一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片的制作方法

技术特征：
1.一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，包括外壳(1)和卡块(7)，其特征在于：所述外壳(1)的外壁两侧均设置有第一合页(2)，且第一合页(2)的一侧设置有防护盖(3)，所述防护盖(3)的外壁设置有第二合页(4)，且第二合页(4)的一侧设置有固定片(5)，同时固定片(5)的外壁均设置有螺纹孔(6)，所述卡块(7)均设置在外壳(1)的外壁一侧，且外壳(1)的另一侧外壁均设置有卡槽(8)，所述外壳(1)的外壁均设置有第一魔术贴(9)，且第一魔术贴(9)的外壁设置有聚氨酯层(10)，所述聚氨酯层(10)的外壁均设置有第二魔术贴(11)，且第二魔术贴(11)的外壁设置有薄膜(12)，所述薄膜(12)的后方外部两侧均设置有线路(13)，且线路(13)的内侧设置有螺纹板(14)，同时螺纹板(14)的外壁均贯穿有固定螺栓(15)。2.根据权利要求1所述的一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述防护盖(3)、第一合页(2)与外壳(1)构成旋转结构，且第一合页(2)在防护盖(3)一侧呈等间距分布。3.根据权利要求1所述的一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述固定片(5)、第二合页(4)与防护盖(3)构成旋转结构，且螺纹孔(6)在固定片(5)外壁呈等间距分布。4.根据权利要求1所述的一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述卡块(7)通过卡槽(8)与外壳(1)卡合连接，且卡块(7)以外壳(1)的中轴线对称设置。5.根据权利要求1所述的一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述聚氨酯层(10)通过第一魔术贴(9)与外壳(1)活动连接，且外壳(1)的尺寸与聚氨酯层(10)的尺寸相吻合。6.根据权利要求1所述的一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述薄膜(12)通过第二魔术贴(11)与外壳(1)活动连接，且外壳(1)的尺寸与薄膜(12)的尺寸相吻合。7.根据权利要求1所述的一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，其特征在于：所述螺纹板(14)通过固定螺栓(15)与外壳(1)螺纹连接，且螺纹板(14)与外壳(1)为平行分布。

技术总结
本实用新型公开了一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，包括外壳和卡块，所述外壳的外壁两侧均设置有第一合页，且第一合页的一侧设置有防护盖，所述防护盖的外壁设置有第二合页，且第二合页的一侧设置有固定片，同时固定片的外壁均设置有螺纹孔，所述卡块均设置在外壳的外壁一侧，且外壳的另一侧外壁均设置有卡槽。该电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，通过外壳、第一合页、防护盖、第二合页、固定片和螺纹孔的设置，在使用时可以对外壳起到有效的防护作用，避免重物撞击到外壳上导致损坏无法使用，同时在防护后可以对防护盖进行固定，避免因晃动导致防护盖自动打开失去防护效果，便于固定可以避免这类情况发生。便于固定可以避免这类情况发生。便于固定可以避免这类情况发生。


技术研发人员：朱健 王丹丹 周智君
受保护的技术使用者：苏州铟菲半导体科技有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/10/8