一种新型匀胶显影机的制作方法

1.本发明涉及匀胶显影机领域，具体是涉及一种新型匀胶显影机。


背景技术：

2.在半导体行业中，光刻和显影是两个重要的步骤，显影过程在显影机上完成，显影过程就是将曝光后的光刻胶中与紫外光发生化学反应的部分取出或保留下来的过程，现有的匀胶显影机对于其内部各个点的温度和湿度无法做到保持一致，无法使其箱体内部达到恒温恒湿的效果，目前的匀胶显影机在冷却除湿方面，是通过一个装置对于箱体内部整体进行冷却除湿，对于各个点来说，未能完全的达到冷却除湿的效果。
3.现有的中国专利cn201921368772.5一种光刻胶匀胶显影机的冷却保温装置，包括安装在涂胶腔室内的吸盘和冷板，吸盘固定安装在转轴上，所述冷板可调节安装在吸盘的下端且对应转轴设有转轴穿透的圆孔，冷板下端通过托架固定安装在支架上并与升降气缸连接，升降气缸通过支架带动冷板的升降，冷板内设有循环降温的水道，水道通过进液管和出液管与冷却液供应箱连通。
4.根据上述的专利来看，对于匀胶显影机的温度通过水冷却进行降温，这样会产生很多的湿气，还没有对湿气进行调控的机构，这对于各个点的温湿度无法做到保持一致，因此，目前，需要一种能够使得匀胶显影机内部各个点的温湿度均保持一致的调控装置。


技术实现要素：

5.一、要解决的技术问题
6.本发明是针对现有技术所存在的上述缺陷，特提出一种新型匀胶显影机，解决了如何使得匀胶显影机内部各个点的温湿度均保持一致的问题。
7.二、技术方案
8.为解决上述技术问题，本发明提供一种新型匀胶显影机，包括：
9.箱体；
10.调控装置，用以将箱体内部各个点均保持恒温恒湿状态，设置在箱体上；
11.吸气风机，设置在箱体外部一侧，具有与调控装置连通的吸气软管；
12.送气风机，设置在箱体外部远离吸气风机的一侧，具有与调控装置连通的送气软管；
13.气体加热加湿装置，设置在送气风机的旁侧且与其输入端连通；
14.所述调控装置具有多个温湿调控组件，箱体上等间距分布设有多个温湿调控组件，每个温湿调控组件均包括：升降机构和温湿调控机构；
15.升降机构用以带动温湿调控机构伸入箱体内部，设置在箱体上；
16.温湿调控机构用以通过对箱体内各个点的温湿度检测随之进行调控处理，该温湿调控机构包括外筒和设置在外筒内部的气体输送机构以及设置在外筒外侧位于箱体内部一端的辅助调控机构；
17.辅助调控机构上设有用以感应箱体内部各个点温度和湿气的温湿感应机构。
18.优选地，升降机构包括：升降柱和升降驱动机构；
19.升降柱呈矩形柱结构，能够竖直移动的设置在一个底板上，箱体的顶部设有一个可拆卸的顶板，顶板上位于每个温湿调控组件处均设有一个矩形安装口，底板通过矩形安装口上的四个立柱以套设的形式安装在顶板上；
20.升降驱动机构具有一个齿条，该齿条沿着升降柱的长度方向安装在升降柱上；
21.底板上通过一个机架固定设有一个旋转电机，旋转电机的输出端固定设有一个驱动齿轮，并且驱动齿轮与齿条之间相互啮合；
22.齿条的两端分别设有一个用以限位的挡板。
23.优选地，外筒呈内部中空且两端贯通的圆筒状，升降柱沿着其长度方向贯通设有一个通口，外筒插设于升降柱的通口内，外筒的上半部通过一个安装板固定安装在升降柱的顶端，外筒的两端均螺纹连接有一个封闭盖，每个封闭盖与外筒的端部之间均设有一个密封垫圈。
24.优选地，气体输送机构包括有一个吸气硬管和一个送气硬管，吸气硬管和送气硬管均设置在外筒的内部，外筒上下端的封闭盖均同轴设置有两个气口，外筒下端的每个气口处且位于外筒的内部均安装有一个聚气斗，每个聚气斗上分别连通设有吸气硬管和送气硬管，吸气硬管和送气硬管的自由端穿过外筒顶端封闭盖的气口向外伸出，并且每个吸气硬管的伸出端均与吸气软管连通，每个送气硬管的伸出端均与送气软管连通。
25.优选地，吸气硬管和送气硬管的下端均设有一个电控阀门，外筒的内壁分别设有一个第一套管和一个第二套管，第一套管和第二套管分别套设在吸气硬管和送气硬管上，第一套管的内壁设有一个包裹于吸气硬管上的导热层，第二套管的内壁设有一个包裹于送气硬管上的隔热层，并且第一套筒上还设有一个用以加热的加热丝。
26.优选地，辅助调控机构包括有一个通气斗，该通气斗的小头端螺纹连接在外筒的底端，通气斗与外筒之间共轴线，通气斗的外壁上还设有若干个排气口，并且通气斗的大头端还安装有一个吸气风扇，通气斗的外侧还设有一个用以遮蔽若干个排气口的遮挡件。
27.优选地，遮挡件包括有一个遮挡漏斗，该遮挡漏斗能够转动且同轴套设在通气斗上，遮挡漏斗的小头端套设有一个套圈齿轮，套圈齿轮的旁侧啮合设有一个主动齿轮，升降柱的底端固定设有一个用以带动主动齿轮转动的驱动电机，并且遮挡漏斗上沿着其轴线的圆周方向均匀分布设有若干个与排气口相对应的条形口，每两个条形口之间均为能够遮挡相应排气口的封闭边。
28.优选地，温湿感应机构包括有一个温度传感器和湿度传感器，通气斗大头端两侧分别设有一个安装部，温度传感器和湿度传感器分别安装在一个安装部内，并且温度传感器和湿度传感器的输出端均面向下设置。
29.优选地，气体加热加湿装置包括有一个加热加湿箱，该加热加湿箱的顶部设有一个可拆卸的箱盖，加热加湿箱内设有一个过滤网，并且箱盖的顶部还设有一个连通于加热加湿箱内部的进气口。
30.优选地，吸气软管和多个吸气硬管之间通过一个并联管道并联连接，并且送气软管和送气硬管之间也通过一个并联管道并联连接。
31.三、有益效果
32.与现有技术相比，本发明通过吸气风机和调控装置的配合，实现了每个点的热气和湿气均能被更换，通过送气风机和调控装置的配合，实现了每个点能够可控的输送同等的热气和湿气，通过温湿感应机构，实现了对每个点温湿度的感应，保证了每个点能够在调控后保持温湿度一致，通过辅助调控机构，实现了气体输入和排出的效率提高；同时通过升降柱的竖直移动，使得温湿调控组件能够靠近相应点，也保证了温湿感应机构能够更好的感应该点温湿度情况，实现了对各点的温湿度调控效果更佳。
33.进一步，本发明通过吸气硬管和送气硬管对气体的排出和输入工作，实现了箱体内各个点的温湿度均能通过排气和输气的方式达到一致；通过电控阀门对吸气硬管和送气硬管的开合，实现了气体排出和输入的量的控制，保证箱体各点的温湿度均能得以控制，并且通过导热层和隔热层对吸气硬管和送气硬管的包裹，使得吸气硬管和送气硬管内的气体排出和输入均能正常流通；还通过通气斗与吸气风扇的配合，实现了气体排出效率的提高，同时通过通气斗上若干个排气口的作用，实现了气体输入时流通的效率提高，避免各个点只有正对吸气硬管和送气硬管的一处能够得到排气和输气的情况发生。
34.还通过温度传感器和湿度传感器对各点的温湿度感应，以便于温湿调控组件对该点的温湿度调控，实现了对各点温湿度情况的明确，并通过加热加湿箱对气体的加热加湿操作，使得气体输入箱体内各点时能够使得各点的温湿度得到补充，保证各点的温湿度均能达到一致，通过过滤网对空气杂质的过滤，使得箱体内的各点不会覆盖有灰尘。
附图说明
35.图1为本发明的立体结构示意图；
36.图2为本发明的主视图；
37.图3为本发明的侧视图；
38.图4为图3的a
‑
a处剖视图；
39.图5为温湿调控组件的立体结构示意图；
40.图6为温湿调控组件的主视图；
41.图7为温湿调控组件的侧视图；
42.图8为图7的b
‑
b处剖视图；
43.图9为升降机构的立体结构示意图；
44.图10为温湿调控机构的立体结构示意图；
45.图11为温湿调控机构的侧视图；
46.图12为图11的c
‑
c处剖视图；
47.图13为辅助调控机构的立体结构示意图；
48.图14为辅助调控机构的立体结构分解示意图；
49.图15为气体加热加湿装置的立体结构分解示意图。
50.图中标号为：箱体1、调控装置2、吸气风机3、吸气软管4、送气风机5、送气软管6、气体加热加湿装置7、升降机构8、外筒9、气体输送机构10、辅助调控机构11、温湿感应机构12、升降柱13、底板14、顶板15、齿条16、旋转电机17、驱动齿轮18、挡板19、封闭盖20、密封垫圈21、吸气硬管22、送气硬管23、聚气斗24、电控阀门25、第一套管26、第二套管27、导热层28、隔热层29、加热丝30、通气斗31、排气口32、吸气风扇33、遮挡漏斗34、套圈齿轮35、主动齿轮
36、驱动电机37、条形口38、温度传感器39、湿度传感器40、安装部41、加热加湿箱42、箱盖43、过滤网44、进气口45、并联管道46。
具体实施方式
51.下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
52.实施例1：
53.如图1～图4所示，本实施例的新型匀胶显影机，包括：
54.箱体1；
55.调控装置2，用以将箱体1内部各个点均保持恒温恒湿状态，设置在箱体1上；
56.吸气风机3，设置在箱体1外部一侧，具有与调控装置2连通的吸气软管4；
57.送气风机5，设置在箱体1外部远离吸气风机3的一侧，具有与调控装置2连通的送气软管6；
58.气体加热加湿装置7，设置在送气风机5的旁侧且与其输入端连通；
59.所述调控装置2具有多个温湿调控组件，箱体1上等间距分布设有多个温湿调控组件，每个温湿调控组件均包括：升降机构8和温湿调控机构；
60.升降机构8用以带动温湿调控机构伸入箱体1内部，设置在箱体1上；
61.温湿调控机构用以通过对箱体1内各个点的温湿度检测随之进行调控处理，该温湿调控机构包括外筒9和设置在外筒9内部的气体输送机构10以及设置在外筒9外侧位于箱体1内部一端的辅助调控机构11；
62.辅助调控机构11上设有用以感应箱体1内部各个点温度和湿气的温湿感应机构12。
63.具体的，匀胶显影机进行工作时，其内部各个点会产生不同的温度和湿度，为了使各个点的温湿度保持一致，各个点均安装有用以调控温湿度的温湿调控组件，在温湿调控组件工作时，温湿调控机构通过升降机构8伸入箱体1内部且靠近相应点，使得能够更好的调控温度和湿度，辅助调控机构11将该点的热气和湿气引至外筒9内，在吸气风机3的工作下，热气和湿气通过气体输送机构10随着吸气软管4被排出，在新的空气输送进箱体1时，送气风机5通过气体加热加湿装置7对空气的加热加湿，空气随之通过气体输送机构10输送至箱体1内，通过温湿感应机构12对该点温湿度的感应，确保每个点输入的气体温湿度一致，实现了气体的循环排出和排入，保证每个点的温湿度均能可控的达到一致。
64.如图5和图9所示，升降机构8包括：升降柱13和升降驱动机构；
65.升降柱13呈矩形柱结构，能够竖直移动的设置在一个底板14上，箱体1的顶部设有一个可拆卸的顶板15，顶板15上位于每个温湿调控组件处均设有一个矩形安装口，底板14通过矩形安装口上的四个立柱以套设的形式安装在顶板15上；
66.升降驱动机构具有一个齿条16，该齿条16沿着升降柱13的长度方向安装在升降柱13上；
67.底板14上通过一个机架固定设有一个旋转电机17，旋转电机17的输出端固定设有一个驱动齿轮18，并且驱动齿轮18与齿条16之间相互啮合；
68.齿条16的两端分别设有一个用以限位的挡板19。
69.具体的，对相应的点进行温湿度调控时，旋转电机17带动驱动齿轮18转动，由于驱动齿轮18和齿条16之间相互啮合，因此，升降柱13在底板14上向下移动，通过齿条16两端的挡板19，使得驱动齿轮18无法脱离齿条16，解决温湿调控组件无法靠近相对应的点导致调控效果不佳的技术问题。
70.如图10
‑
图12所示，外筒9呈内部中空且两端贯通的圆筒状，升降柱13沿着其长度方向贯通设有一个通口，外筒9插设于升降柱13的通口内，外筒9的上半部通过一个安装板固定安装在升降柱13的顶端，外筒9的两端均螺纹连接有一个封闭盖20，每个封闭盖20与外筒9的端部之间均设有一个密封垫圈21。
71.具体的，在气体进行排出排入过程中，封闭盖20通过密封垫圈21对外筒9端部的密封，使得箱体1内部的气体无法排出，箱体1外部的气体无法进入，保证箱体1处于封闭状态，以便于对箱体1内部气体温湿度的调控。
72.如图8和图12所示，气体输送机构10包括有一个吸气硬管22和一个送气硬管23，吸气硬管22和送气硬管23均设置在外筒9的内部，外筒9上下端的封闭盖20均同轴设置有两个气口，外筒9下端的每个气口处且位于外筒9的内部均安装有一个聚气斗24，每个聚气斗24上分别连通设有吸气硬管22和送气硬管23，吸气硬管22和送气硬管23的自由端穿过外筒9顶端封闭盖20的气口向外伸出，并且每个吸气硬管22的伸出端均与吸气软管4连通，每个送气硬管23的伸出端均与送气软管6连通。
73.具体的，温湿检测机构检测到各个点的温湿度过多时，吸气风机3工作，箱体1内各个点的气体通过辅助调控机构11来到聚气斗24随之引导至吸气硬管22处，气体随之通过吸气风机3的吸取随之将气体排出，使得各点的气体温湿度达到标准，在检测到各个点的温湿度过少时，送气风机5通过气体加热加湿装置7根据各点的情况进行气体的加热加湿，再通过送气硬管23排入各个点，直至该点的温湿度达到标准后停止输气，保证每个点的温湿度均能达到一致的标准。
74.如图8和图12所示，本实施例中，吸气硬管22和送气硬管23的下端均设有一个电控阀门25，外筒9的内壁分别设有一个第一套管26和一个第二套管27，第一套管26和第二套管27分别套设在吸气硬管22和送气硬管23上，第一套管26的内壁设有一个包裹于吸气硬管22上的导热层28，第二套管27的内壁设有一个包裹于送气硬管23上的隔热层29，并且第一套筒上还设有一个用以加热的加热丝30。
75.具体的，在气体排出和输送时，根据温湿感应机构12对各个点温湿度的感应，通过每个吸气硬管22和送气硬管23上的电控阀门25进行控制气体的流通，保证吸气风机3和送气风机5在同时对各个点排气和送气时均能控制该点是否需要排气或送气，避免气体排出过多或输气过少导致各点的温湿度无法达到一致的现象发生，在各点的温湿气体随着吸气硬管22排出时，加热丝30对第一套管26加热，第一套管26上的热气随之通过导热层28传播给吸气硬管22，使得吸气硬管22内的湿气无法凝结成水珠，从而保证湿气在吸气硬管22内排出时凝结成的水珠不倒流以及送气硬管23内的气体正常输送，送气硬管23由于隔热层29的包裹不会影响到气体的输入，实现了气体的正常排出和输入。
76.为了解决如何提高吸气和输气效率的技术问题，如图13和图14所示，提供以下技术方案：
77.辅助调控机构11包括有一个通气斗31，该通气斗31的小头端螺纹连接在外筒9的
底端，通气斗31与外筒9之间共轴线，通气斗31的外壁上还设有若干个排气口32，并且通气斗31的大头端还安装有一个吸气风扇33，通气斗31的外侧还设有一个用以遮蔽若干个排气口32的遮挡件。
78.具体的，各点的气体被吸出时，遮挡件处于遮挡状态，吸气风扇33预先将相应点的温湿气向着外筒9吸入，通过通气斗31的作用，使得吸气风扇33吸取气体的范围变广，加快了气体的吸出，新的气体输入时，遮挡件处于打开状态，通气斗31的若干个排气口32露出，输入的气体随之通过若干个排气口32排出，使得气体输入的效率提高，提高了气体排出和输入的效率。
79.为了解决如何露出通气斗31上若干个排气口32的技术问题，如图13和图14所示，提供以下技术方案：
80.遮挡件包括有一个遮挡漏斗34，该遮挡漏斗34能够转动且同轴套设在通气斗31上，遮挡漏斗34的小头端套设有一个套圈齿轮35，套圈齿轮35的旁侧啮合设有一个主动齿轮36，升降柱13的底端固定设有一个用以带动主动齿轮36转动的驱动电机37，并且遮挡漏斗34上沿着其轴线的圆周方向均匀分布设有若干个与排气口32相对应的条形口38，每两个条形口38之间均为能够遮挡相应排气口32的封闭边。
81.具体的，在气体输入时，为了使得输入的气体遍布于相应点，驱动电机37带动主动齿轮36转动，遮挡漏斗34在套圈齿轮35的作用下在通气斗31上转动，遮挡漏斗34转动后直至每个条形口38正对每组排气口32停止转动，输入的气体也随之能够通过条形口38广泛输入，实现了气体输入的广泛性。
82.实施例2：
83.相较于实施例1，如图12所示，本实施例中，温湿感应机构12包括有一个温度传感器39和湿度传感器40，通气斗31大头端两侧分别设有一个安装部41，温度传感器39和湿度传感器40分别安装在一个安装部41内，并且温度传感器39和湿度传感器40的输出端均面向下设置。
84.具体的，在升降柱13伸入箱体1内时，温度传感器39和湿度传感器40靠近对应的点，通过温度传感器39和湿度传感器40对该点的温湿度进行感应，以便于温湿调控组件对该点的温湿度调控。
85.如图15所示，气体加热加湿装置7包括有一个加热加湿箱42，该加热加湿箱42的顶部设有一个可拆卸的箱盖43，加热加湿箱42内设有一个过滤网44，并且箱盖43的顶部还设有一个连通于加热加湿箱42内部的进气口45。
86.具体的，在送气风机5吸取加热加湿箱42内的气体时，空气通过进气口45进入加热加湿箱42内，空气经过过滤网44进行过滤排出杂质，再通过加热加湿箱42对其进行加热加湿，保证输送的气体能够补充各点的温湿度。
87.如图2所示，吸气软管4和多个吸气硬管22之间通过一个并联管道46并联连接，并且送气软管6和送气硬管23之间也通过一个并联管道46并联连接。
88.具体的，在吸气风机3进行吸气时，吸气软管4由于通过并联管道46与多个吸气硬管22连通，再通过每个吸气硬管22电控阀门25的配合，使得每个点的气体被同时吸出的同时还能进行吸出量的调控，送气硬管23也通过同样的方式使得每个点的气体被同时输送的同时还能对输送的气体得到调控。
89.本发明通过吸气风机3和调控装置2的配合，实现了每个点的热气和湿气均能被更换，通过送气风机5和调控装置2的配合，实现了每个点能够可控的输送同等的热气和湿气，通过温湿感应机构12，实现了对每个点温湿度的感应，保证了每个点能够在调控后保持温湿度一致，通过辅助调控机构11，实现了气体输入和排出的效率提高，保证了每个点均能循环输入和输出气体的同时还实现了各个点对温湿度的把控保持一致。
90.以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。