一种可调节长度的遮罩的制作方法

1.本实用新型涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种可调节长度的遮罩。


背景技术：

2.在半导体的多源蒸镀作业中，为了延长晶振片的使用寿命和避免其他蒸镀源对测试结果造成影响，通常会在晶振片的前端安装遮罩。遮罩的长度对于检测数据的准确性有非常大的影响：遮罩过长，会使蒸镀物质被遮罩所吸收导致到达晶振片上的蒸发物数量少，造成厚度检测数据不准确；遮罩过短，不能有效的阻挡其他蒸镀源对晶振片的干扰，同样会造成厚度检测数据不准确。
3.但是，产品测试阶段，无法预先确定遮罩的合适长度，而每个长度的遮罩都制作，又会造成材料的浪费，且不能保证产品一致性。
4.因此，如何选择一个合适长度的遮罩，是本领域急需解决的技术难题。


技术实现要素：

5.根据本实用新型的目的提出的一种可调节长度的遮罩，罩设于晶振探头的前端，包括上遮罩、下遮罩以及调节装置。
6.所述上遮罩罩设于晶振探头外，并与晶振探头固定连接。
7.所述下遮罩套设于上遮罩远离与晶振探头连接的一端，在调节装置的带动下，相对于上遮罩上下移动。
8.所述调节装置包括滑筒和滑杆；所述滑筒固定连接于上遮罩内壁，所述滑杆设置于下遮罩内壁，可伸入滑筒内，并沿滑筒上下移动、固定，从而带动下遮罩相对于上遮罩上下移动、固定，调节上遮罩与下遮罩位置关系。
9.优选的，所述下遮罩内固定连接有固定块，所述滑杆穿过固定块伸入滑筒内。
10.优选的，所述滑筒表面沿其延伸方向均布一排通孔；所述滑杆包括滑杆本体、移动杆、弹簧以及滚珠；所述滑杆本体为空心杆，其两端为半封闭的圆环，所述滑杆本体一端与固定块内壁固定连接，另一端伸入滑筒内，且表面成型有一过孔；所述移动杆设置于滑杆本体内，两端分别伸出滑杆本体，其中一端套设有弹簧，并于端部固定连接一按压块，另一端固定连接限位块，所述限位块与滑杆本体端部的圆环配合作用，限制移动杆的下移位置；所述移动杆上与滑杆本体上过孔相对应的位置处成型有斜槽，所述滚珠放置于斜槽内，在斜槽的作用下突出或收缩于滑杆本体，与滑筒上通孔配合，锁定或解除滑筒与滑杆的连接。
11.优选的，所述限位块为与滑杆本体螺纹连接的螺母，所述螺母外径大于滑杆本体端部圆环内径。
12.优选的，所述移动杆上沿其延伸方向成型有条形槽，所述滑杆本体内壁成型有与条形槽配合的条形嵌块，所述条形嵌块可嵌入条形槽内，以限制移动杆相对于滑杆本体的周向转动，并在移动杆的前后移动作用下于条形槽内滑动。
13.优选的，所述滑筒内壁成型有内螺纹，所述滑杆为法兰螺栓，其穿过固定块后伸入
滑筒，伸入滑筒的一端外壁成型有与内螺纹相匹配的外螺纹，所述滑筒与滑杆螺纹连接；所述滑杆远离滑筒的一端外表面成型有一环形挡块，所述环形挡块设置于固定块下，外径大于固定块内径。
14.优选的，所述调节装置为对称设置的两组。
15.优选的，所述上遮罩顶部其中一组相对面的边缘处向内折弯，形成卡勾，与晶振探头外表面上所成型的滑槽配合卡接固定。
16.优选的，所述上遮罩和下遮罩的表面均刻有刻度。
17.与现有技术相比，本实用新型公开的一种可调节长度的遮罩的优点是：
18.(1)该遮罩的长度可根据待保护晶振探头的长度合理调节，可实现对晶振探头做到全面有效的保护，提高了检测数据的准确性。
19.(2)该遮罩适用范围广，可适用于多种不同型号的产品。
附图说明
20.为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域中的普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可根据这些附图获得其他附图。
21.图1为实施例1结构图。
22.图2为实施例2结构图。
23.图3为实施例1中调节装置结构图。
24.图4为实施例1中滑杆结构图。
25.图中的数字或字母所代表的零部件名称为：
[0026]1‑
上遮罩；11
‑
卡勾；2
‑
下遮罩；3
‑
滑筒；31
‑
通孔；4
‑
滑杆；41
‑
滑杆本体；42
‑
移动杆；421
‑
按压块；422
‑
斜槽；43
‑
弹簧；44
‑
滚珠；45
‑
限位块；46
‑
环形挡块；5
‑
固定块。
具体实施方式
[0027]
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做简要说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。
[0028]
图1
‑
图4示出了本实用新型较佳的实施例，分别从不同的角度对其结构进行了详细的剖析。
[0029]
实施例1
[0030]
如图1、3、4所示的一种可调节长度的遮罩，罩设于晶振探头的前端，包括上遮罩1、下遮罩2以及调节装置。
[0031]
上遮罩1罩设于晶振探头外，并与晶振探头固定连接。具体的，上遮罩1顶部其中一组相对面的边缘处向内折弯，形成卡勾11，而晶振探头外表面上成型有与卡勾11配合的滑槽。卡勾11卡接于滑槽内，以实现上遮罩1与晶振探头的固定连接。
[0032]
下遮罩2套设于上遮罩1远离与晶振探头连接的一端，其内壁固定连接有固定块5。
该下遮罩2在调节装置的带动下，相对于上遮罩1上下移动，调节遮罩长度。上遮罩1和下遮罩2的表面均刻有刻度，上遮罩1与下遮罩2上读数相加，即可快速得出遮罩总长度，便于快速读数。
[0033]
调节装置为对称设置的两组，每组调节装置包括滑筒3和滑杆4。
[0034]
其中，滑筒3固定连接于上遮罩1内壁，表面沿其延伸方向均布一排通孔31。
[0035]
滑杆4设置于下遮罩2内壁，可穿过固定块5，并与固定块5固定连接后，伸入滑筒3内，并沿滑筒3上下移动、固定，从而带动下遮罩2相对于上遮罩1上下移动、固定，调节上遮罩1与下遮罩2位置关系。
[0036]
具体的，滑杆4包括滑杆本体41、移动杆42、弹簧43以及滚珠44。
[0037]
滑杆本体41为空心杆，其两端为半封闭的圆环。该滑杆本体41一端与固定块5内壁固定连接，另一端伸入滑筒3内，且表面成型有一过孔。
[0038]
移动杆42设置于滑杆本体41内，两端分别伸出滑杆本体41，其中一端套设有弹簧43，并于端部固定连接一按压块421，弹簧43设置于按压块421与滑杆本体41端部的圆环之间。在人力按下按压块421，移动杆42相对于滑杆本体41上移时，弹簧43在力的作用下进行收缩；在按压力消失后，弹簧43在其自身的弹性势能下复位，继而带动移动杆42相对于滑杆本体41下移复位。移动杆42另一端成型有外螺纹，固定连接限位螺母，且螺母于移动杆42上的位置相对固定。螺母外径大于滑杆本体41端部圆环内径，螺母与滑杆本体41端部的圆环配合作用，可限制移动杆42的下移位置，从而避免移动杆42在弹簧43的弹力作用下，移动复位过程中脱离滑杆本体41。
[0039]
移动杆42上与滑杆本体41上过孔相对应的位置处成型有斜槽422，滚珠44穿过过孔放置于斜槽422内，在斜槽422于移动杆42相对于滑杆本体41前后移动而前后移动的作用下，通过过孔收缩或突出于滑杆本体41，并与滑筒3上通孔31配合作用，解除或锁定滑筒3与滑杆4的连接，从而调整上遮罩1与下遮罩2的位置关系，调整遮罩长度。具体的，滚珠44直径等于过孔直径，其通过过孔放置于斜槽422后，于过孔边缘处安装一圈橡胶垫，以防止滚珠44突出于滑杆本体41时脱落。滚珠44在移动杆42移动作用下滚落至斜槽422最低点时的高度与滑杆本体41齐平。
[0040]
移动杆42上沿其延伸方向成型有条形槽，滑杆本体41内壁成型有与条形槽配合的条形嵌块，条形嵌块可嵌入条形槽内，以限制移动杆42相对于滑杆本体41的周向转动，从而保证滚珠44可突出于滑杆本体41进行限位。
[0041]
具体使用过程中，在需要移动下遮罩2时，按下按压块421，移动杆42相应向上移动，弹簧43在按压块421与滑杆本体41端部圆环的配合作用下收缩，滚珠44滑落至斜槽422最低点，解除滚珠44与通孔31的限位关系。上下移动下遮罩2至所需位置后，松开按压块421，弹簧43复位，移动杆42在弹簧43的作用下后移，滚珠44于斜槽422内移动至最高点，再次突出于滑杆本体41，与滑筒3上的通孔31配合作用，再次锁止下遮罩2，从而实现遮罩长度调节。
[0042]
实施例2
[0043]
如图2所示，其余与实施例1相同，不同之处在于：
[0044]
滑筒3内壁成型有内螺纹，滑杆4为法兰螺栓，其穿过固定块5后伸入滑筒3，伸入滑筒3的一端外壁成型有与内螺纹相匹配的外螺纹，滑筒3与滑杆4配合螺接，通过旋转螺栓可
调节遮罩长度。滑杆4远离滑筒3的一端外表面还成型有一环形挡块46，环形挡块46设置于固定块5下，外径大于固定块5内径。当需要缩短遮罩长度时，转动螺栓，环形挡块46推动固定块5，间接推动下遮罩2上移，同时也可限制下遮罩2的向下位移；当需要伸长遮罩长度时，反向旋转螺栓，环形挡块46相应下移，下遮罩2在自重作用下也相应下移，从而实现遮罩长度调节。
[0045]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0046]
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现和使用本实用新型。对这些实施例的多种修改方式对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，在其他实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。