一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片的制作方法

一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片
技术领域
1.本实用新型涉及光学元件相关技术领域，具体为一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片。


背景技术：

2.传统的光学元件基于光波的折射和反射原理，对入射光进行调制，从而实现工作光波前的聚焦、成像、分色等光学功能。传统光学元件的尺寸通常为工作波长的几百倍甚至上千倍，所以体积庞大、质量大、功能单一，一般采用机械的铣、磨、抛光等方式加工，工艺复杂，成本较高。后来，人们通过探索相位累计效应以外的新机理实现波束偏转，超表面便应运而生。超表面是一种通过控制波前相位、振幅以及偏振进行波束调控的新结构，在其最初研究者虞南方的论文中被定义为“能够使一束光在自由空间波长范围内产生相位、振幅及偏振突变效应的超薄平面光学元件”。其不仅突破了传统材料电磁属性，其二维平面结构为纳米光学器件集成化，小型化提供了便利。mems微振镜目前已经广泛应用在激光雷达、激光微投影、医用内窥镜、3d相机等领域中，但是微透镜镜面一般只起到反射作用，并没有对入射光线进行编辑的能力，若将超表面结构制备到镜面之中，其作为一种新型的平面光学设备，通过元表面和微机电系统的组合提供主动控制，可广泛应用于微型化的基于mems的显微镜系统、激光雷达扫描仪和投影系统之中。目前在国内还没有见到类似专利及文献。
3.但是目前使用的电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，在使用时大都防护效果均不好，容易发生外壳被撞击损坏等情况，同时不能在防护后进行固定，容易发生防护盖自动打开，失去防护效果。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，以解决上述背景技术中提出的目前使用的电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，在使用时大都防护效果均不好，容易发生外壳被撞击损坏等情况，同时不能在防护后进行固定，容易发生防护盖自动打开，失去防护效果的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，包括外壳和卡块，所述外壳的外壁两侧均设置有第一合页，且第一合页的一侧设置有防护盖，所述防护盖的外壁设置有第二合页，且第二合页的一侧设置有固定片，同时固定片的外壁均设置有螺纹孔，所述卡块均设置在外壳的外壁一侧，且外壳的另一侧外壁均设置有卡槽，所述外壳的外壁均设置有第一魔术贴，且第一魔术贴的外壁设置有聚氨酯层，所述聚氨酯层的外壁均设置有第二魔术贴，且第二魔术贴的外壁设置有薄膜，所述薄膜的后方外部两侧均设置有线路，且线路的内侧设置有螺纹板，同时螺纹板的外壁均贯穿有固定螺栓。
6.优选的，所述防护盖、第一合页与外壳构成旋转结构，且第一合页在防护盖一侧呈等间距分布。
7.优选的，所述固定片、第二合页与防护盖构成旋转结构，且螺纹孔在固定片外壁呈等间距分布。
8.优选的，所述卡块通过卡槽与外壳卡合连接，且卡块以外壳的中轴线对称设置。
9.优选的，所述聚氨酯层通过第一魔术贴与外壳活动连接，且外壳的尺寸与聚氨酯层的尺寸相吻合。
10.优选的，所述薄膜通过第二魔术贴与外壳活动连接，且外壳的尺寸与薄膜的尺寸相吻合。
11.优选的，所述螺纹板通过固定螺栓与外壳螺纹连接，且螺纹板与外壳为平行分布。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
13.1、该电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，通过外壳、第一合页、防护盖、第二合页、固定片和螺纹孔的设置，在使用时可以对外壳起到有效的防护作用，避免重物撞击到外壳上导致损坏无法使用，同时在防护后可以对防护盖进行固定，避免因晃动导致防护盖自动打开失去防护效果，便于固定可以避免这类情况发生；
14.2、该电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，通过卡块与卡槽的设置，在使用时可以对外壳起到有效的拼接作用，可以根据使用需求来对外壳的尺寸进行调整，使用极为便利；
15.3、该电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，通过螺纹板与固定螺栓的设置，在使用时可以对外壳起到有效的便于安装作用，避免安装需耗费工人大量时间来进行安装，导致使用不便利，便于安装可以有效的避免这类情况发生。
附图说明
16.图1为本实用新型正视剖视结构示意图；
17.图2为本实用新型正视外观结构示意图；
18.图3为本实用新型防护盖与第一合页相互配合结构示意图；
19.图4为本实用新型图1中a处放大结构示意图。
20.图中：1、外壳；2、第一合页；3、防护盖；4、第二合页；5、固定片；6、螺纹孔；7、卡块；8、卡槽；9、第一魔术贴；10、聚氨酯层；11、第二魔术贴；12、薄膜；13、线路；14、螺纹板；15、固定螺栓。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种技术方案：一种电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，包括外壳1和卡块7，外壳1的外壁两侧均设置有第一合页2，且第一合页2的一侧设置有防护盖3，防护盖3的外壁设置有第二合页4，且第二合页4的一侧设置有固定片5，同时固定片5的外壁均设置有螺纹孔6，卡块7均设置在外壳1的外壁一侧，且外壳1的另一侧外壁均设置有卡槽8，外壳1的外壁均设置有第一魔术贴9，且第一魔术贴9的外壁设置有聚
氨酯层10，聚氨酯层10的外壁均设置有第二魔术贴11，且第二魔术贴11的外壁设置有薄膜12，薄膜12的后方外部两侧均设置有线路13，且线路13的内侧设置有螺纹板14，同时螺纹板14的外壁均贯穿有固定螺栓15。
23.进一步的，防护盖3、第一合页2与外壳1构成旋转结构，且第一合页2在防护盖3一侧呈等间距分布，通过外壳1、第一合页2和防护盖3的设置，在使用时可以对外壳1起到有效的防护作用，避免重物撞击到外壳1上导致损坏无法使用。
24.进一步的，固定片5、第二合页4与防护盖3构成旋转结构，且螺纹孔6在固定片5外壁呈等间距分布，通过第二合页4、固定片5和螺纹孔6的设置，在使用可以对防护盖3进行固定，避免因晃动导致防护盖3自动打开失去防护效果，便于固定可以避免这类情况发生。
25.进一步的，卡块7通过卡槽8与外壳1卡合连接，且卡块7以外壳1的中轴线对称设置，通过卡块7与卡槽8的设置，在使用时可以对外壳1起到有效的拼接作用，可以根据使用需求来对外壳1的尺寸进行调整，使用极为便利。
26.进一步的，聚氨酯层10通过第一魔术贴9与外壳1活动连接，且外壳1的尺寸与聚氨酯层10的尺寸相吻合，通过聚氨酯层10的设置，将聚氨酯层10安装到外壳1外壁，使用第一魔术贴9对其进行固定，以便于对外壳1起到有效的防潮作用。
27.进一步的，薄膜12通过第二魔术贴11与外壳1活动连接，且外壳1的尺寸与薄膜12的尺寸相吻合，通过薄膜12的设置，将薄膜12安装到外壳1外壁，使用第二魔术贴11对其进行固定，以便于对外壳1起到有效的耐磨作用。
28.进一步的，螺纹板14通过固定螺栓15与外壳1螺纹连接，且螺纹板14与外壳1为平行分布，通过螺纹板14与固定螺栓15的设置，在使用时可以对外壳1起到有效的便于安装作用，避免安装需耗费工人大量时间来进行安装，导致使用不便利，便于安装可以有效的避免这类情况发生。
29.工作原理：对于这类电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片，首先将聚氨酯层10安装到外壳1外壁，使用第一魔术贴9对其进行固定，以便于对外壳1起到有效的防潮作用，再将薄膜12安装到外壳1外壁，使用第二魔术贴11对其进行固定，以便于对外壳1起到有效的耐磨作用，然后根据使用需求将外壳1与另一外壳1进行拼接，用力按入使卡块7卡入卡槽8内部进行固定，以便于起到便于拼接的作用，其次将外壳1移动到合适位置，使用固定螺栓15贯穿拧入螺纹板14与所需连接装置内部进行固定，以便于对外壳1起到便于安装的作用，当使用完毕后，将防护盖3向一侧拉动，第一合页2带动防护盖3向一侧旋转关闭对外壳1起到防护作用，此时将螺丝拧入螺纹孔6与防护盖3内部进行固定，就这样完成整个电磁驱动mems超表面结构镜面微振镜芯片的使用过程。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。