电极体13 一起穿过电极座15，电极体13外部套入绝缘衬套11，放入o型圈ⅰ7 和o型圈ⅱ8，再套入绝缘座套6(绝缘衬套11和绝缘座套6之间卡入 o型圈ⅰ7和o型圈ⅱ8)，再依次套入压紧环5、弹簧垫4、锁紧法兰3，锁紧法兰3自带内螺纹与电极体13外螺纹部分固定，锁紧螺栓2穿过锁紧法兰3螺纹孔作用
于压紧环5上而传递到整个电极装置实现平垫片 9处密封，这样便实现了整个电极装置与电极座很好的相连且保证密封性；并且通过锁紧法兰3和锁紧螺栓2的共同作用力下，使得陶瓷压环 10与电极体13和电极座15之间的平垫片9越压越紧实现密封，即：通过锁紧螺栓越拧入受力越大实现平垫片9处密封，电极体13的下端再拧入进出水口组件1，由于陶瓷压环10外安装有外套，电极体13上套装有与外套配合的隔热环12，由图可见，隔热环12压在台阶面上对电极体13进行限位，电极体13的上端套装有石墨夹具14，由此在上端套上隔热环12和石墨夹具14，即完成组装；拆装清洗时，依次拆卸锁紧螺栓2、锁紧法兰3、压紧环5、弹簧垫4、绝缘座套6、o型圈ⅰ7和o 型圈ⅱ8、绝缘衬套11、陶瓷压环10和平垫片9，再抽出电极体13即可完成拆卸。
19.补充说明：
20.1、仔细核实文字内容描述是否正确，如有错误用红色字体修改，核实蓝色字体部分描述是否正确，如有修改用红色字体修改。