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一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
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微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-16
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
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微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-16
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
标签:
微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-15
电容式压力传感器及其制作方法与流程
本发明涉及一种传感器技术领域,更为具体的说涉及电容式压力传感器及其制作方法。
标签:
制作方法
传感器
压力传感器
电容式
2023-01-15
生产用于容纳样品液体的载体元件的方法和控制器、载体元件、载体模块和使用载体元件的方法与流程
生产用于容纳样品液体的载体元件的方法和控制器、载体元件、载体模块和使用载体元件的方法现有技术1.本发明涉及根据独立权利要求的种类的生
标签:
2023-01-15
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
标签:
微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-15
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
标签:
微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-14
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
标签:
微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-06
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
标签:
微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-05
一种可控式大电流真空焦耳热系统的制作方法
本实用新型属于纳米制备技术领域,更具体地说,本实用涉及一种可控式大电流真空焦耳热系统。
标签:
地说
电流
纳米
真空
可控
2023-01-05
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
标签:
微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-05
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
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微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-04
一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
本发明属于微结构阵列加工领域,具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。
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微结构
阵列
单晶硅
加工
湿法
2023-01-02
一种换能器封装结构的制作方法
本实用新型属于换能器技术领域,具体涉及一种换能器封装结构。
标签:
换能器
结构
2022-12-31
用于混合尺度纳流体芯片的凸模具的制备方法及应用
本发明是关于微纳加工技术领域,具体涉及一种用于混合尺度纳流体芯片的凸模具的制备方法及应用。
标签:
流体
尺度
制备方法
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2022-12-20
一种可再生超疏水界面材料制备装置的制作方法
本发明属于新材料技术领域,尤其涉及一种可再生超疏水界面材料制备 装置。
标签:
疏水
新材料
可再生
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2022-12-19
一种静电梳驱动的MEMS微镜制备方法及MEMS微镜、光谱仪与流程
一种静电梳驱动的mems微镜制备方法及mems微镜、光谱仪技术领域本发明涉及mems微镜技术领域,具体为一种静电梳驱动的mems微镜制备方法及mems微镜、光谱仪。
标签:
光谱仪
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制备方法
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微镜
2022-12-19
一种垂直大位移MEMS微镜
一种垂直大位移mems微镜技术领域本发明涉及mems微镜领域,尤其涉及一种垂直大位移mems微镜。
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位移
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2022-12-13
一种边缘受压屈曲的结构超滑器件
本技术涉及超滑技术领域,特别是涉及一种边缘受压屈曲的结构超滑器件。
标签:
屈曲
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器件
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2022-12-07
中心支撑底电极的微机械超声换能器
本发明属于微机械技术领域,具体涉及一种微机械超声换能器。
标签:
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2022-12-07
低应力MEMS封装结构及其封装方法与流程
低应力mems封装结构及其封装方法技术领域本发明涉及mems封装技术领域,具体提供一种低应力mems封装结构及其封装方法。
标签:
应力
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2022-12-06
MEMS致动器、MEMS致动器的驱动方法和MEMS致动器控制程序与流程
mems致动器、mems致动器的驱动方法和mems致动器控制程序技术领域本公开涉及mems致动器、mems致动器的驱动方法和mems致动器控制程序。
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2022-12-03
一种石英三维结构加工方法与流程
本发明涉及石英材料,具体涉及一种石英三维结构加工方法。
标签:
结构
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石英
2022-12-02
压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法与流程
本发明涉及一种传感器技术领域,更为具体的说涉及压力感测模组、电阻式压力传感器及其制作方法。
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模组
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电阻
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2022-11-30
一种倾斜微纳结构的制备方法
本发明属于微纳器件制备技术领域,尤其涉及一种倾斜微纳结构的制备方法。
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器件
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2022-11-30
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