使用色彩计量进行的基板的厚度测量的制作方法

技术特征：
1.一种用于获得表示基板上的层的厚度的测量值的系统，包括：支撑件，所述支撑件用于固持用于集成电路制造的基板；光学组件，所述光学组件用于通过光以第一入射角撞击所述基板来捕获由所述支撑件固持的所述基板的至少一部分的第一彩色图像，以及通过光以不同的第二入射角撞击所述基板来捕获由所述支撑件固持的所述基板的所述至少一部分的第二彩色图像；以及控制器，所述控制器被配置成从所述光学组件接收所述第一彩色图像和所述第二彩色图像，存储函数，所述函数根据在至少四个维度的坐标空间中沿预定路径的位置来提供表示厚度的值，所述至少四个维度的坐标空间包括来自所述第一彩色图像的第一色彩通道和第二色彩通道以及来自所述第二彩色图像的第三色彩通道和第四色彩通道，针对所述第一彩色图像的像素以及所述第二彩色图像中的对应像素，从所述第一彩色图像中针对所述像素的色彩数据以及所述第二彩色图像中针对所述对应像素的所述色彩数据来确定在所述坐标空间中的坐标，确定在所述预定路径上最靠近所述坐标的点的位置，以及从所述函数以及所述预定路径上的所述点的所述位置来计算表示厚度的值。2.如权利要求1所述的系统，其中所述坐标空间是四维的。3.如权利要求1所述的系统，其中所述坐标空间是六维的。4.如权利要求1所述的系统，其中所述第一色彩通道和所述第二色彩通道选自包括所述第一彩色图像的色调、饱和度、亮度、x、y、z、红色色度、绿色色度以及蓝色色度的色彩通道的群组，并且所述第三色彩通道和所述第四色彩通道选自包括所述第二彩色图像的色调、饱和度、亮度、x、y、z、红色色度、绿色色度以及蓝色色度的色彩通道的群组。5.如权利要求1所述的系统，其中所述第一入射角和所述第二入射角两者都在约20
°
至85
°
之间。6.如权利要求1所述的系统，其中所述第一入射角比所述第二入射角大至少5
°
。7.一种用于获得表示基板上的层的厚度的测量值的计算机程序产品，所述计算机程序产品有形地体现在非暂时性计算机可读介质中，包括用于使处理器进行以下操作的指令：从一个或多个相机接收所述基板的第一彩色图像和所述基板的第二彩色图像；存储函数，所述函数根据在至少四个维度的坐标空间中的预定路径上的位置来提供表示厚度的值，所述至少四个维度的坐标空间包括来自于所述第一彩色图像的第一色彩通道和第二色彩通道以及来自所述第二彩色图像的第三色彩通道和第四色彩通道；针对所述第一彩色图像的像素以及所述第二彩色图像中的对应像素，从所述第一彩色图像中针对所述像素的色彩数据以及所述第二彩色图像中针对所述对应像素的所述色彩数据来确定在所述坐标空间中的坐标；确定在所述预定路径上最靠近所述坐标的点的位置；以及从所述函数以及所述预定路径上的所述点的所述位置来计算表示所述基板上的层的厚度的值。8.一种用于获得表示基板上的层的厚度的测量值的方法，包括：将用于集成电路制造的基板定位在彩色相机的视野中；使用一个或多个彩色相机来产生所述基板的第一彩色图像和所述基板的第二彩色图
像，所述第一彩色图像通过光以第一入射角撞击所述基板来产生并且所述第二彩色图像通过光以不同的第二入射角撞击所述基板来产生；存储函数，所述函数根据在至少四个维度的坐标空间中的预定路径上的位置来提供表示厚度的值，所述至少四个维度的坐标空间包括来自所述第一彩色图像的第一色彩通道和第二色彩通道以及来自所述第二彩色图像的第三色彩通道和第四色彩通道；针对所述第一彩色图像的像素以及所述第二彩色图像中的对应像素，从所述第一彩色图像中针对所述像素的色彩数据以及所述第二彩色图像中针对所述对应像素的所述色彩数据来确定在所述坐标空间中的坐标；确定在所述预定路径上最靠近所述坐标的点的位置；以及从所述函数以及所述预定路径上的所述点的所述位置来计算表示所述基板上的层的厚度的值。9.一种抛光系统，包括：抛光站，所述抛光站包括用于支撑抛光垫的平台；支撑件，所述支撑件用于固持基板；内嵌(in
‑
line)计量站，所述内嵌计量站用于在所述抛光站中抛光所述基板的表面之前或之后测量所述基板，所述内嵌计量站包括一个或多个细长的白光源，每个细长的白光源具有纵向轴线并且被配置成以非零入射角将光导向所述基板以在所述基板上形成照明区域，所述照明区域在所述基板的扫描期间沿第一轴线延伸，具有检测器元件的第一彩色线扫描相机，所述检测器元件被布置成接收以第一入射角撞击所述基板的从所述基板反射的光，并形成在所述基板的扫描期间沿所述第一轴线延伸的图像部分，具有检测器元件的第二彩色线扫描相机，所述检测器元件被布置成接收以不同的第二入射角撞击所述基板的从所述基板反射的光，并形成在所述基板的扫描期间沿所述第一轴线延伸的第二图像部分，框架，所述框架支撑所述一个或多个光源、所述第一彩色线扫描相机以及所述第二彩色线扫描相机，以及电机，所述电机引起所述框架与所述支撑件之间沿垂直于所述第一轴线的第二轴线的相对运动，以使所述一个或多个光源、所述第一彩色线扫描相机以及所述第二彩色线扫描相机在所述基板上进行扫描；以及控制器，所述控制器被配置成从所述第一彩色线扫描相机和所述第二彩色线扫描相机接收色彩数据，以从来自所述第一彩色线扫描相机的色彩数据产生第一二维彩色图像以及从来自所述第二彩色线扫描相机的色彩数据产生第二二维彩色图像，以及基于所述第一二维彩色图像和所述第二二维彩色图像来控制在所述抛光站处的抛光。10.如权利要求9所述的系统，包括在所述一个或多个细长的白光源与所述基板之间的光路径中的一个或多个漫射器。11.如权利要求9所述的系统，其中所述第一入射角和所述第二入射角两者都在约5
°
至85
°
之间。12.如权利要求11所述的系统，其中所述第一入射角和所述第二入射角两者都在约20
°
至75
°
之间。13.如权利要求9所述的系统，其中所述第一入射角比所述第二入射角大至少5
°
。14.如权利要求9所述的系统，其中所述第一彩色线扫描相机和所述第二线扫描相机被配置成对所述基板上的重合区域成像。15.如权利要求9所述的系统，其中所述一个或多个细长光源包括用于产生以所述第一入射角撞击所述基板的所述光的第一细长光源，以及用于产生以所述第二入射角撞击所述基板的所述光的第二细长光源。

技术总结
一种用于获得表示基板上的层的厚度的测量值的系统，包括用于固持基板的支撑件、用于通过光以不同入射角撞击基板来捕获两个彩色图像的光学组件、以及控制器。控制器被配置成存储函数，所述函数根据在至少四个维度的坐标空间中沿预定路径的位置来提供表示厚度的值。针对两个彩色图像中的像素，控制器从色彩数据确定在坐标空间中的坐标，确定在预定路径上最靠近所述坐标的点的位置，以及从函数以及预定路径上的点的位置来计算表示厚度的值。路径上的点的位置来计算表示厚度的值。路径上的点的位置来计算表示厚度的值。


技术研发人员：D
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2020.02.06
技术公布日：2021/10/18